一种真空低温电子束辐照试验装置制造方法及图纸

一种真空低温电子束辐照试验装置，涉及一种真空低温电子束辐照试验装置。本实用新型专利技术是要解决现有的开放电子辐照室无法实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱要解决电子束辐照穿透能力低的技术问题。本实用新型专利技术的装置具有真空获得和样品台低温制冷功能，可以实现低温真空复合场条件下材料和电子器件电子束辐照效应模拟试验研究，本装置设有性能测试接口，可实现电子器件的原位性能测试功能，是电子束辐照效应研究必不可少的装置。是电子束辐照效应研究必不可少的装置。是电子束辐照效应研究必不可少的装置。

【技术实现步骤摘要】
一种真空低温电子束辐照试验装置


[0001]本技术涉及一种真空低温电子束辐照试验装置。

技术介绍

[0002]空间辐射环境是航天器在轨运行所面临的重要环境要素之一，因其诱发的单粒子效应、总剂量效应、位移损伤效应、表面充放电效应、内带电效应等既可引起航天器材料、器件、系统等在轨损伤、性能退化甚至失效，为满足空间辐射环境对材料及电子器件的使用要求，引发了研究人员对耐辐射材料及器件加固技术的研发。然而，验证材料、器件及系统的使用寿命的主要手段之一就是空间辐射环境地面模拟试验。空间辐射环境是比较较复杂的，往往是不同场的复合，包括真空、低温、带电粒子辐射的复合，这样复杂场的地面模拟试验需要辅助试验设备的支撑，真空低温电子束辐照试验装置是进行空间辐射环境地面模拟试验研究的基础设备，专利技术真空低温电子束辐照试验装置对进行复合场的电子束辐照试验研究具有重要意义。

技术实现思路

[0003]本技术是要解决现有的开放电子辐照室无法实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱要解决电子束辐照穿透能力低的技术问题，而提供一种真空低温电子束辐照试验装置。
[0004]本技术的真空低温电子束辐照试验装置是由电子束进口钛膜盖板1、钛膜2、电子束进口连接法兰3、真空罐体法兰4、真空罐体5、观察窗法兰盖板6、有机玻璃观察窗7、观察窗接口法兰8、冷台9、绝热垫板10、工作台支架11、真空快接口12、液氮接口13、真空测试快接口14、真空密封插座接线端子接口法兰15、真空密封插座接线端子16和罐体法兰17组成；
[0005]所述的电子束进口连接法兰3为一个中心为空心的法兰板，电子束进口连接法兰3的外壁底端固定真空罐体法兰4；电子束进口钛膜盖板1的结构与电子束进口连接法兰3相同，电子束进口钛膜盖板1位于电子束进口连接法兰3的上方且两者通过螺杆固定，钛膜2设置在电子束进口钛膜盖板1位于电子束进口连接法兰3之间；
[0006]所述的真空罐体5为长方体结构，其侧壁顶部固定罐体法兰17，真空罐体5的一个侧壁上设置一个通孔，在通孔的内壁上固定观察窗接口法兰8，观察窗法兰盖板6通过螺栓固定在观察窗接口法兰8的外侧，有机玻璃观察窗7夹在观察窗法兰盖板6和观察窗接口法兰8之间；在真空罐体5中有机玻璃观察窗7相对的侧壁上设置真空快接口12；真空罐体法兰4与罐体法兰17通过螺栓固定；
[0007]所述的真空罐体5的内腔底面中心处设置工作台支架11，工作台支架11上依次设置绝热垫板10和冷台9，冷台9位于钛膜2的正下方；冷台9的内部为空腔结构，设置有进口9
‑
2和出口9
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1，内腔中均匀设置多个互相交错的隔板9
‑
3；真空罐体5的一个侧壁上设置两个液氮接口13，分别与进口9
‑
2和出口9
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1连通，液氮接口13所在的侧壁与有机玻璃观察窗7所
在的侧壁垂直；
[0008]在真空罐体5中液氮接口13相对的侧壁上设置真空测试快接口14和真空密封插座接线端子接口法兰15，真空测试快接口14在真空密封插座接线端子接口法兰15的上方；真空密封插座接线端子接口法兰15的外侧通过螺栓固定真空密封插座接线端子16。
[0009]本技术的真空低温电子束辐照试验装置的使用方法：将真空罐体法兰4与罐体法兰17分离，将试验样品放置到冷台9上，试验样品在钛膜2的窗口几何中心的正下方以保障电子束18能够透过钛膜2后辐照到试验样品，将真空罐体法兰4与罐体法兰17通过螺栓固定，在真空罐体法兰4与真空罐体5之间有密封橡胶圈以保证真空密封性；将真空低温电子束辐照试验装置放到电子加速器扫描盒17的正下方(如图6)，将钛膜2窗口对准电子加速器扫描盒扫描盒17的几何中心，通过真空快接口12与真空泵19连接，真空条件测试是通过真空测试快接口14与真空测试系统连接后，通过真空测试系统测试真空条件，当真空条件达到极限后，开始获得低温场条件，低温条件的获得是通过液氮接口13与液氮制冷系统连接后，开启低温系统获得预设的低温条件；最后开启电子加速器扫描盒17进行电子辐照试验，试验样品的状态可以通过有机玻璃窗观察窗7进行观察；如果进行电子器件原位测试，则通过真空密封插座接线端子16将测试仪器与电子器件(放置在冷台9上)连接，进行原位性能测试。
[0010]为了解决开放电子辐照室不能实现真空低温条件复合辐照试验条件，制备真空低温箱，同时也要解决电子束辐照穿透能力低的问题，本技术采用中空的电子束进口钛膜盖板1将钛膜2压到电子束进口连接法兰3上，电子束进口连接法兰3与真空罐体法兰4采用焊接方式连接，电子束进口连接法兰3与钛膜2之间采用橡胶密封方式以保证气密性，由于钛膜2较薄，高能电子能够透过钛膜2后辐照到试验样品上，达到真空条件下辐照试验的目的；为了解决样品低温环境下与辐射环境复合问题，在真空罐体5内设计了冷台9，冷台9放置到工作台支架11上，冷台9与工作台支架11中间垫有绝热垫板10以减少热传递，冷台9通过管道与箱壁之间有密封接口，保证真空密封条件下，通过液氮接口13与液氮管道连接，实现制冷目的；为了在试验过程中观测样品状态，本装置在端面设有有机玻璃观察窗7，观察窗7是通过观察窗法兰盖板6将观察窗7压到观察窗接口法兰8上，观察窗7是通过橡胶密封圈与观察窗接口法兰8实现密封，观察窗接口法兰8与真空罐体5采用焊接连接。为了解决电子元器件原位测试问题，真空罐体5的侧面设置真空密封插座接线端子接口法兰15与真空密封插座接线端子16采用螺栓连接，真空密封插座接线端子接口法兰15与真空罐体5采用焊接连接，在元器件与测试设备之间架起连接通路。
[0011]本技术的装置具有真空获得和样品台低温制冷功能，可以实现低温真空复合场条件下材料和电子器件电子束辐照效应模拟试验研究，本装置设有性能测试接口，可实现电子器件的原位性能测试功能，是电子束辐照效应研究必不可少的装置。
附图说明
[0012]图1为具体实施方式一的真空低温电子束辐照试验装置的俯视图；
[0013]图2为图1的A
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A剖面图；
[0014]图3为图2的左视图；
[0015]图4为图1的B
‑
B剖面图；
[0016]图5为具体实施方式一的冷台9的俯视图；
[0017]图6为具体实施方式一中将真空低温电子束辐照试验装置放到电子加速器扫描盒17的正下方的示意图。
具体实施方式
[0018]具体实施方式一：本实施方式为一种真空低温电子束辐照试验装置，如图1
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图6所示，具体是由电子束进口钛膜盖板1、钛膜2、电子束进口连接法兰3、真空罐体法兰4、真空罐体5、观察窗法兰盖板6、有机玻璃观察窗7、观察窗接口法兰8、冷台9、绝热垫板10、工作台支架11、真空快接口12、液氮接口13、真空测试快接口14、真空密封插座接线端子接口法兰15、真空密封插座接线端子16和罐体法兰17组成；
[0019]所述的电子束进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空低温电子束辐照试验装置，其特征在于真空低温电子束辐照试验装置是由电子束进口钛膜盖板(1)、钛膜(2)、电子束进口连接法兰(3)、真空罐体法兰(4)、真空罐体(5)、观察窗法兰盖板(6)、有机玻璃观察窗(7)、观察窗接口法兰(8)、冷台(9)、绝热垫板(10)、工作台支架(11)、真空快接口(12)、液氮接口(13)、真空测试快接口(14)、真空密封插座接线端子接口法兰(15)、真空密封插座接线端子(16)和罐体法兰(17)组成；所述的电子束进口连接法兰(3)为一个中心为空心的法兰板，电子束进口连接法兰(3)的外壁底端固定真空罐体法兰(4)；电子束进口钛膜盖板(1)的结构与电子束进口连接法兰(3)相同，电子束进口钛膜盖板(1)位于电子束进口连接法兰(3)的上方且两者通过螺杆固定，钛膜(2)设置在电子束进口钛膜盖板(1)位于电子束进口连接法兰(3)之间；所述的真空罐体(5)为长方体结构，其侧壁顶部固定罐体法兰(17)，真空罐体(5)的一个侧壁上设置一个通孔，在通孔的内壁上固定观察窗接口法兰(8)，观察窗法兰盖板(6)通过螺栓固定在观察窗接口法兰(8)的外侧，有机玻璃观察窗(7)夹在观察窗法兰盖板(6)和观察窗接口法兰(8)之间；在真空罐体(5)中有机玻璃观察窗(7)相对的侧壁上设置真空快接口(12)；真空罐体法兰(4)与罐体法兰(17)通过螺栓固定；所述的真空罐体(5)的内腔底面中心处设置工作台支架(11)，工作台支架(11)上依次设置绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：张玉宝，刘海，蒋继成，姚钢，
申请(专利权)人：黑龙江省科学院技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：