硅基纳米孔阵列测序芯片制造技术

本实用新型专利技术提供一种硅基纳米孔阵列测序芯片，该芯片由下至上依次包括：硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干个电极，第一电介质层与第二电介质层的材料不同；硅基片中形成有一个贯穿其的公共腔；第一电介质层中形成有若干个贯穿其的纳米孔；第二电介质层中形成有若干个贯穿其的空腔；若干个空腔对应设置于若干个纳米孔的上面；若干个电极对应设置于若干个空腔的上面及第二电介质层的表面，每个电极裸露出部分与其对应的空腔形成桥状结构；公共腔显露若干个纳米孔。该芯片基于现有成熟的硅微加工工艺结合电介质材料的击穿原理，工艺波动小且可控、成本低、工艺简单，适于可控的大规模并行化形成纳米孔阵列，从而适用于工业化量产。产。产。

【技术实现步骤摘要】
硅基纳米孔阵列测序芯片


[0001]本技术属于微纳医疗检测应用
，特别是涉及一种硅基纳米孔阵列测序芯片。

技术介绍

[0002]基于纳米孔的测序技术起源于库尔特计数器和离子通道单电流记录技术的技术，其基本原理是：两个电解液室被绝缘膜分隔开，形成顺式和反式隔室，绝缘膜上只有一个纳米级的孔连通两腔室。当向电解液室施加电压时，溶液中的电解质离子通过电泳移动并穿过纳米孔，形成稳态离子电流，当尺寸略小于孔径的颗粒穿过孔时，流过纳米孔的电流将被阻塞，从而中断电流信号，随后恢复原有信号。将带电生物分子(离子、DNA、RNA、肽、蛋白质、药物、聚合物大分子等)样品添加到一个电解液隔室中会导致生物分子从纳米孔中进入和离开，这会在离子电流信号中产生一系列阻塞电流信号，这些阻塞电流幅度和持续时间传达了样品的许多特性，包括生物分子的大小、浓度和结构。
[0003]目前用于测序的纳米孔大致分为2类：生物纳米孔和固态纳米孔。生物纳米孔由于制备在磷脂双分子层上，需要低温保存，且稳定性和使用寿命较短。为了解决生物纳米孔的缺点，出现了固态纳米孔的研究。目前的固态纳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅基纳米孔阵列测序芯片，其特征在于，所述测序芯片由下至上依次包括：硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干个电极，所述第一电介质层与所述第二电介质层的材料不同；所述硅基片中形成有一个贯穿所述硅基片的公共腔；所述第一电介质层中形成有若干个贯穿其的纳米孔；所述第二电介质层中形成有若干个贯穿其的空腔；若干个所述空腔对应设置于若干个所述纳米孔的上面；若干个所述电极对应设置于若干个所述空腔的上面且形成于所述第二电介质层的表面，每个所述电极裸露出部分与其对应的所述空腔形成桥状结构；所述公共腔显露若干个所述空腔及若干个所述纳米孔。2.根据权利要求1所述的硅基纳米孔阵列测序芯片，其特征在于：所述硅基片的厚度介于500μm～1000μm之间，所述第一电介质层的厚度介于10nm～1000nm之间，所述第二电介质层的厚度介于10nm～100μm之间。3.根据权利要求1所述的硅基纳米孔阵列测序芯片，其特征在于：所述纳米孔的尺寸介于0.1nm～1...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：上海近观科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：