一种背板钎焊夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种背板钎焊夹具，所述背板钎焊夹具包括夹具主体、缓冲垫和压辊，所述夹具主体上设有第一凹槽，背板钎焊时嵌入第一凹槽中，所述夹具主体呈长条形，其长度方向的两侧端部均设有第二凹槽；所述缓冲垫覆盖于背板嵌入后的第一凹槽的上方，所述压辊位于缓冲垫上方，固定在夹具主体上；所述背板包括金属板和金属片，所述金属板内嵌磁体，所述金属片将内嵌磁体的部分覆盖并焊接封闭。本实用新型专利技术所述夹具通过夹具主体中凹槽以及压辊的设置，将背板的组合件固定，避免其因受热而发生位置偏移或变形，焊接效果好，内嵌磁体无明显的凸起或凹陷，背板的平面度满足后期安装要求；所述钎焊夹具结构简单，设计合理，使用方便，节省时间。节省时间。节省时间。

【技术实现步骤摘要】
一种背板钎焊夹具


[0001]本技术属于半导体靶材
，涉及一种背板钎焊夹具。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的快速发展，作为半导体产品重要制备方法的溅射镀膜法也得以不断发展，通常情况下，溅射镀膜用的靶材组件包括靶材和背板，通过两者的焊接形成一个整体，在使用时背板一侧固定在磁控溅射设备上。背板因其应用的不同，其内部结构设计也会不同，目前通常使用的背板多为一体型加工而成，其平面度参数容易控制和保障，但同样有其他类型的背板，如组合型背板，此类背板由两部分构成，需要在其中一部分内部嵌入环形磁体，再将另一部分覆盖，并利用钎焊焊接，形成整体背板。
[0003]上述组合型背板由于其结构特性，焊接组装时需要保证背板的表面平整度，以确保内部磁体无明显凸起或凹陷。此款背板焊接时，由于板状或片状的结构件重量较轻，在焊接加热时两者不易粘合，且会随着加热后焊料的流动发生位置上的偏移，从而影响焊接效果，背板的平面度无法满足后期的安装要求；因而需要设计专门的焊接夹具，使之能够固定焊接件，避免其在焊接过程中受热变形或移动，保证背板表面的平面度要求。
[0004]CN 204162776U公开了一种靶材组件，该靶材组件包括靶材、背板及导磁片，所述靶材与所述背板层叠设置，所述导磁片嵌于所述背板中，所述导磁片设有导磁片顶面，所述背板设有背板顶面，所述导磁片顶面与所述背板顶面平齐，且所述导磁片顶面贴紧所述靶材。该靶材组件中背板和导磁片的组合中，并未将导磁片焊接在背板内部，其顶面裸露且贴紧靶材一侧，并未涉及到背板的组合焊接，自然不会使用到相应的焊接夹具。
[0005]CN 104551309A公开了一种靶材焊接夹具和靶材焊接方法，所述焊接夹具包括：盖板和基座；所述基座包括上端开口的凹槽；所述盖板覆盖在凹槽上方，且在所述盖板和基座之间设有固定机构，所述固定机构包括开设在基座上位于凹槽周边的螺孔，贯穿盖板且与螺孔对应的固定孔，固定在固定孔和螺孔内的螺栓；采用靶材焊接夹具进行靶材焊接过程中，基座的凹槽内自下向上依次放置背板、靶材坯料，将背板和靶材坯料固定在基座和盖板之间。该焊接夹具的使用是为了实现靶材和背板的焊接，并未涉及到组合型背板的焊接，也未涉及到针对此类背板因组件厚度较小而容易变形或移动而进行的改进。
[0006]综上所述，对于组合型背板的焊接，还需要根据背板结构特性，选择合适的夹具，使得焊接时背板薄件的位置能够固定，且不易发生变形，保证焊接效果及焊接后的平面度。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种背板钎焊夹具，所述夹具根据背板的结构而设计，通过夹具主体中凹槽以及压辊的设置，将待焊接的背板的组合件固定，避免其因受热而发生位置偏移或变形，保证其内部磁体无明显的凸起或凹陷，使焊接后背板的平整度满足安装要求，且焊接效果好。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]本技术提供了一种背板钎焊夹具，所述背板钎焊夹具包括夹具主体、缓冲垫和压辊，所述夹具主体上设有第一凹槽，背板钎焊时嵌入所述第一凹槽中，所述夹具主体呈长条形，其长度方向的两侧端部均设有第二凹槽，所述第二凹槽的一端延伸到第一凹槽内；所述缓冲垫覆盖于背板嵌入后的第一凹槽的上方，所述压辊位于缓冲垫上方，固定在夹具主体上；
[0010]所述背板包括金属板和金属片，所述金属板内嵌磁体，所述金属片将内嵌磁体的部分覆盖并焊接封闭。
[0011]本技术中，对于内部嵌入磁体的组合型背板的焊接，需要设计相应的夹具进行固定，便于焊接过程的顺利进行；根据待焊接背板的结构，将夹具主体进行结构设计，先设置第一凹槽将初步组装的背板嵌入，同时在两侧设置第二凹槽，便于背板的放置与取出，嵌入后的背板通过缓冲垫的阻隔，避免压辊与背板直接接触而容易对背板造成损伤，再通过压辊对背板的压制作用，使得金属片在加热过程中焊料熔化后不发生位置偏移或变形，焊接效果好，内嵌的磁体也不会有明显的凸起或凹陷，背板的平面度能够达到后期的安装要求；所述钎焊夹具结构简单，设计合理，能够较好的适用于组合型背板的焊接，使用方便，节省时间。
[0012]以下作为本技术优选的技术方案，但不作为本技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本技术的技术目的和有益效果。
[0013]作为本技术优选的技术方案，所述第一凹槽的横截面的形状和大小与背板的形状和大小相同，所述第一凹槽的深度与背板的厚度相同，即所述第一凹槽与背板相匹配。
[0014]作为本技术优选的技术方案，所述第一凹槽的底面局部区域还设有第三凹槽，所述第三凹槽位于第一凹槽的中间位置；其中，所述第三凹槽的底面积占第一凹槽底面积的50～75％，例如50％、55％、60％、65％、70％或75％等。
[0015]本技术中，由于所述背板的背面设置了冷却水道，因此在所述夹具主体内第一凹槽的基础上进一步设置第三凹槽，使背板更好的嵌入；再通过两端冷却水口的设计，可以使背板在夹具内即可完成快速降温，节省时间。同时由于钎焊夹具搬运方便，不用同加热平台一起降温冷却，可以减少设备耗损。
[0016]作为本技术优选的技术方案，所述第二凹槽在长度方向上贯通夹具主体的边缘和第一凹槽，所述第二凹槽的深度大于第一凹槽的深度。
[0017]本技术中，夹具主体两端的第二凹槽对称设置，其深度大于第一凹槽，且部分延伸到第一凹槽中，极大方便了背板在第一凹槽中的取放。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述缓冲垫包括硅橡胶垫、氟橡胶垫或聚氨酯垫中任意一种。
[0019]本技术中，由于所述缓冲垫是应用于背板的钎焊，其材质的选择需要具备耐高温的特点，至少要能够承受不低于焊料熔点的温度，同时具备受冲压后变形小及使用寿命长等特性。
[0020]作为本技术优选的技术方案，所述压辊的数量至少为三个，例如三个、五个、八个、十个、十二个或十五个等，沿夹具主体的宽度方向平行设置，相邻两个压辊之间的距离相等，其中压辊数量的选择主要是由背板及夹具主体长度尺寸，以及单个压辊的宽度尺寸而决定的。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述压辊采用螺栓固定在夹具主体上，所述夹具主体上第一凹槽的长边两侧各设有一排螺纹孔，所述压辊的两端设有与螺纹孔对应的贯穿孔，所述螺栓穿过贯穿孔、穿进螺纹孔将压辊固定。
[0022]作为本技术优选的技术方案，所述夹具主体和压辊的材质包括铝合金。
[0023]本技术中，所述夹具主体和压辊可以选择同类材质，常用的材料包括铝合金，如KN500、KN520、6061等铝合金材料，在耐温、硬度等方面足以满足应用，且不易变形，不影响背板焊接的平面度。
[0024]作为本技术优选的技术方案，所述背板的金属板上设有环形轨道，所述环形轨道中嵌入磁体，所述金属板上被金属片覆盖的区域涂覆有焊料。
[0025]作为本技术优选的技术方案，所述金属板和金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种背板钎焊夹具，其特征在于，所述背板钎焊夹具包括夹具主体、缓冲垫和压辊，所述夹具主体上设有第一凹槽，背板钎焊时嵌入所述第一凹槽中，所述夹具主体呈长条形，其长度方向的两侧端部均设有第二凹槽，所述第二凹槽的一端延伸到第一凹槽内；所述缓冲垫覆盖于背板嵌入后的第一凹槽的上方，所述压辊位于缓冲垫上方，固定在夹具主体上；所述背板包括金属板和金属片，所述金属板内嵌磁体，所述金属片将内嵌磁体的部分覆盖并焊接封闭。2.根据权利要求1所述的背板钎焊夹具，其特征在于，所述第一凹槽的横截面的形状和大小与背板的形状和大小相同，所述第一凹槽的深度与背板的厚度相同。3.根据权利要求1所述的背板钎焊夹具，其特征在于，所述第一凹槽的底面局部区域还设有第三凹槽，所述第三凹槽位于第一凹槽的中间位置。4.根据权利要求1所述的背板钎焊夹具，其特征在于，所述第二凹槽在长度方向上贯通夹具主体的边缘和第一凹槽，所述第二凹槽的深度大于第一凹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，王立青，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：