一种硅棒长度的自动测量装置制造方法及图纸

技术编号:31255682 阅读:39 留言:0更新日期:2021-12-08 20:48
本实用新型专利技术属于硅棒自动检测技术领域,尤其为一种硅棒长度的自动测量装置,包括主体框架,所述主体框架的内部设有用于升降的底部顶升气缸,所述底部顶升气缸的顶部设有用于放置硅棒的工装板,所述主体框架的内部设有用于测量硅棒长度的自动测量结构,所述主体框架的内部设有四个大小形状相同的导向轴杆,所述主体框架的内部靠近其一侧的内壁上设有横向移动模组。本实用新型专利技术,通过底部顶升气缸,将运输到测距工位的硅棒进行升起,通过伺服电机,使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组移动,进而使第一十字双轴模组和第二十字双轴模组一侧的激光检测仪分别对硅棒的两端进行进行对焦测距,进而测算出硅棒的长度。进而测算出硅棒的长度。进而测算出硅棒的长度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒长度的自动测量装置


[0001]本技术涉及硅棒自动检测
,具体为一种硅棒长度的自动测量装置。

技术介绍

[0002]光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而单晶硅是这些产业的重要原材料。单晶硅棒是单晶硅通过电炉熔炼而成的。单晶硅棒的制造过程是单晶硅从熔炉里出来后,被挤压成圆柱体,在挤压的过程中,其外部形成了不规则的波纹状的结构。为了便于制造、运输,挤压成型的单晶硅棒要被切割机床切割成小段,由于单晶硅棒比较重,在切割的过程中,单晶硅棒的两个端面都会有一定程度的斜度。为了减少浪费,一般都需要把每根单晶硅棒的具体尺寸测量出来,方便下一道工序根据单晶硅棒的尺寸情况,制定相应的加工方案,以求最大限度多生产出芯片基材来。
[0003]目前硅棒长度的自动测量装置存在以下问题:
[0004]1、目前主要使用人工对硅棒进行检测,工作效率低,劳动强度大;
[0005]2、通过此装置实现了硅棒的自动化测量,使测量效率更高,测量精度更高,同时降低了劳动成本。

技术实现思路

[0006](一)解决的技术问题
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒长度的自动测量装置,包括主体框架(1),其特征在于:所述主体框架(1)的内部设有用于升降的底部顶升气缸(2),所述底部顶升气缸(2)的顶部设有用于放置硅棒的工装板(3),所述主体框架(1)的内部设有用于测量硅棒长度的自动测量结构,所述主体框架(1)的内部设有四个大小形状相同的导向轴杆(8),所述主体框架(1)的内部靠近其一侧的内壁上设有横向移动模组(9)。2.根据权利要求1所述的一种硅棒长度的自动测量装置,其特征在于:所述主体框架(1)的内部靠近其顶部设有两个伺服电机(4)且两个伺服电机(4)分别位于主体框架(1)内部的两侧。3.根据权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员:李磊
申请(专利权)人:无锡展照精密机械科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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