一种调节机构制造技术

本申请公开了一种调节机构，包括固定板(21)、调节板(22)，所述固定板(21)与所述调节板(22)之间设有万向转动部件(23)，以使得所述调节板(22)与所述固定板(21)之间的夹角可调；所述固定板(21)设有第一螺纹孔(24)，所述调节板(22)设有相配套的第二螺纹孔(25)，螺栓(26)穿过所述第一螺纹孔(24)和第二螺纹孔(25)，用于调节所述固定板(21)与所述调节板(22)之间的夹角。本申请提供的调节机构，调节板可以相对于固定板向任意角度转动，并通过第一螺纹孔、第二螺纹孔、螺栓实现调节，可以保持调节板的位置稳定。的位置稳定。的位置稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种调节机构


[0001]本申请涉及检测设备
，特别是涉及一种调节机构。

技术介绍

[0002]光刻掩模板(又称光罩)，简称掩模板，是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。掩模板由不透明的遮光薄膜在透明基板(通常是玻璃基板)上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
[0003]掩模板的质量对产品基片的质量会造成很大影响，而透明基板又对掩膜板的质量具有重大影响。因此，透明基板在使用前需要进行多项检测，其中一项是检测透明基板上的微孔数量、微孔尺寸以及微孔的分布情况。
[0004]微孔的检测通常是利用相机进行图像采集，然后通过计算机分析获得。由于微孔的尺寸很小(通常在0.2μm之下)，一旦检测时透明基板没有放平，与相机镜头的夹角发生改变，对微孔检测的效率和准确性将造成较大的影响。而现有的检测装置，相机的角度固定，使用不便。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术的目的为提供一种调节机构；本申请提供的调节机构，调节板可以相对于固定板向任意角度转动，并通过第一螺纹孔、第二螺纹孔、螺栓实现调节，可以保持调节板的位置稳定。
[0006]本技术提供的技术方案如下：
[0007]一种调节机构，包括固定板、调节板，
[0008]所述固定板与所述调节板之间设有万向转动部件，以使得所述调节板与所述固定板之间的夹角可调；
[0009]所述固定板设有第一螺纹孔，所述调节板设有相配套的第二螺纹孔，螺栓穿过所述第一螺纹孔和第二螺纹孔，用于调节所述固定板与所述调节板之间的夹角。
[0010]优选地，所述调节板设有多个第二螺纹孔，多个第二螺纹孔分布在所述万向转动部件的外周，所述固定板在对应位置设有第一螺纹孔。
[0011]优选地，所述调节板设有2
‑
6个第二螺纹孔。
[0012]优选地，所述调节板设有4个第二螺纹孔。
[0013]优选地，多个所述第二螺纹孔在所述万向转动部件的外周均匀分布。
[0014]优选地，所述第二螺纹孔位于所述调节板的边缘。
[0015]优选地，所述螺栓的牙距为0.25
‑
0.5mm。
[0016]优选地，所述万向转动部件具体为球形部件，所述球形部件与所述固定板固定连接，所述调节板设有与所述球形部件相配合的凹槽。
[0017]优选地，所述球形部件为半球体，半球体的平面与所述固定板固定连接，半球体的曲面与所述调节板的凹槽相配合；且所述调节板凹槽的深度，小于所述半球体的高度。
[0018]优选地，还设有支架，所述固定板安装在所述支架上。
[0019]本申请提供一种调节机构，调节板与固定板之间设有万向转动部件，使得调节板可以向任意角度转动，从而使调节板所在平面相对于固定板所在平面的夹角可以调节；并在固定板、调节板分别设置相配套的第一螺纹孔和第二螺纹孔，将螺栓同时穿过第一螺纹孔和第二螺纹孔，以旋转螺栓来带动调节板向固定板靠近或远离固定板，从而使整个调节板与固定板的夹角发生变化，同时能够保持调节板位置的稳定，不会自行发生偏转。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例中调节机构的结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例中调节机构的俯视示意图；
[0023]图3为本技术实施例中调节机构的透视结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例中调节机构的剖视示意图；
[0025]图5为本技术实施例中固定板的结构示意图；
[0026]图6为本技术实施例中调节板的结构示意图；
[0027]图7为本技术实施例中调节板的剖视示意图；
[0028]图8为本技术实施例中调节机构安装相机后的示意图，其中a为相机；
[0029]图9为本技术实施例中调节机构安装相机并配合设备的局部示意图，其中a为相机；
[0030]附图标记：21
‑
固定板；22
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调节板；23
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万向转动部件；231
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球形部件；24
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第一螺纹孔；25
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第二螺纹孔；26
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螺栓；27
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支架；
具体实施方式
[0031]为了使本
的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0032]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上，它可以直接在另一个元件上或者间接设置在另一个元件上；当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至另一个元件上。
[0033]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0034]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”、“若干个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0035]须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0036]本申请实施例采用递进的方式撰写。
[0037]请如图1至图9所示，本技术实施例提供一种调节机构，包括固定板21、调节板22，
[0038]所述固定板21与所述调节板22之间设有万向转动部件23，以使得所述调节板22与所述固定板21之间的夹角可调；
[0039]所述固定板21设有第一螺纹孔24，所述调节板22设有相配套的第二螺纹孔25，螺栓26穿过所述第一螺纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调节机构，其特征在于，包括固定板(21)、调节板(22)，所述固定板(21)与所述调节板(22)之间设有万向转动部件(23)，以使得所述调节板(22)与所述固定板(21)之间的夹角可调；所述固定板(21)设有第一螺纹孔(24)，所述调节板(22)设有相配套的第二螺纹孔(25)，螺栓(26)穿过所述第一螺纹孔(24)和第二螺纹孔(25)，用于调节所述固定板(21)与所述调节板(22)之间的夹角。2.根据权利要求1所述的调节机构，其特征在于，所述调节板(22)设有多个第二螺纹孔(25)，多个第二螺纹孔(25)分布在所述万向转动部件(23)的外周，所述固定板(21)在对应位置设有第一螺纹孔(24)。3.根据权利要求2所述的调节机构，其特征在于，所述调节板(22)设有2
‑
6个第二螺纹孔(25)。4.根据权利要求3所述的调节机构，其特征在于，所述调节板(22)设有4个第二螺纹孔(25)。5.根据权利要求2
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4中任一项所述的调节机构，其特征在于，多个所述第二螺纹孔(25)在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王健，
申请(专利权)人：湖南腾远智能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：