集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路制造技术

本发明专利技术的实施例公开了一种集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路。所述二维检测电路包括含有IC电路的电路板；粘结层，所述粘结层位于电路板的表面上；磁感应部，所述磁感应部通过粘结层键合到电路板上；和电极部，所述电极部位于磁感应部的周边，所述电极部的一端与磁感应部形成欧姆接触，所述电极部的另一端与IC电路的引线端电连接。本发明专利技术属于半导体技术领域。所述二维检测电路克服单点检测速度慢、效率低且由于待检测物体或检测装置移动导致检测效率降低的技术问题。测效率降低的技术问题。测效率降低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路


[0001]本申请公开内容涉及半导体
，尤其涉及一种集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路。

技术介绍

[0002]漏磁检测作为一种重要的无损检测方法，具有对使用环境要求低、检测速度较快、可实现缺陷的定量化评价以及可以发现一定深度的缺陷等优点，在金属物体内缺陷检测、人体内异物检测、可燃或危险性气体泄漏检测等领域都发挥着越来越重要的作用。
[0003]随着电子器件制作水平的不断提高，近年来基于漏磁信号的缺陷可视化研究成为了引人关注的热点问题。目前，大多数检测装置仍然采用单个霍尔元件进行单点检测，这样的操作效率很低，无法快速地生成缺陷的二维检测图像。

技术实现思路

[0004]鉴于上述，希望能够提供一种可以克服单点检测速度慢、效率低且由于待检测物体或检测装置移动导致检测效率降低的新型无损检测电路。
[0005]为了解决现有技术中存在的上述问题中的至少一个方面，本专利技术的实施例提供了一种集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路。
[0006]根据本专利技术的一个方面，提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路，所述二维检测电路包括：含有IC电路的电路板；粘结层，所述粘结层位于电路板的表面上；磁感应部，所述磁感应部通过粘结层键合到电路板上；和电极部，所述电极部位于磁感应部的周边，所述电极部的一端与磁感应部形成欧姆接触，所述电极部的另一端与IC电路的引线端电连接。2.根据权利要求1所述的集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路，其中，所述霍尔元件包括所述磁感应部和与磁感应部欧姆接触的所述电极部，其中多个所述霍尔元件在电路板上呈阵列式分布。3.根据权利要求2所述的集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路，其中，所述引线端设置在粘结层中，并且在通过光刻工艺蚀刻、图形化形成电极部的同时形成互连线，所述互连线将引线端与电极部电连接。4.根据权利要求2所述的集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路，其中，所述引线端设置在粘结层中，并且在通过光刻工艺蚀刻、图形化形成电极部之后通过打线的方式将引线端与电极部电连接。5.根据权利要求1所述的集成有阵列型霍尔元件的二维检测电路，其中，所述磁感应部由以下步骤制备得到：在半导体单晶衬底上外延生长化合物半导体材料膜，作为化合物半导体霍尔的磁感应功能层；在化合物半导体材料膜和基板的至少一个上涂覆粘结层，并且通过粘结层将化合物半导体材料膜与电路板面对面键合在一起；选择性移除半导体单...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱忻，
申请(专利权)人：苏州矩阵光电有限公司，
类型：发明
国别省市：