【技术实现步骤摘要】
一种高硬高强耐磨化合物涂层及其制备方法
[0001]本专利技术属于陶瓷化合物涂层制备领域,具体涉及一种高硬高强耐磨化合物涂层及其制备方法。
技术介绍
[0002]材料涂层可有效改善基体的磨损与耐蚀性能,还能有效提升材料的使用性能和寿命。如常见的机械工用的切削刀具,被誉为工业牙齿,涂层刀具则可是为牙齿的保护层,在加工过程中不仅可避免刀具基体材料与被加工工件的直接接触,还能有效保护刀具基体。随着切削加工应用范围的不断拓展,对刀具的性能要求也越来越高。现在的刀具涂层不仅能提高刀具基体的硬度和耐磨性,还能提升刀具的热稳定性、抗氧化性、化学稳定性等特殊性能。物理气相沉积(PVD)技术因沉积温度低、不超过主流刀具基体材料高速钢的回火温度,且因PVD涂层具有高硬度、高耐磨、低摩擦系数和化学稳定性良好的优点,被广泛应用在刀具涂层领域。传统PVD涂层如TiN涂层因与基体性能差异大,易于造成涂层剥落而失效;在此基础上发展的三元涂层(如:TiAlN涂层),虽然其力学、抗氧化、耐摩擦与切削性能得到改善,但在一些特殊条件下其性能仍未尽人意。PVD涂层 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高硬高强耐磨化合物涂层的制备方法,其特征在于所述化合物涂层为(Al
x
Ce
y
CoCrNiO
p
Tb
q
TiY
m
Zr)N,其中0.1≤x≤1.3;0.1≤y≤1;0.1≤p≤0.5;0.1≤q≤1;0.1≤m≤1;0.01<x/(x+y+m+p+q+5)<0.25;0.01<y/(x+y+m+p+q+5)<0.20;0.01<p/(x+y+m+p+q+5)<0.10;0.01<q/(x+y+m+p+q+5)<0.20;0.01<m/(x+y+m+p+q+5)<0.20;且所述涂层所使用的靶材是FCC(面心立方结构、空间群为Fm
‑
3m(225)、点阵常数为1.111609nm)、HCP1(密排六方结构、空间群为P63/mmc(194)、点阵常数为a=b=0.515846nm,c=0.831097nm)和HCP2(密排六方结构、空间群为P63/mmc(194)、点阵常数为a=b=0.785922nm,c=0.779709nm)三相结构的Al
x
Ce
y
CoCrNiO
p
Tb
q
TiY
m
Zr化合物,且所述化合物涂层的制备方法包括以下步骤:(1)按化合物靶材化学式Al
x
Ce
y
CoCrNiO
p
Tb
q
TiY
m
Zr,其中0.1≤x≤1.3;0.1≤y≤1;0.1≤p≤0.5;0.1≤q≤1;0.1≤m≤1;0.01<x/(x+y+m+p+q+5)<0.25;0.01<y/(x+y+m+p+q+5)<0.20;0.01<p/(x+y+m+p+q+5)<0.10;0.01<q/(x+y+m+p+q+5)<0.20;0.01<m/(x+y+m+p+q+5)<0.20,分别称取所需的纯金属...
【专利技术属性】
技术研发人员:王志新,马明星,张志汉,聂绍乾,姚培琳,
申请(专利权)人:郑州启航精密科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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