一种靶材清洗固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种靶材清洗固定装置，所述靶材清洗固定装置包括支架和至少一组夹块组，所述夹块组包括分隔夹以及两个固定夹，所述固定夹的一侧开设有并排设置的两个第一V型槽，所述分隔夹的一侧开设有并排设置的两个第二V型槽，所述分隔夹的两个第二V型槽之间设置有隔离条；两个所述固定夹具有第一V型槽的一侧相对固定于支架上；所述分隔夹固定设置于两个所述固定夹之间，且位于固定夹具的下方。本实用新型专利技术通过设置夹块组夹持两个靶材，在不增加清洗设备的情况下，提高清洗产量两倍，具有结构简单、成本低和清洗效率高等特点。成本低和清洗效率高等特点。成本低和清洗效率高等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材清洗固定装置


[0001]本技术属于半导体
，尤其涉及一种靶材清洗固定装置。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射中无论是钛靶、钽靶、铝靶或铜靶等合金靶材，都包含有8英寸线(即200mm)溅射靶材。8英寸线靶在生产制作过程中一道工序就是表面清洗，若靶清洗不佳则会影响到靶在溅射中异常放电，从而导致晶元报废。
[0003]因此，在溅射靶材应用领域中，半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准，需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品，因此靶表面的洁净程度对靶材溅射至关重要。
[0004]CN112452946A公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。通过该专利技术的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。
[0005]CN112192327A公开了一种旋转靶材的清洗装置及方法，其包括机架、安装机构、打磨喷涂机构以及控制装置；安装机构包括旋转驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材清洗固定装置，其特征在于，所述靶材清洗固定装置包括支架和至少一组夹块组，所述夹块组包括分隔夹以及两个固定夹，所述固定夹的一侧开设有并排设置的两个第一V型槽，所述分隔夹的一侧开设有并排设置的两个第二V型槽，所述分隔夹的两个第二V型槽之间设置有隔离条；两个所述固定夹具有第一V型槽的一侧相对固定于支架上；所述分隔夹固定设置于两个所述固定夹之间，且位于固定夹具的下方；两个所述固定夹的第一V型槽夹持靶材，并且所述分隔夹的第二V型槽支撑靶材，两个靶材的清洗面一侧相背放置且夹持在两个所述固定夹之间，所述隔离条分隔两个靶材。2.根据权利要求1所述的靶材清洗固定装置，其特征在于，所述支架包括导轨以及至少一组与导轨活动连接的调节支架组，所述夹块组设置于所述调节支架组上。3.根据权利要求2所述的靶材清洗固定装置，其特征在于，所述调节支架组包括两个竖直设置的调节架，所述固定夹分别设置于所述调节架上；所述调节架与导轨滑动连接，所述调节架与导轨连接处设置有固定结构，所述固定结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，郑如军，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：