本发明专利技术提供了一种激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其包括：放电腔腔体；所述腔体内相对设置有第一电极和第二电极；第一电极和第二电极的极性相反；在垂直于第一电极长度方向的截面上，第一电极包括环形基带，环形基带上平行间隔设置有多个电极条；环形基带可携带着所述电极条转动设置，进而第二电极可选择地与其中一个电极条配合产生高压放电。本发明专利技术结构简单，当第一电极上在使用的电极条发生损耗而高度变小，第二电极与该电极条间距变大时，可通过转动环形基带，使得其他新电极条与第二电极相对，从而实现第一电极和第二电极间距的补偿和恢复，操作简单而快捷，不影响激光器的正常使用。使用。使用。
【技术实现步骤摘要】
一种激光器放电腔电极损耗可补偿结构
[0001]本专利技术涉及激光器
，尤其是涉及一种准分子激光器放电腔电极损耗可补偿结构。
技术介绍
[0002]目前，准分子激光器放电腔里面的电极在放电过程中会不断产生损耗，其中以阴极损耗尤为严重，从而导致阴极放电区域表面由于损耗高度而逐渐下降，进而使得阴极和阳极之间距离逐渐变大，从而影响放电性能，当阴极阳极间距增大到一定程度时，就必须更换电极，其中操作复杂、效率低，影响准分子激光器的持续使用。
[0003]为了保持阴极和阳极之间的距离不变，现有技术中采用在电极高度方向上对电极进行升降以减小阴阳两电极间距的补偿方式。电极升降调节方式存在的不足之处是：由于材料不均匀、装配位置偏差，电气性能不完全一致等原因导致电极表面的损耗在各处是不均匀的，升降调节的方式只能平均性地补偿损耗，局部还会出现不均匀情况，尤其是边缘部分损耗大于中间位置。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种激光器放电腔电极损耗可补偿结构，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种激光器放电腔电极损耗可补偿结构，包括：放电腔腔体；
[0006]所述腔体内相对设置有第一电极和第二电极；第一电极和第二电极的极性相反；
[0007]在垂直于第一电极长度方向的截面上，第一电极包括环形基带，环形基带上平行间隔设置有多个电极条；环形基带可携带着所述电极条转动设置，进而第二电极可选择地与其中一个电极条配合产生高压放电。
[0008]本专利技术结构简单，当第一电极上在使用的电极条发生损耗而高度变小，第二电极与该电极条间距变大时，可通过转动环形基带，使得其他新电极条与第二电极相对，从而实现第一电极和第二电极间距的补偿和恢复，操作简单而快捷，不影响激光器的正常使用。
[0009]进一步地，所述第一电极为阳极或阴极，第二电极为阴极或阳极。
[0010]当阴极损耗不明显的情况下，优选地，所述第一电极为阳极，多个所述电极条等高设置。
[0011]在本申请中，电极条的高度为电极条的工作顶面与环形基带表面之间的距离，即电极条凸出环形基带表面的凸出高度。
[0012]更为优选地，在所述环形基带的旋转方向上，多个所述电极条的高度依次增加。
[0013]电极条的高度依次增加，不仅仅可以补偿自身损耗，同时还可补偿相对电极的损耗。例如，第一电极为阳极时，通过旋转更换电极条，不仅可以补偿第一电极的高度损耗，同时还可以补偿作为阴极的第二电极的高度损耗。
[0014]进一步地，还包括支架和驱动机构，所述支架设置在所述腔体内，支架上可转动地设置有转轴，所述环形基带套装在所述转轴上，所述驱动机构用于带动所述转轴转动，进而实现环形基带的旋转以及电极条的更替。
[0015]进一步地，所述转轴的周向上均匀布设有齿牙结构，所述环形基带上设置有与齿牙结构卡接的卡槽或卡孔。
[0016]齿牙结构和卡槽或卡孔的卡接配合，可以有效避免转轴转动过程中环形基带打滑、进而无法实现电极条精准定位。
[0017]进一步地，所述支架上设置有抵触座，抵触座设置在所述转轴上靠近所述第二电极一侧；所述环形基带同时套装在所述抵触座和所述转轴上,整体呈向第二电极尖端凸出的楔形。
[0018]进一步地，在垂直于抵触座和第一电极长度方向的截面内，所述抵触座在靠近所述第二电极一端设置有圆弧面，所述圆弧面的半径小于所述转轴半径，进而在环形基带套装在两者上后形成一个一端大一端小的楔形截面。
[0019]进一步地，所述抵触座在靠近或远离所述第二电极方向上可滑动地设置在所述支架上，所述支架与所述抵触座之间设置弹力件，弹力件趋向于迫使所述抵触座靠近所述第二电极，进而涨紧所述环形基带。
[0020]进一步地，所述支架上以及所述第一电极长度方向的左右两侧分别设置有左陶瓷导流片和右陶瓷导流片；左陶瓷导流片和右陶瓷导流片之间留有条形缝隙，准备工作或处于工作状态的电极条插入所述条形缝隙与所述第二电极相对设置。
[0021]左陶瓷导流片和右陶瓷导流片左右相对设置，仅仅保留一个电极条插入的条形缝隙，可有效避免第二电极与其他电极条产生放电现象。
[0022]进一步地，还包括滑座，所述滑座在靠近或远离所述第二电极的方向上可移动地设置在所述支架上；所述抵触座、所述转轴以及所述环形基带设置在所述滑座上；所述滑座远离所述第二电极时，准备工作或处于工作状态的电极条退出所述条形缝隙，便于环形基带的旋转以及电极条的更替；当电极条更换完成后，滑座向第二电极方向移动，准备进入工作状态的电极条插入所述条形缝隙。
[0023]优选地，所述支架上设置有滑轨、滑槽等形式的导向限位结构，用于所述滑座导向限位。
[0024]进一步地，还包括用于带动所述滑座移动的升降机构，所述升降机构形式较多，可以是设置在转轴轴向两端的电动伸缩机构，还可以是伸出腔体外的手动扳手。
[0025]进一步地，所述驱动机构为步进电机，步进电机与所述转轴连接，通过转轴带动所述环形基带和所述电极条转动。
[0026]优选地，所述驱动机构包括伞齿轮副和旋转机构，伞齿轮副包括相互垂直设置的第一伞齿轮和第二伞齿轮；第一伞齿轮套装在所述转轴上，所述旋转机构用于带动所述第二伞齿轮旋转，进而通过第一伞齿轮带动转轴转动。其中，旋转机构可以是电机，也可以是旋转手柄等。
[0027]进一步地，所述驱动机构包括相互配合的齿轮和齿条，所述齿轮套装在所述转轴上，所述齿条在垂直于所述转轴的方向上可平移地设置在所述腔体上，通过抽拉所述齿条从而通过齿轮带动所述转轴转动。
[0028]进一步地，还包括用于驱动所述齿条平移的执行机构；其中执行机构形式很多，可以是电动的伸缩杆件；也可以是手动的连接杆，连接杆一端与齿条连接，另一端伸出所述腔体。
[0029]优选地，所述执行机构包括腔体上可转动设置的旋转套筒，旋转套筒在齿条一端设置有内螺纹孔；所述齿条的一端设置有与所述内螺纹孔配合的螺纹杆，通过转动旋转套筒可带动齿条平移。其中，优选地，腔体内设置有限制齿条转动的限位结构，例如限位滑槽等。
[0030]优选地，旋转套筒在腔体外的一端设置有与扳手或螺丝刀适配的端部。
[0031]其中更为优选地，所述电极条间距相等，且通过旋转设定角度的旋转套筒或第二伞齿轮可完成一个电极条的更替。
[0032]进一步地，所述左陶瓷导流片和/或右陶瓷导流片可左右移动地设置在所述支架上。
[0033]两个导流片至少一个可平移设置，由此所述条形缝隙宽度可调，进而在旋转所述环形基带时，为电极条提供旋转空间，避免退出工作状态的电极条和准备进入工作状态的电极条与左陶瓷导流片或右陶瓷导流片发生干涉。当电极条更换到位后，可移动的陶瓷导流片向中间移动，缩小条形缝隙的宽度，甚至将两者中间的电极条夹持住。
[0034]进一步地，在所述第一电极和第二电极的长度方向的两侧分别设置有回流片。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，包括：放电腔腔体(10)；所述腔体(10)内相对设置有第一电极(20)和第二电极(30)；第一电极(20)和第二电极(30)的极性相反；在垂直于第一电极(20)长度方向的截面上，第一电极(20)包括环形基带(21)，环形基带(21)上平行间隔设置有多个电极条(21)；环形基带(21)可携带着所述电极条(21)转动设置，进而第二电极(30)可选择地与其中一个电极条(21)配合产生高压放电。2.根据权利要求1所述的激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，在所述环形基带(21)的旋转方向上，多个所述电极条(21)等高设置或高度依次增加。3.根据权利要求1所述的激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，还包括支架(40)和驱动机构，所述支架(40)设置在所述腔体(10)内，支架(40)上可转动地设置有转轴(42)，所述环形基带(21)套装在所述转轴(42)上，所述驱动机构用于带动所述转轴(42)转动，进而实现环形基带(21)的旋转以及电极条(21)的更替。4.根据权利要求3所述的激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，所述转轴(42)的周向上均匀布设有齿牙结构(42a)，所述环形基带(21)上设置有与齿牙结构(42a)卡接的卡槽或卡孔。5.根据权利要求4所述的激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，所述支架(40)上设置有抵触座(41)，抵触座(41)设置在所述转轴(42)上靠近所述第二电极(30)一侧；所述环形基带(21)同时套装在所述抵触座(41)和所述转轴(42)上,整体呈向第二电极(30)尖端凸出的楔形。6.根据权利要求5所述的激光器放电腔电极损耗可补偿结构，其特征在于，在垂直于抵触座(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，马放，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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