磁悬浮系统和悬浮载体的方法技术方案

描述了用于运输载体的磁悬浮系统。磁悬浮系统包括沿着运输轨道延伸的多个主动磁性轴承和至少第一功率级和第二功率级，其中多个主动磁性轴承的第一组主动磁性轴承连接到第一功率级，并且多个主动磁性轴承的第二组主动磁性轴承连接到第二功率级。性轴承连接到第二功率级。性轴承连接到第二功率级。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁悬浮系统和悬浮载体的方法


[0001]本公开内容的实施方式涉及用于运输载体(特别是被用来承载大面积基板的载体)的系统和方法。更具体地，本公开内容的实施方式涉及特别是在真空腔室中用于悬浮载体和运输载体的磁悬浮系统。特别地，本公开内容的实施方式涉及用于运输载体的磁悬浮系统和悬浮载体的方法。

技术介绍

[0002]用于基板上的层沉积的技术包括物理气相沉积(PVD)(例如，溅射沉积，诸如热蒸发或溅射)和化学气相沉积(CVD)。被涂覆的基板可以用于若干应用和若干
例如，被涂覆的基板可以用于显示装置的领域。显示装置可以用于制造用于示出信息的电视机屏幕、计算机显示器、手机、其他手持式装置等。典型地，通过用不同的材料的层堆叠涂覆基板来产生显示器。
[0003]典型地，在可包括多个沉积源和其他基板处理设备的真空沉积系统中涂覆基板。典型地，经由真空沉积系统沿着运输轨道运输基板，例如从第一沉积源运输到第二沉积源和运输到其他基板处理设备。可以以基本上垂直的定向经由真空系统运输基板。
[0004]典型地，通过载体，即用于承载基板的承载器件来承载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于运输载体的磁悬浮系统(100)，包括：多个主动磁性轴承(30)，所述多个主动磁性轴承沿着运输轨道延伸；和至少第一功率级和第二功率级，其中所述多个主动磁性轴承的第一组主动磁性轴承(30)连接到所述第一功率级，并且所述多个主动磁性轴承的第二组主动磁性轴承(3)连接到第二功率级。2.如权利要求1所述的磁悬浮系统，进一步包括：总线，所述总线连接到所述第一功率级、所述第二功率级和所述多个主动磁性轴承。3.如权利要求2所述的磁悬浮系统，进一步包括：复用器，所述复用器经构造以经由所述总线将所述第一功率级的输出发送到所述第一组主动磁性轴承的第一磁性轴承并且经由所述总线将所述第二功率级的输出发送到所述第二组主动磁性轴承的第二磁性轴承。4.如权利要求1到3中任一项所述的磁悬浮系统，进一步包括：一个或多个控制器，所述一个或多个控制器经构造以将所述第一功率级从所述第一磁性轴承切换到在运输方向中位于所述第一磁性轴承下游的第一后续磁性轴承，并且将所述第二功率级从所述第二磁性轴承切换到在所述运输方向中位于所述第二磁性轴承下游的第二后续磁性轴承。5.如权利要求1到4中任一项所述的磁悬浮系统，进一步包括：底座(20)，所述底座沿着所述运输轨道延伸，所述多个主动磁性轴承设置在所述底座处；载体(10)，所述载体沿着所述运输轨道是可移动的，所述多个主动磁性轴承(30)经构造以面向所述载体的导向结构(12)，所述导向结构(12)包括：第一导向区(13)和第二导向区(14)，所述第一导向区和所述第二导向区经构造以与所述多个主动磁性轴承(30)相互作用；和凹陷区(15)，所述凹陷区在所述载体的运输方向(T)中被布置在所述第一导向区(13)与所述第二导向区(14)之间，所述凹陷区相对于所述第一导向区(13)和所述第二导向区(14)凹陷。6.如权利要求5所述的磁悬浮系统，其中所述第一导向区(13)和所述第二导向区(14)限定第一平面(P1)，在所述载体运输期间，所述第一平面(P1)与所述多个主动磁性轴承(30)相距第一距离，并且其中所述凹陷区(15)限定第二平面(P2)，在所述载体运输期间，所述第二平面(P2)与所述多个主动磁性轴承相距第二距离，所述第二距离大于所述第一距离。7.如权利要求6所述的磁悬浮系统，其中所述第一距离是2mm或更小，特别是约1.5mm，和/或其中所述第二距离是3mm或更大，特别是约5mm。8.一种用于运输载体的磁悬浮系统(100)，包括：多个主动磁性轴承(30)，所述多个主动磁性轴承沿着运输轨道延伸；和至少第一功率级和第二功率级，其中所述多个主动磁性轴承的第一组主动磁性轴承(30)连接到所述第一功率级，并且所述多个主动磁性轴承的第二组主动磁性轴承连接到第二功率级；一个或多个控制器，所述一个或多个控制器经构造以将所述第一功率级从所述第一磁
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【专利技术属性】
技术研发人员：亨宁，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：