一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置制造方法及图纸

技术编号:31275771 阅读:40 留言:0更新日期:2021-12-08 21:27
一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置,设有滑轨底座、定位板和深度千分尺;所述滑轨底座布置在水平工作台上,在滑轨底座上配装线切割料板,可通过线切割料板底面的滑槽与滑轨底座配合,实现线切割料板的前后水平滑动;所述定位板与滑轨底座固定装配,定位板位于线切割料板的上方,在定位板的一端设有晶坨定位槽,所述晶坨定位槽为带有相互垂直定位基准面的矩形凹槽;所述深度千分尺固定在滑轨底座一端,其测量杆的测头与线切割料板相抵触。本实用新型专利技术通过相互垂直的基准面对晶坨进行可靠定位,达到提高晶坨粘贴定位精度、保证晶片产品质量的目的。片产品质量的目的。片产品质量的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置


[0001]本技术涉及一种工件定位装置,尤其是一种适于在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置,属于石英晶片加工


技术介绍

[0002]为了提高石英晶片切割的工作效率,通常采用在一块线切割料板上粘贴若干组晶坨的方法,由若干晶坨形成组坨,由此可同时完成多组晶坨的切割。如附图1所示,一种小尺寸的长方体石英晶坨1,在对其进行切割前需按照图中排列方式进行粘坨作业,特别是在X向切割时,粘坨作业以石英晶坨的短边立面为定位基准面,由于定位基准面面积小,定位精度难以保证,不能满足晶坨切割的垂直度要求,导致出现斜片(晶片主面呈平行四边形)或晶片侧壁与主面不垂直的问题,严重影响了晶片产品的性能。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置,旨在通过以相互垂直的基准面对晶坨进行可靠定位,达到提高晶坨粘贴定位精度、保证晶片产品质量的目的。
[0004]为实现上述目的,本技术采用如下技术方案:
[0005]一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置,设有滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线切割料板上粘贴小尺寸晶坨的定位装置,其特征是,它设有滑轨底座(4)、定位板(2)和深度千分尺(5);所述滑轨底座(4)布置在水平工作台上,在滑轨底座(4)上配装线切割料板(3),可通过线切割料板(3)底面的滑槽与滑轨底座(4)配合,实现线切割料板(3)的前后水平滑动;所述定位板(2)与滑轨底座(4)固定装配,定位板(2)位于线切割料板(3)的上方,在定位板(2)的一端设有晶坨定位槽(2

1),所述晶坨定位槽(2

1)为带有相互垂直定位基准面(2

3)的矩形凹槽;所述深度千分尺(5)固定在滑轨底座(4)一端,其测量杆的测头与线切割料...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨建东张立强丁洁徐建民郝建军王亮宋学忠张淼张勇杨铁生狄建兴周志勇崔立志
申请(专利权)人:唐山国芯晶源电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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