一种新型在线真空等离子清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型在线真空等离子清洗机，包括：机架；钣金面板，配合所述机架的结构设置；充气模块、等离子模块和抽真空模块，设在所述机架内；控制模块，用于控制所述充气模块、等离子模块和抽真空模块；其中，所述等离子模块包括用于产品清洗处理的真空腔体，所述清洗机还包括传送模块和机械臂，所述传送模块上依次设有上料工位、清洗工位和下料工位，所述上料工位和所述下料工位包括用于放置待处理产品的第一托板，所述清洗工位包括与所述真空腔体配合密封的密封托板，所述密封托板上设有用于固定所述第一托板的固定件，所述机械臂用于所述上料工位的所述第一托板送到所述清洗工位的所述密封托板上固定。清洗工位的所述密封托板上固定。清洗工位的所述密封托板上固定。

【技术实现步骤摘要】
一种新型在线真空等离子清洗机


[0001]本技术涉及清洗机领域，更具体的说，涉及一种新型在线真空等离子清洗机。

技术介绍

[0002]清洗处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。清洗处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。对于金属铸件，我们比较常用的清洗处理方法是，机械打磨，化学处理，表面热处理，喷涂表面，清洗处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。
[0003]传统的真空等离子清洗机使用时需要全程人工上下料，人工成本较高且耗时较长，灵活性不高。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种有效提高工作效率的新型在线真空等离子清洗机。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0006]一种新型在线真空等离子清洗机，包括：
[0007]机架；钣金面板，配合所述机架的结构设置；
[0008]充气模块、等离子模块和抽真空模块，设在所述机架内；
[0009]控制模块，用于控制所述充气模块、等离子模块和抽真空模块；
[0010]其中，所述等离子模块包括用于产品清洗处理的真空腔体，所述清洗机还包括传送模块和机械臂，所述传送模块上依次设有上料工位、清洗工位和下料工位，所述上料工位和所述下料工位包括用于放置待处理产品的第一托板，所述清洗工位包括与所述真空腔体配合密封的密封托板，所述密封托板上设有用于固定所述第一托板的固定件，所述机械臂用于所述上料工位的所述第一托板送到所述清洗工位的所述密封托板上固定，清洗处理后再将所述第一托板送到下料工位。
[0011]进一步地，所述真空腔体内设有用于监测的传感器，所述传感器与所述控制模块耦接，所述等离子模块包括等离子电源和等离子发生器，所述等离子发生器的极板设在所述真空腔体内，所述充气模块与所述真空腔体之间设有送气阀，所述抽真空模块与所述真空腔体之间设有抽空阀，所述控制模块包括可编程逻辑控制器。
[0012]进一步地，所述充气模块包括用于清洗处理使用的气罐，所述气罐内的气体为氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳中任意一种。
[0013]进一步地，所述充气模块包括双路气流控制单元，两种气体独立储存两个所述气罐内，所述送气阀包括高精度电子质量流量计、针阀、气体管路和阀件。
[0014]进一步地，所述控制模块包括控制面板和操作按键，所述机架包括用于容纳所述抽真空模块的第一机架和用于容纳所述控制模块、充气模块和等离子模块的第二机架，所述第一机架和所述第二机架的主体框架相互独立。
[0015]进一步地，所述抽真空模块处于工作状态时，维持所述真空腔体内的气压范围为0.15～0.3mbar。
[0016]进一步地，所述传感器包括真空计和温湿度传感器。
[0017]本技术由于通过真空腔体和密封托板的配合，在低真空条件下，通过等离子发生器对反应腔体内工艺气体，施加高频电磁能量，使气体产生等离子体，利用等离子体的特性，作用于产品表面，达到清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能的目的；而且通过机械臂在不同工位进行配合工作，使得设备可与流水线对接，增加了灵活性且降低了人工上料成本，同时也节省了上料的步骤，可直接与下一工序对接，大大提高了设备的自动化程度，降低了人工上料成本，提高生产率。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例的清洗机的结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例的真空腔体的结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例的机械臂的结构示意图；
[0021]图4是本技术实施例的传送模块的结构示意图；
[0022]图5是本技术实施例的清洗机的工作示意图；
[0023]其中：10、清洗机，11、机架，111、第一机架，112、第二机架，113、钣金面板，12、充气模块，121、送气阀，122、气罐，13、等离子模块， 131、等离子发生器，132、真空腔体，14、控制模块，141、真空计，142、温湿度传感器，15、抽真空模块，151、抽空阀，16、传送模块，161、上料工位，162、清洗工位，163、下料工位，164、第一托板，165、密封托板，166、固定件，17、机械臂，171、X轴模组，172、Z轴模组，173、伺服电机。
具体实施方式
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0025]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]下面结合附图和较佳的实施例对本技术作进一步说明。
[0027]如图1至图5所示，本实施例公开了一种新型在线真空等离子清洗机 10，包括：机架；钣金面板113，配合机架的结构设置；充气模块12、等离子模块13和抽真空模块15，设在
机架内；控制模块14，用于控制充气模块12、等离子模块13和抽真空模块15；其中，等离子模块13包括用于产品清洗处理的真空腔体132，清洗机10还包括传送模块16和机械臂17，传送模块16上依次设有上料工位161、清洗工位162和下料工位163，上料工位161和下料工位163包括用于放置待处理产品的第一托板164，清洗工位162包括与真空腔体132配合密封的密封托板165，密封托板165 上设有用于固定第一托板164的固定件166，机械臂17用于上料工位161 的第一托板164送到清洗工位162的密封托板165上固定，清洗处理后再将第一托板164送到下料工位163。
[0028]通过真空腔体132和密封托板165的配合，在低真空条件下，通过等离子发生器131对反应腔体内工艺气体，施加高频电磁能量，使气体产生等离子体，利用等离子体的特性，作用于产品表面，达到清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能的目的；而且通过机械臂17在不同工位进行配合工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型在线真空等离子清洗机，其特征在于，包括：机架；钣金面板，配合所述机架的结构设置；充气模块、等离子模块和抽真空模块，设在所述机架内；控制模块，用于控制所述充气模块、等离子模块和抽真空模块；其中，所述等离子模块包括用于产品清洗处理的真空腔体，所述清洗机还包括传送模块和机械臂，所述传送模块上依次设有上料工位、清洗工位和下料工位，所述上料工位和所述下料工位包括用于放置待处理产品的第一托板，所述清洗工位包括与所述真空腔体配合密封的密封托板，所述密封托板上设有用于固定所述第一托板的固定件，所述机械臂用于所述上料工位的所述第一托板送到所述清洗工位的所述密封托板上固定，清洗处理后再将所述第一托板送到下料工位。2.如权利要求1所述的一种新型在线真空等离子清洗机，其特征在于，所述真空腔体内设有用于监测的传感器，所述传感器与所述控制模块耦接，所述等离子模块包括等离子电源和等离子发生器，所述等离子发生器的极板设在所述真空腔体内，所述充气模块与所述真空腔体之间设有送气阀，所述抽真空模块与所述真空腔体之间设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李旭东，王飞，
申请(专利权)人：深圳市东信高科自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：