【技术实现步骤摘要】
基板载具
[0001]本技术涉及载具
,具体为一种基板载具。
技术介绍
[0002]基板的装载和搬运,经常需要通过机械设备或以人工徒手的方式搬运或移动,而基板是极脆弱的物品,所以容易在制程中因受碰撞、摔落而损坏,相对增加了生产成本,业界常使用载具来搬运基板,提高工作效率的同时也可避免上述情形的发生,另一方面,由于基板上的薄膜非常脆弱,因此在取放或者保运过程中非常容易因些微的振动造成基板上的薄膜刮伤。
[0003]公开号为CN1847108A提供的一种基板载具,该基板载具包括一架体和二夹持装置,架体包括相对设置的上框架和下框架,该上、下框架之间形成放置空间,上、下框架上设有多个调整装置,该二夹持装置相对设置在放置空间内,分别包括上、下边杆及多个支撑体,其中,调整装置具有多个分叉沟槽,夹持装置进一步包括多个调节杆,调节杆可在该调整装置的分叉沟槽内移动,在分叉沟槽内移动该调节杆可调整二夹持装置的间距,用以收容不同尺寸的基板。
[0004]但上述基板载具在使用过程中仍存在以下几个缺陷:
[0005]1. ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板载具,包括载具箱(1),所述载具箱(1)内部为空心结构,其特征在于:所述载具箱(1)内部平行固定设置有多组T型隔条(2),所述T型隔条(2)上下两侧均开设有限位卡槽(21),所述T型隔条(2)之间设置有与载具箱(1)固定连接的第一弹簧(3),所述T型隔条(2)之间放置有基板(5),所述T型隔条(2)之间活动卡设有与第一弹簧(3)固定连接的用于承载基板(5)的承载装置(4);所述承载装置(4)包括王型承载台(401),所述王型承载台(401)中间开设有基板槽(402),所述基板槽(402)内部设置有承载板(403),所述承载板(403)一端固定连接有第一活动杆(404),所述第一活动杆(404)在承载板(403)和王型承载台(401)之间套设有第二弹簧(405)。2.根据权利要求1所述的一种基板载具,其特征在于:所述王型承载台(401)一端开设有第一空心腔(407),另一端开设有第二空心腔(414),所述第一活动杆(404)远离承载板(403)的一端穿过王型承载台(401)至第一空心腔(407)内部且固定连接有第一撞球(406),所述第一撞球(406)两侧活动设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:阚云辉,朱俊,王单城,
申请(专利权)人:合肥中航天成电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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