马达控制系统、马达控制方法以及程序技术方案

马达控制系统具备控制部和补偿部。控制部根据对马达的动作指令，来控制马达所具有的轴的动作。补偿部基于与不同于马达的其它马达所具有的其它轴的动作有关的其它轴信息来运算补偿信息。补偿信息是用于补偿其它轴的动作对轴的影响的信息。控制部使用由补偿部运算出的补偿信息来控制轴的动作。补偿信息来控制轴的动作。补偿信息来控制轴的动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】马达控制系统、马达控制方法以及程序


[0001]本公开涉及一种马达控制系统、马达控制方法以及程序。更详细地说，本公开涉及一种控制马达的轴的动作的马达控制系统、马达控制方法以及程序。

技术介绍

[0002]专利文献1中公开了一种振动控制装置。该振动控制装置具备转矩指令输出部、转矩指令生成单元以及加法运算单元。转矩指令输出部对通过马达而被驱动的机械装置输出转矩指令。转矩指令生成单元生成同具有与通过驱动机械装置而产生的振动的相位相反的相位的振动相对应的补偿转矩指令。加法运算单元将所生成的补偿转矩指令与转矩指令相加。
[0003]然而，在专利文献1中记载的振动控制装置(马达控制系统)中，基于对X轴马达(即马达)输出的位置指令来生成补偿转矩指令。因此，在该振动控制装置中，存在难以降低伴随着与X轴马达不同的马达(其它马达)的动作而产生的振动这样的问题。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2017
‑
138821号公报

技术实现思路

[0007]本公开是鉴于上述问题而完成的，目的在于提供一种易于降低伴随着其它马达的动作而产生的振动的马达控制系统、马达控制方法以及程序。
[0008]本公开的一个方式所涉及的马达控制系统具备控制部和补偿部。控制部根据对马达的动作指令来控制马达所具有的轴的动作。补偿部基于与不同于马达的其它马达所具有的其它轴的动作有关的其它轴信息来运算补偿信息。补偿信息是用于补偿其它轴的动作对轴的影响的信息。控制部使用由补偿部运算出的补偿信息来控制轴的动作。
[0009]本公开的一个方式所涉及的马达控制方法具有控制步骤和补偿步骤。控制步骤是根据对马达的动作指令来控制马达所具有的轴的动作的步骤。补偿步骤是基于与不同于马达的其它马达所具有的其它轴的动作有关的其它轴信息来运算补偿信息的步骤。补偿信息是用于补偿其它轴的动作对轴的影响的信息。控制步骤使用在补偿步骤中运算出的补偿信息来控制轴的动作。
[0010]本公开的一个方式所涉及的程序用于使1个以上的处理器执行上述的马达控制方法。
[0011]本公开有易于降低伴随着其它马达的动作而产生的振动这样的优点。
附图说明
[0012]图1是示出本公开的实施方式所涉及的马达控制系统的概要的框图。
[0013]图2是上述的马达控制系统中的马达的控制对象以及其它马达的控制对象的概念
图。
[0014]图3是示出上述的马达控制系统中的马达的控制系统的数学模型的一例的概念图。
[0015]图4是示出上述的马达控制系统中的第三传递函数的频率特性的一例的图。
[0016]图5A是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0017]图5B是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0018]图6是示出上述的马达控制系统的动作的一例的流程图。
[0019]图7是示出本公开的实施方式的第三传递函数的频率特性的一例、以及在第一变形例的振动补偿部中使用的一阶低通滤波器的频率特性的一例的图。
[0020]图8A是示出本公开的实施方式的第一变形例的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0021]图8B是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0022]图9是示出本公开的实施方式的第二变形例所涉及的马达控制系统中的第七传递函数的频率特性的一例的图。
[0023]图10A是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0024]图10B是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0025]图11是示出本公开的实施方式的第三变形例所涉及的马达控制系统中的一阶高通滤波器的频率特性的一例的图。
[0026]图12A是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0027]图12B是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0028]图13是本公开的实施方式的第四变形例所涉及的马达控制系统中的马达的控制对象以及其它马达的控制对象的概念图。
[0029]图14是示出上述的马达控制系统的主要部分的概要的框图。
[0030]图15A是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0031]图15B是示出上述的马达控制系统的仿真结果的一例的图。
[0032]图16是本公开的实施方式的第五变形例所涉及的马达控制系统中的马达的控制对象以及多个其它马达的控制对象的概念图。
[0033]图17是示出上述的马达控制系统的概要的框图。
[0034]图18是示出本公开的实施方式的第六变形例所涉及的马达控制系统的概要的框图。
[0035]图19是示出本公开的实施方式的第七变形例所涉及的马达控制系统的概要的框图。
具体实施方式
[0036](实施方式)
[0037](1)概要
[0038]图1是示出本公开的实施方式所涉及的马达控制系统100的概要的框图。图2是上述的马达控制系统100中的马达M1的控制对象以及其它马达的控制对象的概念图。如图1所示，本实施方式的马达控制系统100根据对马达M1的动作指令S1来控制马达M1所具有的轴
的动作。由此，马达控制系统100控制经由图2所示的连接部C1而与马达M1的轴连接的负载L1的动作。马达控制系统100例如被使用于电子部件安装机或半导体制造装置等中。
[0039]马达控制系统100在上述列举的装置等中被与其它马达控制系统200并用。其它马达控制系统200根据对与马达M1不同的其它马达M2的动作指令S2来控制其它马达M2所具有的其它轴的动作。由此，控制经由针对其它轴的连接部(未图示)而与其它轴连接的其它负载L2的动作。其它负载L2是与负载L1不同的负载。
[0040]在此，如图2所示，作为图1所示的马达控制系统100的控制对象CT1的马达M1及负载L1可能会受到作为图1所示的其它马达控制系统200的控制对象CT2的其它马达M2及其它负载L2的动作的影响。在图2中，图1所示的其它马达控制系统200的控制对象CT2与负载L1相接的状态表示：由于图1所示的其它马达控制系统200的控制对象CT2的动作而产生的反作用直接传递到负载L1。
[0041]作为一例，在马达M1的轴停止且其它马达M2的轴正在动作的状态下，有时由于其它马达M2的动作的反作用而产生的干扰转矩作用于负载L1及马达M1。在该情况下，可能产生如下状况：尽管马达M1的轴已停止，但是马达M1的轴的位置也由于干扰转矩而产生偏移。这种状况例如可能在以下情况下发生：在电子部件安装机中，马达控制系统100控制头部(负载L1)沿X轴方向的移动，其它马达控制系统200控制具有头部的臂(其它负载L2)沿Y轴方向的移动。
[0042]因此，马达控制系统100意图通过下面的结构来解决上述的问题。即，如图1所示，马达控制系统100具备控制部1和补偿部2。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种马达控制系统，具备：控制部，其根据对马达的动作指令来控制所述马达所具有的轴的动作；以及补偿部，其基于与不同于所述马达的其它马达所具有的其它轴的动作有关的其它轴信息来运算补偿信息，所述补偿信息是用于补偿所述其它轴的动作对所述轴的影响的信息，所述控制部使用由所述补偿部运算出的所述补偿信息来控制所述轴的动作。2.根据权利要求1所述的马达控制系统，其中，所述补偿部具有：转矩估计部，其基于所述其它轴信息，来估计伴随着所述其它轴的动作而作用于所述马达的干扰转矩；以及补偿转矩运算部，其基于所述干扰转矩来运算补偿转矩指令，并将所述补偿转矩指令作为所述补偿信息输出，所述补偿转矩指令是用于降低由于所述干扰转矩作用于所述马达及与所述马达的所述轴连接的负载中的至少一方而产生的振动的指令。3.根据权利要求2所述的马达控制系统，其中，所述补偿转矩运算部通过对所述干扰转矩执行基于以作用于所述马达的马达转矩为输入且以作用于所述负载的负载转矩为输出的传递函数的滤波处理，来运算所述补偿转矩指令。4.根据权利要求3所述的马达控制系统，其中，所述滤波处理是基于以所述马达转矩为输入且以所述马达的马达速度为输出的传递函数与以所述负载转矩为输入且以所述马达速度为输出的传递函数的逆函数之积的处理。5.根据权利要求3所述的马达控制系统，其中，所述滤波处理是基于一阶低通滤波器的传递函数的处理。6.根据权利要求3所述的马达控制系统，其中，所述滤波处理是基于以所述负载转矩为输入且以所述负载的负载速度为输出的传递函数、以所述马达转矩为输入且以所述负载速度为输出的传递函数的逆函数以及一阶低通滤波器的传递函数之积的处理。7.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上健太，藤原弘，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：