捕集装置和基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种捕集装置和基板处理装置，能够高效地捕获排出气体中包含的对象物。捕集装置具有：筒状的壳体，其具有供经由排气管排出的排出气体流通的流路；板状的第一捕集构件，其以在从沿着壳体的中心轴的方向观察时遮蔽流路的中央部的方式配置于壳体内；以及板状的第二捕集构件，其以在沿着壳体的中心轴的方向上与第一捕集构件隔开间隔的方式配置于壳体内，所述第二捕集构件在与第一捕集构件对应的位置具有开口。的位置具有开口。的位置具有开口。

【技术实现步骤摘要】
捕集装置和基板处理装置


[0001]本公开涉及一种捕集装置和基板处理装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了一种在与用于进行基板处理的处理容器连接的排气管上设置用于收容两层的捕集器的壳体并使用两层的捕集器将经由排气管排出的排出气体中包含的副产物作为对象物来捕获的技术。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015
‑
80738号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够高效地捕获排出气体中包含的对象物的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一个方式的捕集装置具有：筒状的壳体，其具有供经由排气管排出的排出气体流通的流路；板状的第一捕集构件，其以在从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时遮蔽所述流路的中央部的方式配置于所述壳体内；以及板状的第二捕集构件，其以在沿着所述壳体的中心轴的方向上与所述第一捕集构件隔开间隔的方式配置于所述壳体内，所述第二捕集构件在与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种捕集装置，具有：筒状的壳体，其具有供经由排气管排出的排出气体流通的流路；板状的第一捕集构件，其以在从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时遮蔽所述流路的中央部的方式配置于所述壳体内；以及板状的第二捕集构件，其以在沿着所述壳体的中心轴的方向上与所述第一捕集构件隔开间隔的方式配置于所述壳体内，所述第二捕集构件在与所述第一捕集构件对应的位置具有开口。2.根据权利要求1所述的捕集装置，其特征在于，所述第二捕集构件的开口具有在从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时比所述第一捕集构件的尺寸小的开口宽度。3.根据权利要求2所述的捕集装置，其特征在于，所述第一捕集构件在当从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时与所述第二捕集构件的包围所述开口的区域重叠的区域具有多个开口。4.根据权利要求3所述的捕集装置，其特征在于，所述第二捕集构件在当从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时与所述第一捕集构件重叠的区域以不与所述第一捕集构件的所述多个开口重叠的方式具有多个开口...

【专利技术属性】
技术研发人员：根津崇明，大和优太，川岛章义，稻妻大树，三浦和幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：