同步型多通道感应加热镀膜电源制造技术

本实用新型专利技术的技术方案是提供了一种同步型多通道感应加热镀膜电源，其特征在于，包括主回路、控制回路以及谐振回路。本实用新型专利技术在常规多通道感应镀膜电源基础上增加了同步脉冲发生器，可输出一个固定频率的方波，用于频率锁定。本实用新型专利技术的同步脉冲发生器将同步脉冲信号传送到分配控制板，分配控制板检测脉冲信号相频，并同步分配给8路逆变输出脉冲，用于驱动IGBT逆变桥实现中频逆变输出。本实用新型专利技术在每个隔离变压器上一体安装可调电感，串联于谐振回路之中，可以用于每个单元的谐振频率调节，保持所有单元谐振频率一致，工作在相同频率时，降低谐振回路阻抗，保证最大的功率输出能力。能力。能力。

【技术实现步骤摘要】
同步型多通道感应加热镀膜电源


[0001]本技术涉及一种同步型多通道感应镀膜电源，可用于各种真空蒸镀镀膜感应加热的场合。

技术介绍

[0002]常规的感应镀膜电源采用的是多通道独立控制方式，每个通道相频独立控制，各不相同，多个通道对应的多个感应线圈按照之字形排列，形成蒸发区。蒸发区中间的每个线圈分别与其两侧的线圈之间存在磁场耦合，导致多个不同相位的磁场相互叠加，各个线圈的磁场存在相位差、频率差，叠加后的磁场为不稳定状态，存在幅值变化，波形震荡的情况，容易导致线圈内被加热的坩埚温度不稳定，坩埚内的熔液受到不稳定电磁力的搅扰产生振动，蒸发不稳定，产生飞溅。
[0003]常规的感应镀膜电源生产出来的产品膜层厚度不均匀，镀膜速度受限，生产效率低，操作复杂。飞溅导致膜层串孔，难以用于切丝工艺，容易导致断丝，生产成本高，成品率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是：提供一种用于真空蒸镀镀膜场合的同频同相的同步型多通道感应镀膜电源，能够胜任多个感应线圈之间存在磁场耦合、叠加时加热温度稳定、磁场不振荡、熔液不波动、不飞溅。
[0005]为了达到上述目的，本技术的技术方案是提供了一种同步型多通道感应加热镀膜电源，其特征在于，包括主回路、控制回路以及谐振回路，其中：
[0006]主回路包括三相整流桥，三相整流桥的交流输入端经由熔丝与空气开关的输出端相连，空气开关的输入端连接三相380VAC电源；三相整流桥的交流输入端还与控制回路中主控制板的三相电压采样端相连，控制回路中主控制板的输入电流采样端连接电流互感器，电流互感器串联入三相整流桥与熔丝之间的电路；三相整流桥的直流输出端经由串联的充电缓冲电路与电抗器连接直流输出端子；三相整流桥的直流输出端还与控制回路中主控制板的直流电压采样端相连；充电缓冲电路包括缓冲接触器、缓冲电阻和自恢复保险丝，缓冲电阻与自恢复保险丝串联后再与缓冲接触器并联；
[0007]控制回路包括220VAC控制电源、24VDC控制电源以及主控制板，220VAC控制电源的输出端与断路器的输入端相连，内部开关电源以及串联的缓冲接触器的线圈、缓冲继电器的接点并联在断路器的输出端，内部开关电源为主控制板及分配控制板供电，主控制板经由同步脉冲发生器与分配控制板相连，分配控制板与IGBT隔离驱动板，由IGBT隔离驱动板驱动谐振回路各逆变桥中的IGBT模块；24VDC控制电源的输出端与串联的缓冲继电器及继电器开关相连，继电器开关相连接至主控制板；
[0008]谐振回路包括多个相同的谐振单元，所有谐振单元并联在直流母线上，直流输出端子与直流母线相连；每个谐振单元包括逆变桥，逆变桥的输入端通过并联的无感吸收电
容及逆变滤波电容连接在直流母线上，逆变桥的输出端经由隔直电容组与隔离变压器的初级输入相连，在逆变桥的输出端还连接有电流互感器，电流互感器与分配控制板相连；变压器的次级输出与谐振电容组和可调电感串联后与一个感应线圈相连。
[0009]优选地，所述电流互感器与电流表相连。
[0010]优选地，在所述三相整流桥的交流输入端的任意两相电压的输入端口之间跨接有电压表。
[0011]优选地，在所述24VDC控制电源的输出端连接有电源指示灯。
[0012]优选地，报警状态指示灯与报警开关串联后连接在所述24VDC控制电源的输出端，报警开关连接至所述主控制板。
[0013]优选地，还包括两个测温电阻，用于测量任意一个所述谐振单元的两个IGBT模块的温度，测温电阻与所述主控制板相连。
[0014]优选地，在任意一个所述谐振单元的隔离变压器上安装有变压器测温电阻，变压器测温电阻与所述主控制板相连。
[0015]优选地，在任意一个所述谐振单元的谐振电容组上安装有谐振电容测温电阻，谐振电容测温电阻与所述主控制板相连。
[0016]本技术为一种真空蒸镀镀膜用同步型多通道感应镀膜电源，用于对石墨坩埚或金属坩埚感应加热，对坩埚内物料升温熔化、蒸发镀膜，主要镀膜材料有：铝、铜、锡等，也可蒸镀其他金属材料和非金属材料，镀膜受体母材一般是塑料膜、纸等。与现有技术相比，本技术具有如下特点：
[0017]1)本技术在常规多通道感应镀膜电源基础上增加了同步脉冲发生器，可输出一个固定频率的方波，用于频率锁定。
[0018]2)本技术的同步脉冲发生器将同步脉冲信号传送到分配控制板，分配控制板检测脉冲信号相频，并同步分配给8路逆变输出脉冲，用于驱动IGBT逆变桥实现中频逆变输出。
[0019]3)为解决每个单元的谐振频率不同导致谐振回路阻抗过大的问题，本技术在每个隔离变压器上一体安装可调电感，串联于谐振回路之中，可以用于每个单元的谐振频率调节，保持所有单元谐振频率一致，工作在相同频率时，降低谐振回路阻抗，保证最大的功率输出能力。
[0020]由于本技术具有以上特点，使得本技术提供的技术方案与现有技术相比具有如下有益效果：
[0021]本技术在同步型多通道感应镀膜电源变压器上设计了可调节电感，能在多个通道的谐振频率存在差异时，通过调节电感的电感量，保证所有通道谐振频率一致，实现所有通道都工作在谐振点附近，保证所有通道的输出功率的能力。本技术所有通道工作频率和相位完全一致，通过同步脉冲发生器产生一个频率脉冲，通过分配控制板分配到每一个通道的逆变桥，保证所有通道逆变输出电流频率和相位一致，没有差频的情况下，就不会出现输出电流振。
附图说明
[0022]图1为本技术的主回路图；
[0023]图2为本技术的控制回路图；
[0024]图3为本技术的谐振回路图。
具体实施方式
[0025]下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0026]本技术提供的一种同步型多通道感应加热镀膜电源的主回路线路图如图1所示，三相380VAC电源进入输入空气开关K1，经交流输入熔丝F1和熔丝F2连接至三相整流桥BD1。电流互感器CT9用于检测三相输入电流，电流互感器CT9的两个端口CT9.1、CT9.2连接至主控制板MB。电流表ID1用于显示三相输入电流，电压表VD1用于显示输入电压。缓冲接触器KP2、缓冲电阻RB1和自恢复保险丝SF1构成充电缓冲电路，充电缓冲电路的作用是消除上电时对输入回路和三相整流桥BD1的电流冲击，并减小对电网的冲击和干扰。IND1为电抗器；直流输出端子P1.1和P1.2分别为直流输出正端和直流输出负端，连接至谐振回路的各逆变桥。直流输出采用端口DG2、DCG连接至主控制板MB。
[0027]控制回路线路图如图2所示，220VAC控制电源连接至断路器CK1。断路器CK1的输出端与内部开关电源SPOW的输入端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种同步型多通道感应加热镀膜电源，其特征在于，包括主回路、控制回路以及谐振回路，其中：主回路包括三相整流桥，三相整流桥的交流输入端经由熔丝与空气开关的输出端相连，空气开关的输入端连接三相380VAC电源；三相整流桥的交流输入端还与控制回路中主控制板的三相电压采样端相连，控制回路中主控制板的输入电流采样端连接电流互感器，电流互感器串联入三相整流桥与熔丝之间的电路；三相整流桥的直流输出端经由串联的充电缓冲电路与电抗器连接直流输出端子；三相整流桥的直流输出端还与控制回路中主控制板的直流电压采样端相连；充电缓冲电路包括缓冲接触器、缓冲电阻和自恢复保险丝，缓冲电阻与自恢复保险丝串联后再与缓冲接触器并联；控制回路包括220VAC控制电源、24VDC控制电源以及主控制板，220VAC控制电源的输出端与断路器的输入端相连，内部开关电源以及串联的缓冲接触器的线圈、缓冲继电器的接点并联在断路器的输出端，内部开关电源为主控制板及分配控制板供电，主控制板经由同步脉冲发生器与分配控制板相连，分配控制板与IGBT隔离驱动板，由IGBT隔离驱动板驱动谐振回路各逆变桥中的IGBT模块；24VDC控制电源的输出端与串联的缓冲继电器及继电器开关相连，继电器开关相连接至主控制板；谐振回路包括多个相同的谐振单元，所有谐振单元并联在直流母线上，直流输出端子与直流母线相连；每个谐振单元包括逆变桥，逆变桥的输入端通过并联的无感吸收电容及逆变滤波电容...

【专利技术属性】
技术研发人员：李南坤，黄德华，
申请(专利权)人：上海巴玛克电气技术有限公司，
类型：新型
国别省市：