一种集成型污染物测量石英晶体微天平制造技术

本申请涉及微小质量测量技术领域，具体而言，涉及一种集成型污染物测量石英晶体微天平，包括盖板、外壳以及底座，其中：盖板固定在外壳的顶部，盖板中间设置有圆孔开窗；底座固定在外壳的底部，底座两侧分别设置有感应电路连接器和基准电路连接器；外壳的内部设置有感应晶体谐振器和基准晶体谐振器，感应晶体谐振器通过感应电路传输线与感应电路连接器连接，基准晶体谐振器通过基准电路传输线与基准电路连接器连接。本申请将两路完全相同的石英晶体谐振器，集成安装在一个对称型的结构中，通过两路谐振器的频率差值来扣除环境温度和振荡驱动电路对频率稳定性带来的影响。荡驱动电路对频率稳定性带来的影响。荡驱动电路对频率稳定性带来的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种集成型污染物测量石英晶体微天平


[0001]本申请涉及微小质量测量
，具体而言，涉及一种集成型污染物测量石英晶体微天平。

技术介绍

[0002]石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance简称QCM)是利用石英晶体的压电效应来测量附着在晶体表面物质质量的精密测量装置。德国物理学家Sauerbrey提出的Sauerbrey方程表明：如果晶体表面为刚性薄膜，那么石英晶体电极上质量变化量与晶体的振荡频率变化量成简单的线性关系。根据Sauerbrey方程的相关理论，对于基频为10M的石英晶体，若可测频率变化量能精确到0.01Hz，真空下可测质量为单层原子的附着量。因此石英晶体微天平被广泛应用在真空镀膜厚度监测、真空污染物评价等行业。
[0003]但是在实际应用中石英晶体振荡频率的稳定性会受到诸多因素的影响，其中温度、晶体振荡驱动电路、传输线带来的影响最为显著。本申请所设计的石英晶体微天平大大降低了温度、振荡驱动电路、传输线引入的不利因素影响，提高了石英晶体微天平的测量精度，通过集成减小了装置的体积，提高了装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成型污染物测量石英晶体微天平，其特征在于，包括盖板、外壳以及底座，其中：所述盖板固定在所述外壳的顶部，所述盖板中间设置有圆孔开窗；所述底座固定在所述外壳的底部，所述底座两侧分别设置有感应电路连接器和基准电路连接器；所述外壳的内部设置有感应晶体谐振器和基准晶体谐振器，所述感应晶体谐振器通过感应电路传输线与所述感应电路连接器连接，所述基准晶体谐振器通过基准电路传输线与所述基准电路连接器连接。2.如权利要求1所述的集成型污染物测量石英晶体微天平，其特征在于，所述感应晶体谐振器包括感应石英晶体、感应晶体接触片以及感应振荡驱动电路板，其中：所述感应振荡驱动电路板设置在所述外壳内部的安装凸台上；所述感应晶体接触片焊接在所述感应振荡驱动电路板上；所述感应石英晶体底部设置在所述感应晶体接触片上，顶部设置在所述盖板圆孔开窗的正下方。3.如权利要求2所述的测集成型污染物测量石英晶体微天平，其特征在于，所述基准晶体谐振器包括基准石英晶体、基准晶体接触片以及基准振荡驱动电路板，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹢，宗朝，柳青，张剑锋，陈光峰，刘泽，田瑜，李世勋，郭兴，颜则东，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：