一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统，包括：超透镜层，包括若干个周期排列的超透镜，所述超透镜包含基板与设置于所述基板上的超表面结构单元；图像传感器模块层，包括若干个与所述超透镜层排列相同的图像传感器模块，其成像面朝向所述超透镜层；间隔层，设置于所述超透镜层与所述图像传感器模块层之间，包若干个与所述超透镜层排列相同的中空间隔。本实用新型专利技术通过将超透镜与图像传感器模块的晶圆级封装，有效的解决了传统光学成像模组体积大、重量沉、校准复杂、不易集成等缺点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统


[0001]本技术涉及晶圆级光学成像领域，更具体的说，涉及基于超透镜的晶圆级光学成像系统。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，光学成像系统在消费电子、安防监控、智能家居、军事防务和医疗成像领域有着越发重要的应用。现有光学成像系统由传统光学镜头、机械镜筒以及光学探测器模组构成。然而，传统光学成像系统具有体积大、重量沉、校准复杂、不易集成等缺点，难以满足当代小型化设备对高集成化设计的需求。

技术实现思路

[0003]针对上述技术问题，本技术实施例提供了一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统。
[0004]本本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统，包括：
[0006]超透镜层，包括若干个周期排列的超透镜，所述超透镜包含基板与设置于所述基板上的超表面结构单元；
[0007]图像传感器模块层，包括若干个与所述超透镜层排列相同的图像传感器模块，其成像面朝向所述超透镜层；
[0008]间隔层，设置于所述超透镜层与所述图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于超透镜的晶圆级光学成像系统，其特征在于，包括：超透镜层，包括若干个周期排列的超透镜，所述超透镜包含基板与设置于所述基板上的超表面结构单元；图像传感器模块层，包括若干个与所述超透镜层排列相同的图像传感器模块，其成像面朝向所述超透镜层；间隔层，设置于所述超透镜层与所述图像传感器模块层之间，包若干个与所述超透镜层排列相同的中空间隔。2.根据权利要求1所述的基于超透镜的晶圆级光学成像系统，其特征在于，所述超表面结构单元对入射光的偏振不敏感。3.根据权利要求1所述的基于超透镜的晶圆级光学成像系统，其特征在于，所述超表面结构单元为正六边形或正四边形，所述超表面结构单元的中心位置分别设有纳米结构；所述超表面结构单元不同位置处的单元周期相同；所述纳米结构为纳米柱结构；所述纳米柱结构包括圆形纳米柱结构、圆孔纳米柱结构、中空纳米柱结构、环孔纳米柱结构、拓扑纳米柱结构中的一种或几种。4.根据权利要求3所述的基于超透镜的晶圆级光学成像系统，其特征在于，所述纳米结构的材料为目标波段处透明的材料，所述纳米结构的高度为0.3
‑
25μm；优选地，所述纳米结构的材料为氧化硅、氮化硅、氧化铝、氮化镓、氧化钛、晶体硅、硫系玻璃、锗单晶、非晶硅、硫化锌和硒化锌中的一种。5.根据权利要求1所述的基于超透镜的晶圆级光学成像系统，其特征在于，所述基板的材料为目标波段...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝成龙，谭凤泽，朱健，
申请(专利权)人：深圳迈塔兰斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：