本实用新型专利技术属于光掩模基板加工清洗装置技术领域，提供了一种光掩模基板加工清洗装置，包括基座，所述基座的两端均活动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端活动安装有活动块，所述活动块的一端固定安装有卡块，所述卡块的一端固定安装有卡块，所述卡块的一端固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端与基座的内侧固定连接，所述基座的上端两侧均安装有滑轨，所述滑轨的内侧活动安装有滑块，所述滑轨的两端均固定安装有挡板，所述挡板的一端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有丝杆，所述丝杆与滑块活动连接，能够对光掩膜基板进行有效的固定然后进行清洗，使整体的工作效率得到提升，同时在清洗的过程中能够对水资源进行循环利用。资源进行循环利用。资源进行循环利用。
【技术实现步骤摘要】
一种光掩模基板加工清洗装置
[0001]本技术属于光掩模基板加工清洗装置
，尤其涉及一种光掩模基板加工清洗装置。
技术介绍
[0002]光掩膜在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一，所以关于光掩模基板加工清洗装置尤为重要。 现有的对光掩膜基板都是靠人工进行清洁，这样操作起来费时费力，同时在水资源的时候过程没有进行循环使用，使水资源浪费严重。
技术实现思路
[0003]本技术提供一种光掩模基板加工清洗装置，能够对光掩膜基板进行有效的固定然后进行清洗，使整体的工作效率得到提升，同时在清洗的过程中能够对水资源进行循环利用。 本技术是这样实现的，一种光掩模基板加工清洗装置，包括基座，所述基座的两端均活动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端活动安装有活动块，所述活动块的一端固定安装有卡块，所述卡块的一端固定安装有卡块，所述卡块的一端固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端与基座的内侧固定连接，所述基座的上端两侧均安装有滑轨，所述滑轨的内侧活动安装有滑块，所述滑轨的两端均固定安装有挡板，所述挡板的一端固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有丝杆，所述丝杆与滑块活动连接，所述滑块的上端固定安装有固定块，所述固定块的一端开设有通孔，所述固定块的上端开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内侧活动安装有螺栓，所述通孔的位置安装有喷淋管，所述喷淋管的外侧固定安装有喷淋头，所述基座的内侧开设有排水孔，基座的一端固定安装有集水箱，所述集水箱的一端固定安装有抽水泵，所述抽水泵的一端固定安装有连接管，所述连接管的另一端与喷淋管的外侧连接。 优选的，所述基座内侧活动安装的两个螺纹杆位于同一平面上且呈对称分布。 优选的，所述螺纹杆的一端固定安装有转动柄，所述转动柄位于基座的外侧。 优选的，所述基座的上端固定安装的两个滑轨位于同一水平面上且相互平行。 优选的，所述喷淋管的外侧固定安装有若干个喷淋头，若干所述喷淋头位于同一水平面上且呈线性阵列分布。 优选的，所述挡板的一端固定安装有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定安装有缓冲块，所述缓冲块位于滑轨的内侧。 本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果： 通过设置驱动电机、滑块、滑轨和喷淋管，首先将光掩基板放在基座的内部，然后启动驱动电机，驱动电机转动带动丝杆转动，丝杆转动带动滑块在滑轨内往复移动，滑块移动带动固定块移动，固定块移动带动喷淋管移动，喷淋管移动带动喷淋头移动从而对基座内部的光掩摸进行清洗，然后清洗后的水通过排水孔进入集水箱，然后在抽水泵的作用下重新回到喷淋管，进行循环使用，能够对光掩膜基板进行有效的固定然后进行清洗，使整体的工作效率得到提升，同时在清洗的过程中能够对水资源进行循环利用。 通过设置螺纹杆、第
一弹簧、活动块和卡板，通过旋转转动柄，转动柄带动螺纹杆转动，从而推动活动块，活动块再带动卡板进行移动，从而使两侧的卡块对基座上的光掩摸基板进行夹持，防止由于冲洗的时候被水流冲走。
附图说明
[0004]图1为本技术提出的一种光掩模基板加工清洗装置的结构示意图。 图2为本技术提出的一种光掩模基板加工清洗装置俯视结构示意图。 图3为本技术提出的一种光掩模基板加工清洗装置滑块、固定块和螺栓连接结构示意图。 附图标记：1、基座；2、螺纹杆；3、活动块；4、卡块；5、第一弹簧；6、转动柄；7、滑轨；8、挡板；9、驱动电机；10、丝杆；11、滑块；12、固定块；13、通孔；14、喷淋管；15、喷淋头；16、螺纹孔；17、螺栓；18、集水箱；19、抽水泵；20、连接管。
具体实施方式
[0005]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。 如图1
‑
3所示，本技术提出的一种光掩模基板加工清洗装置，包括基座1，基座1的两端均活动安装有螺纹杆2，螺纹杆2的一端活动安装有活动块3，活动块3的一端固定安装有卡块4，卡块4的一端固定安装有卡块4，卡块4的一端固定安装有第一弹簧5，第一弹簧5的另一端与基座1的内侧固定连接，基座1的上端两侧均安装有滑轨7，滑轨7的内侧活动安装有滑块11，滑轨7的两端均固定安装有挡板8，挡板8的一端固定安装有驱动电机9，驱动电机9的输出端固定安装有丝杆10，丝杆10与滑块11活动连接，滑块11的上端固定安装有固定块12，固定块12的一端开设有通孔13，固定块12的上端开设有螺纹孔16，螺纹孔16的内侧活动安装有螺栓17，通孔13的位置安装有喷淋管14，喷淋管14的外侧固定安装有喷淋头15，基座1的内侧开设有排水孔，基座1的一端固定安装有集水箱18，集水箱18的一端固定安装有抽水泵19，抽水泵19的一端固定安装有连接管20，连接管20的另一端与喷淋管14的外侧连接； 在本实施方式中，使用者首先将光掩基板放在基座1的内部，然后启动驱动电机9，驱动电机9转动带动丝杆10转动，丝杆10转动带动滑块11在滑轨7内往复移动，滑块11移动带动固定块12移动，固定块12移动带动喷淋管14移动，喷淋管14移动带动喷淋头15移动从而对基座1内部的光掩摸进行清洗，然后清洗后的水通过排水孔进入集水箱18，然后在抽水泵19的作用下重新回到喷淋管14，进行循环使用，能够对光掩膜基板进行有效的固定然后进行清洗，使整体的工作效率得到提升，同时在清洗的过程中能够对水资源进行循环利用。 进一步的，基座1内侧活动安装的两个螺纹杆2位于同一平面上且呈对称分布； 在本实施方式中，通过旋转转动柄6，转动柄6带动螺纹杆2转动，从而推动活动块3，活动块3再带动卡块4进行移动，从而使两侧的卡块4对基座1上的光掩摸基板进行夹持，防止由于冲洗的时候被水流冲走 进一步的，螺纹杆2的一端固定安装有转动柄6，转动柄6位于基座1的外侧； 在本实施方式中，通过转动柄6带动螺纹杆2转动，使对螺纹杆2的转动更加的方便和省力。 进一步的，基座1的上端固定安装的两个滑轨7位于同一水平面上且相互平行； 在本实施方式中，防止由于基座1上端两侧的滑轨7安装不平齐导致，喷淋管14移动的过程中位置发生偏移。 进一步的，喷淋管14的外侧固定安装有若干个喷淋头
15，若干喷淋头15位于同一水平面上且呈线性阵列分布； 在本实施方式中，动过喷淋管14喷出水雾，使能够代替人工进行手动清洁，使整体装置操作起来更加的方便。 进一步的，挡板8的一端固定安装有第二弹簧，第二弹簧的一端固定安装有缓冲块，缓冲块位于滑轨7的内侧； 在本实施方式中，使滑块11滑动到挡板8的一端时，通过第二弹簧和缓冲块能够给滑块11提供一个缓冲力，防止滑块11的损坏。 本技术的工作原理及使用流程：使用者将通过旋转转动柄6，转动柄6带动螺纹杆2转动，从而推动活动块3，活动块3再带动卡块4进行移动，从而使两侧的卡块4对基座1上的光掩摸基板进行夹持，防止由于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光掩模基板加工清洗装置，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）的两端均活动安装有螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）的一端活动安装有活动块（3），所述活动块（3）的一端固定安装有卡块（4），所述卡块（4）的一端固定安装有卡块（4），所述卡块（4）的一端固定安装有第一弹簧（5），所述第一弹簧（5）的另一端与基座（1）的内侧固定连接，所述基座（1）的上端两侧均安装有滑轨（7），所述滑轨（7）的内侧活动安装有滑块（11），所述滑轨（7）的两端均固定安装有挡板（8），所述挡板（8）的一端固定安装有驱动电机（9），所述驱动电机（9）的输出端固定安装有丝杆（10），所述丝杆（10）与滑块（11）活动连接，所述滑块（11）的上端固定安装有固定块（12），所述固定块（12）的一端开设有通孔（13），所述固定块（12）的上端开设有螺纹孔（16），所述螺纹孔（16）的内侧活动安装有螺栓（17），所述通孔（13）的位置安装有喷淋管（14），所述喷淋管（14）的外侧固定安装有喷淋头（15），所述基座（1）的内侧开设有排水孔，基座（1）的一端固定安装有集...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁佳成，张晓丽，严晓斐，陆健，陈家锦，
申请(专利权)人：中荣国誉集团有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。