一种新型气体整流器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型气体整流器，包括金属壳体，金属壳体两端分别开设进气口和出气口，金属壳体内部从进气口到出气口的方向依次开设相互连通的螺纹孔、气体流道、弹簧容纳腔和气腔；螺纹孔内通过螺纹连接有锁定块，锁定块上开设中心孔；气体流道内设置金属阀，金属阀底端与气体流道的底部之间存在间隙，金属阀顶端与锁定块紧密接触，锁定块上沿径向开设与气体流道以及中心孔相通的通气孔；弹簧容纳腔内设置弹簧片，弹簧片一端固定在弹簧容纳腔与气腔之间的连接台阶处，另一端连接金属阀，气腔与出气口连通。本实用新型专利技术所公开的整流器结构紧凑，方便与流量计、管阀件集成，可以动态减小气流波动，调节精度高。调节精度高。调节精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种新型气体整流器


[0001]本技术涉及气体整流器
，特别涉及一种新型气体整流器。

技术介绍

[0002]精密气体流量计和气体流量控制器，被广泛应用流程工业、半导体设备、气体分析仪、科研实验室等领域，其精度可达到0.3％，甚至是更高。在使用过程中，气体流量计和流量控制器除了需要承受较大的进气压力，还需要承受突然出现的大气流冲击，这种冲击会影响气体流量计和气体流量控制器的精度，甚至会造成设备损坏。
[0003]目前，为了降低气流冲击，通常采用外置减压阀、节流阀和缓冲罐等气流限制结构，这种装置一般体积较大，难以集成到气体流量计和气体流量控制器内部。另外，外置的减压阀、节流阀和缓冲罐，也会导致成本增加，以及气体泄漏风险。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种新型气体整流器，以达到结构紧凑，方便与流量计、管阀件集成，可以动态减小气流波动，调节精度高的目的。
[0005]为达到上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种新型气体整流器，包括金属壳体，所述金属壳体两端分别开设进气口和出气口，所述金属壳体内部从进气口到出气口的方向依次开设相互连通的螺纹孔、气体流道、弹簧容纳腔和气腔，所述气体流道、弹簧容纳腔、气腔和出气口的横截面积依次减小；所述螺纹孔内通过螺纹连接有锁定块，所述锁定块上开设中心孔，且所述中心孔与所述进气口连通；所述气体流道内设置可自由活动的金属阀，所述金属阀底端与气体流道的底部之间存在间隙，所述金属阀顶端与所述锁定块紧密接触，所述锁定块上沿径向开设与所述气体流道以及中心孔相通的通气孔；所述弹簧容纳腔内设置弹簧片，所述弹簧片一端固定在弹簧容纳腔与所述气腔之间的连接台阶处，另一端连接金属阀，所述气腔与所述出气口连通。
[0007]上述方案中，所述气体流道和金属阀的纵向截面均为梯形，且沿着气体流动方向横截面积逐渐减小。
[0008]上述方案中，所述螺纹孔、弹簧容纳腔和气腔均为圆柱状。
[0009]上述方案中，所述螺纹孔的长度大于所述锁定块的高度，便于调节锁定块的位置，从而调节弹簧片的压缩量，使得金属阀底端与气体流道的底部之间的间隙(即气体节流区)宽度可调。
[0010]进一步的技术方案中，所述锁定块上沿径向开设4个通气孔。
[0011]通过上述技术方案，本技术提供的新型气体整流器利用一个可动的金属阀和一个弹簧片来吸收突然增加的大气流冲击能量，既能有效减小突发的气流冲击造成的压力波动，又能在正常工作情况下保持气路通畅。同时，还可以通过调节金属阀底端与气体流道的底部之间间隙(即气体节流区)的宽度，达到控制最大气体流通量的效果。
[0012]本技术的新型气体整流器结构紧凑，利于与流量计、管阀件等集成；并且能够
动态减小气流波动，调节精度高。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0014]图1为本技术实施例所公开的一种新型气体整流器示意图。
[0015]图中，1、金属壳体；2、进气口；3、出气口；4、气体流道；5、弹簧容纳腔；6、气腔；7、锁定块；8、中心孔；9、金属阀；10、弹簧片；11、通气孔。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0017]本技术提供了一种新型气体整流器，如图1所示，包括金属壳体1，金属壳体1两端分别开设进气口2和出气口3，进气口2用于连接进气管道，出气口3用于连接出气管道。
[0018]金属壳体1内部从进气口2到出气口3的方向依次开设相互连通的螺纹孔、气体流道4、弹簧容纳腔5和气腔6，气体流道4、弹簧容纳腔5、气腔6和出气口3的横截面积依次减小，有利于对气流进行减速。气腔6用于对气流进一步缓冲。
[0019]螺纹孔内通过螺纹连接有锁定块7，锁定块7上开设中心孔8，且中心孔8与进气口2连通；气体流道4内设置可自由活动的金属阀9，当进气压力突然增加时，将产生位移，对弹簧片10产生压缩，减小气体节流区宽度X的大小，降低气流冲击。当气流稳定时候，回归到初始设定位置。弹簧容纳腔5内设置弹簧片10，弹簧片10一端固定在弹簧容纳腔5与气腔6之间的连接台阶处，另一端连接金属阀9，气腔6与出气口3连通。弹簧片10可压缩，其初始压缩量由进气口2的锁定块7固定。当气流冲击的时候，可被金属阀9压缩。
[0020]金属阀9底端与气体流道4的底部之间存在间隙(宽度X)，即气体节流区。初始状态，在弹簧片10的推力作用下，金属阀9顶端与锁定块7紧密接触，锁定块7上沿径向开设与气体流道4以及中心孔8相通的4个通气孔11。4个通气孔11沿径向均匀分布于锁定块7上。由进气口2进来的气体通过锁定块7的中心孔8以及通气孔11进入到气体流道4内。
[0021]本实施例中，气体流道4和金属阀9的纵向截面均为梯形，且沿着气体流动方向横截面积逐渐减小，有利于对气流进行减速。
[0022]螺纹孔、弹簧容纳腔5和气腔6均为圆柱状。螺纹孔的长度大于锁定块7的高度，便于调节锁定块7的位置，从而调节弹簧片10的压缩量，使得金属阀9底端与气体流道4的底部之间的间隙(即气体节流区)宽度可调。
[0023]本技术的工作原理如下：
[0024]该新型气体整流器设置于精密气体流量计和气体流量控制器之前，保护其不受大气流冲击的影响。根据出气口3处所需的标准风速，选取合适的弹簧片10和气体节流区(金属阀9底端与气体流道4的底部之间间隙)的宽度。
[0025]当风速大于标准风速，带来冲击时，风传递给弹簧片10的压力增大，弹簧片10受力缩短并带动金属阀9向左移动(图中方向)，气体流道4面积缩小，从而减小气体流速，使出气口3流速稳定在标准流速附近。当风速突然增大，超出精密仪器量程范围或可能对仪器造成
损坏时，气体流道4完全封闭，起到隔绝作用。当冲击结束或风速下降到合理范围，弹簧片10和金属阀9复位，气体流道4再次自动打开。
[0026]通过调节锁定块7的初始位置，可以调节气体流道4的宽度，确定初始风速。通过选定弹簧片10弹性系数的不同，可以设置能通过气流流速的最大值。
[0027]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型气体整流器，包括金属壳体，其特征在于，所述金属壳体两端分别开设进气口和出气口，所述金属壳体内部从进气口到出气口的方向依次开设相互连通的螺纹孔、气体流道、弹簧容纳腔和气腔，所述气体流道、弹簧容纳腔、气腔和出气口的横截面积依次减小；所述螺纹孔内通过螺纹连接有锁定块，所述锁定块上开设中心孔，且所述中心孔与所述进气口连通；所述气体流道内设置可自由活动的金属阀，所述金属阀底端与气体流道的底部之间存在间隙，所述金属阀顶端与所述锁定块紧密接触，所述锁定块上沿径向开设与所述气体流道以及中心孔相通的通气孔；所述弹簧容纳腔内设置弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昊文，陶继方，
申请(专利权)人：青岛芯笙微纳电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：