具有液体金属接触件的微机电微继电器制造技术

一种ＭＥＭ继电器（１１０′），包括激励器、设置在激励器上的短路棒（５２）、接触件基片和设置在接触件基片上的多个液体金属接触件（１２６，１２８），使得当ＭＥＭ继电器处于闭合状态时、多个液体金属接触件电连接。此外，ＭＥＭ继电器包括设置在所述接触件基片上的加热器（１２９，１２９′），其中所述加热器与多个液体金属接触件热连通。接触件基片可另外包括设置在接触件基片上的多个可湿润金属接触件（１２５，１２７），其中多个可湿润金属接触件的每个靠近多个液体金属接触件（１２６，１２８）的每个，并且每个可湿润金属接触件与多个液体金属接触件的每个电连接。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电气和电子电路和元件。特别是，本专利技术涉及具有液体金属接触件的微机电(MEM)继电器。
技术介绍
MEM开关是由静电电荷、热、压电或其它激励机构操作并采用微机电制造技术制造的开关。MEM开关可控制电气、机械、或光学信号流。常规MEM通常是具有正常为打开的静止状态的单刀单掷(SPST)结构。在具有静电激励器的开关中，给控制电极施加静电电荷(或相反极性的静电电荷施加于两个电极结构)将在开关上产生静电吸引力(“拉力”)，使开关闭合。通过除去控制电极上的静电电荷而使该开关打开，允许电枢的机械弹簧恢复力打开开关。激励器特性包括所需要的接通和断开力、操作速度、使用寿命、可密封性和与接触结构的化学兼容性。微继电器包括MEM电子开关结构，它由分开的MEM电子激励结构进行机械操作。在微继电器的开关部分和激励器部分之间只有机械接口。当开关电子电路与激励电子电路隔离时，得到的器件通常称为代替微继电器的开关。虽然这里公开的电子开关结构不需要用于成功实现的这种基片，但MEM器件通常采用与集成电路制造兼容的基片制造。MEM微继电器通常为一侧上的100微米到另一侧上的几毫米。电子开关基片必须本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＭＥＭ继电器，包括：接触件基片；至少两个液体金属接触件，设置在所述接触件基片上；和激励器基片，被固定在所述接触件基片上，其中所述接触件基片与所述激励器基片分开制造。

【技术特征摘要】
US 2000-2-2 60/179,8291.一种MEM继电器，包括接触件基片；至少两个液体金属接触件，设置在所述接触件基片上；和激励器基片，被固定在所述接触件基片上，其中所述接触件基片与所述激励器基片分开制造。2.根据权利要求1的MEM继电器，其中所述激励器基片还包括设置在所述激励器基片上的悬臂支承部件；具有第一端和第二端的悬臂梁，其中所述第二端设置在所述悬臂支承部件上；和短路棒，设置在所述悬臂梁的第一端上，使得当MEM继电器处于闭合状态时、所述短路棒使所述至少两个液体金属接触件电连接。3.根据权利要求1的MEM继电器，其中所述激励器基片还包括横向激励器，设置在所述激励器基片上；和非湿润金属短路棒，设置在所述横向激励器上。4.根据权利要求1的MEM继电器，其中所述接触件基片还包括至少一个外部填充口，设置在所述接触件基片上，以便液体金属可以通过毛细流被引入该器件中；和至少一个盖子，使得当MEM继电器接收预定量的液体金属时、所述至少一个外部填充口可以被封闭。5.根据权利要求1的MEM继电器，其中所述激励器基片还包括横向激励器，设置在所述激励器基片上；和短路棒，可移动地连接到所述横向激励器，使得当MEM继电器处于闭合状态时、所述短路棒使所述至少两个液体金属接触件电连接。6.根据权利要求5的MEM继电器，其中，所述短路棒的移动平行于由所述至少两个液体金属接触件形成的平面。7.根据权利要求5的MEM继电器，还包括与所述接触件基片热连通的加热器。8.根据权利要求5的MEM继电器，其中所述短路棒通过绝缘激励臂可移动地连接到所述横向激励器。9.一种MEM继电器，包括激励器；非湿润短路棒，设置在所述激励器上；接触件基片，具有上表面和下表面并与所述非湿润短路棒隔开；第一液体金属接触件，设置在所述接触件基片的所述上表面上；第一信号接触件，设置在所述接触件基片的所述下表面上；第一通路，具有涂敷液体金属的内表面和外表面，该第一通路通过所述接触件基片，并在该MEM继电器处于闭合状态时使所述第一液体金属接触件和所述第一信号接触件电连接；第二液体金属接触件，设置在所述接触件基片的所述上表面上；第二信号接触件，设置在所述接触件基片的所述下表面上；和第二通路，具有涂敷液体金属的内表面和外表面，该第二通路通过所述接触件基片，并在该MEM继电器处于闭合状态时使所述第二液体金属接触件和所述第二信号接触件电连接。10.根据权利要求9的MEM继电器，其中，该非湿润短路棒具有导电金属表面。11.根据权利要求9的MEM继电器，其中，该非湿润短路棒是非导电薄膜。12.根据权利要求9的MEM继电器，其中，该非湿润短路棒是液体移动棒。13.根据权利要求9的MEM继电器，其中，该非湿润短路棒是非湿润金属短路薄膜。14.根据权利要求13的MEM继电器，其中，该非湿润金属短路薄膜还包括多个气体通孔。15.一种MEM继电器，包括接触件基片；设置在所述接触件基片上的多个通路；和多个信号接触件，设置在所述接触件基片上，其中通过所述多个通路传送液体金属，用液体金属涂敷所述多个液体金属接触件。16.一种MEM继电器，包括激励器；设置在所述激励器上的短路棒；接触件基片；多个液体金属接触件，设置在所述接触件基片上，使得当该MEM继电器处于闭合状态时、所述多个液体金属接触件电连接；和至少一个加热器，设置在所述接触件基片上，其中所述加热器与所述多个液体金属接触件热连通。17.根据权利要求16的MEM继电器，其中，该接触件基片还包括多个可湿润金属接触件，它们设置在所述接触件上，使得每个所述可湿润金属接触件靠近所述多个液体金属接触件的每个，并且每个所述可湿润金属接触件与所述多个液体金属接触件的每个处于电连接。18.根据权利要求16的MEM继电器，其中所述短路棒还包括设置在所述短路棒上的非湿润金属表面。19.根据权利要求16的MEM继电器，其中所述短路棒是非导电液体移动棒。20.根据权利要求16的MEM继电器，其中所述短路棒是非湿润金属短路薄膜。21.根据权利要求20的MEM继电器，其中所述非湿润金属短路薄膜还包括多个气体通孔。22.根据权利要求16的MEM继电器，其中所述多个可湿润金属接触件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特D斯特里特，李A麦克米伦，罗德里克G贝里斯泰特，
申请(专利权)人：雷声公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]