本实用新型专利技术公开了一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，具体涉及废酸处理技术领域，包括反应箱，所述反应箱内部设有渗析机构，所述渗析机构包括安装板，所述安装板一侧设有隔板并与隔板通过螺栓连接，所述隔板上镶嵌有阴离子交换膜。本实用新型专利技术通过设置渗析机构，在反应箱中设置有阴离子交换膜，而后通过抽液泵和抽液管将废酸液导入反应箱内部，储水罐中的纯净水也通入反应箱内部，阴离子交换膜将废酸液与纯净水隔开，由于二者中废酸液的浓度差不同，废酸液中的废酸便可通过阴离子交换膜而进入另一侧的水中，以此对废酸进行高效回收，不消耗能量，不产生废渣、也无需使用其他药剂，成本低。本低。本低。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置
[0001]本技术涉及废酸处理
，更具体地说是一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置。
技术介绍
[0002]半导体行业中使用氢氟酸刻蚀二氧化硅以及清洗石英器皿，硫酸用来清洗硅片，化学品经使用过后得到废酸液，该部分酸废液在半导体行业废水中占比很大，未经过处理会对环境造成很大的危害，同时造成大量资源浪费，因此对这些废酸液进行有效地处理一直是人们关注的热点。
[0003]目前的处理方法主要是酸碱中和、蒸发吸收、萃取等，其中石灰中和法虽然能中和废水中的酸，也能去除氟离子和硫酸根离子，处理费用较低，但石灰中和法存在管理繁琐、不易控制、产生的废渣量大、资源浪费、不能回收酸废液中的酸等缺点；蒸发吸收挥发性酸的方法对处理设备要求苛刻，要具有耐腐蚀性的设备，并且操作和处理费用都较高；溶剂萃取法同样需要投入大量的萃取药剂，只适合高附加经济价值的酸的回收，成本高，因此，研究一种简单有效且经济环保的从半导体行业制程产生的废酸液中回收酸的方法，是非常有必要的。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，以解决上述
技术介绍
中出现的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，包括反应箱，所述反应箱内部设有渗析机构；
[0006]所述渗析机构包括安装板，所述安装板设在反应箱内部，所述安装板外端与反应箱内壁固定连接，所述安装板一侧设有隔板并与隔板通过螺栓连接，所述隔板上镶嵌有阴离子交换膜。
[0007]进一步地，所述反应箱顶端固定设有过滤舱，所述过滤舱内部设有过滤器，所述过滤舱底端固定设有连通管，所述连通管一端延伸至反应箱内部。
[0008]进一步地，所述反应箱一侧设有废酸罐，所述废酸罐内部设有抽液管，所述抽液管一端贯穿废酸罐顶端并与过滤舱顶端固定连接，所述废酸罐顶端固定设有抽液泵，所述抽液泵固定设在抽液管上。
[0009]进一步地，所述反应箱顶端固定设有储水罐，所述储水罐和过滤舱分别位于隔板两侧，所述储水罐和废酸罐前侧均固定设有进料管，所述进料管上固定设有第一阀门，所述储水罐一侧固定设有连接管，所述连接管上固定设有电磁阀，所述连接管一端固定设有叶轮箱，所述叶轮箱固定设在反应箱另一侧。
[0010]进一步地，所述叶轮箱内部设有搅拌轴，所述搅拌轴两端分别与叶轮箱两侧内壁通过密封轴承活动连接，所述搅拌轴一端延伸至反应箱内部，所述反应箱内部设有多个搅
拌棒，所述搅拌棒固定设在搅拌轴外端，所述搅拌棒设在隔板一侧，所述叶轮箱内部设有多个叶轮，所述叶轮固定设在搅拌轴外端，所述叶轮箱底端固定设有进水管，所述进水管一端与反应箱另一侧固定连接。
[0011]进一步地，所述反应箱前侧固定设有回收管和残液排出管，所述回收管和残液排出管上均固定设有第二阀门，所述回收管和残液排出管分别设在阴离子交换膜两侧，所述反应箱前侧固定设有两个PH值检测仪，两个所述PH值检测仪分别设在阴离子交换膜两侧，所述安装板一侧固定设有密封垫，所述密封垫一侧与隔板相接触。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013]1、本技术通过设置渗析机构，在反应箱中设置有阴离子交换膜，而后通过抽液泵和抽液管将废酸液导入反应箱内部，储水罐中的纯净水也通入反应箱内部，阴离子交换膜将废酸液与纯净水隔开，由于二者中废酸液的浓度差不同，废酸液中的废酸便可通过阴离子交换膜而进入另一侧的水中，以此对废酸进行高效回收，不消耗能量，不产生废渣、也无需使用其他药剂，成本低。
[0014]2、本技术通过水流推动叶轮转动并带动搅拌轴随之转动，搅拌轴一端延伸至反应箱内部且其外端固定有多个搅拌棒，因此搅拌棒在此过程中转动，搅拌反应箱内部的水，使得进入水中的废酸与水混合均匀，避免水中的废酸浓度不均匀而影响渗析。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体图。
[0016]图2为本技术的夹板剖图。
[0017]图3为本技术的箱体俯剖图。
[0018]图4为本技术的三角块侧剖图。
[0019]图5为本技术的第一活动块剖视图。
[0020]附图标记为：1、反应箱；2、回收管；3、进水管；4、叶轮箱；5、连接管；6、储水罐；7、抽液泵；8、抽液管；9、过滤舱；10、废酸罐；11、PH值检测仪；12、残液排出管；13、过滤器；14、连通管；15、隔板；16、阴离子交换膜；17、搅拌轴；18、安装板；19、搅拌棒；20、叶轮。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参照说明书附图1
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5，该实施例的一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，包括反应箱1，所述反应箱1内部设有渗析机构；
[0023]所述渗析机构包括安装板18，所述安装板18设在反应箱1内部，所述安装板18外端与反应箱1内壁固定连接，所述安装板18一侧设有隔板15并与隔板15通过螺栓连接，所述隔板15上镶嵌有阴离子交换膜16。
[0024]所述反应箱1顶端固定设有过滤舱9，所述过滤舱9内部设有过滤器13，所述过滤舱9底端固定设有连通管14，所述连通管14一端延伸至反应箱1内部，对废酸液中的杂质进行
过滤。
[0025]所述反应箱1一侧设有废酸罐10，所述废酸罐10内部设有抽液管8，所述抽液管8一端贯穿废酸罐10顶端并与过滤舱9顶端固定连接，所述废酸罐10顶端固定设有抽液泵7，所述抽液泵7固定设在抽液管8上，以此将废酸液导入反应箱1中。
[0026]所述反应箱1顶端固定设有储水罐6，所述储水罐6和过滤舱9分别位于隔板15两侧，所述储水罐6和废酸罐10前侧均固定设有进料管，所述进料管上固定设有第一阀门，所述储水罐6一侧固定设有连接管5，所述连接管5上固定设有电磁阀，所述连接管5一端固定设有叶轮箱4，所述叶轮箱4固定设在反应箱1另一侧，储水罐6用于储存所需的纯净水。
[0027]实施场景具体为：将未处理的废酸液放置在废酸罐10中，操作过程中打开抽液泵7，利用抽液泵7和抽液管8将废酸罐10中的废酸抽到过滤舱9中，利用过滤舱9内部的过滤器13，对废酸液中的杂质进行过滤，过滤完毕后的酸液进入反应箱1中的隔板15一侧，与此同时，利用水作为接受液，将纯净水储存在储水罐6中，而后打开连接管5上的电磁阀，水便会经过连接管5、叶轮箱4和进水管3进入反应箱1中并位于隔板15和阴离子交换膜16的另一侧，此时由于隔板15两侧的液体中废酸的浓度不一致，由于阴离子交换膜16的存在，废酸液中的废酸便会通过阴离子交换膜16而进入水中，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，包括反应箱(1)，其特征在于：所述反应箱(1)内部设有渗析机构；所述渗析机构包括安装板(18)，所述安装板(18)设在反应箱(1)内部，所述安装板(18)外端与反应箱(1)内壁固定连接，所述安装板(18)一侧设有隔板(15)并与隔板(15)通过螺栓连接，所述隔板(15)上镶嵌有阴离子交换膜(16)。2.根据权利要求1所述的一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，其特征在于：所述反应箱(1)顶端固定设有过滤舱(9)，所述过滤舱(9)内部设有过滤器(13)，所述过滤舱(9)底端固定设有连通管(14)，所述连通管(14)一端延伸至反应箱(1)内部。3.根据权利要求2所述的一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，其特征在于：所述反应箱(1)一侧设有废酸罐(10)，所述废酸罐(10)内部设有抽液管(8)，所述抽液管(8)一端贯穿废酸罐(10)顶端并与过滤舱(9)顶端固定连接，所述废酸罐(10)顶端固定设有抽液泵(7)，所述抽液泵(7)固定设在抽液管(8)上。4.根据权利要求3所述的一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置，其特征在于：所述反应箱(1)顶端固定设有储水罐(6)，所述储水罐(6)和过滤舱(9)分别位于隔板(15)两侧，所述储水罐(6)和废酸罐(10)前侧均固定设有进料管，所述进料管上固定设有第一阀门，所述储水...
【专利技术属性】
技术研发人员：禹大龙，褚世斌，
申请(专利权)人：泛源环境科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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