一种二维大行程高负载解耦偏摆装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种二维大行程高负载解耦偏摆装置，包括：放大机构、偏转支撑杆、底座、偏摆台，放大机构和偏转支撑杆设置在底座上，且放大机构与偏转支撑杆连接，偏摆台的两端分别与放大机构的顶部和偏转支撑杆的顶部连接；放大机构包括一级放大组件、二级放大组件、三级放大组件，一级放大组件内设置有放置腔，放置腔内放置有压电陶瓷。通过放置腔内的压电陶瓷对一级放大组件施加等量的双向位移，一级放大组件对压电陶瓷的输入位移进行放大产生相反方向的横向位移，并将横向位移作用到二极放大组件上，二极放大组件将一级放大组件的横向位移转变成竖直方向的位移，最后作用于三级放大组件，三级放大组件减小最终输出位移耦合误差。差。差。

【技术实现步骤摘要】
一种二维大行程高负载解耦偏摆装置


[0001]本专利技术涉及压电陶瓷驱动精密仪器
，具体涉及一种二维大行程高负载解耦偏摆装置。

技术介绍

[0002]现有偏摆台使用的柔性铰链放大机构只是单侧多级杠杆原理的利用没有考虑高负载这方面，并且单侧柔性铰链放大结构输出的位移还会产生其他方向的分量，在偏摆台工作过程中会发生耦合，影响偏摆的角度精度。偏摆台在位移消失时需要恢复初始状态利用两个相同结构放在同一方向或弹簧恢复初始状态，对于二维偏摆台来说，在同一维度对称摆放，不仅受来自同一方向的反作用力，同时受另一个方向双倍的反作用力，在不考虑高负载的情况下克服反作用力并使偏摆台发生偏摆受到很大的局限性，同时对空间大小与偏摆台面上的负载也会受到很大的局限性。弹簧用在偏摆中心，在多次使用后弹簧的弹力会减弱并且产生的抖动无法使偏摆台立即使用。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种二维大行程高负载解耦偏摆装置，以解决现有技术中偏摆台工作过程中会发生耦合，影响偏摆的角度的问题。
[0004]本专利技术解决上述技术问题的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维大行程高负载解耦偏摆装置，其特征在于，包括：放大机构(1)、偏转支撑杆(2)、底座(3)、偏摆台(4)，所述放大机构(1)和所述偏转支撑杆(2)设置在所述底座(3)上，且所述放大机构(1)与所述偏转支撑杆(2)连接，所述偏摆台(4)的两端分别与所述放大机构(1)的顶部和所述偏转支撑杆(2)的顶部连接；所述放大机构(1)包括一级放大组件(5)、二级放大组件(6)、三级放大组件(7)，所述一级放大组件(5)内设置有放置腔(8)，所述放置腔(8)内放置有压电陶瓷，所述二级放大组件(6)设置在所述一级放大组件(5)的上端，所述三级放大组件(7)设置在所述二级放大组件(6)的上端，所述三级放大组件(7)通过连接部件(9)与所述偏摆台(4)连接。2.根据权利要求1所述的二维大行程高负载解耦偏摆装置，其特征在于：所述三级放大组件(7)包括连接框(701)、第一平铰链(702)、平行杆(703)、第一直圆柱柔性铰链(704)、第一连接块(705)，所述连接框(701)通过所述第一平铰链(702)与所述平行杆(703)连接，所述平行杆(703)通过所述第一直圆柱柔性铰链(704)与所述第一连接块(705)连接。3.根据权利要求2所述的二维大行程高负载解耦偏摆装置，其特征在于：所述一级放大组件(5)包括一级放大杠杆(501)、第二平铰链(502)、第二直圆柱柔性铰链(503)、支撑杆(504)，所述一级放大杠杆(501)的一端通过所述第二平铰链(502)与所述连接框(701)连接，所述一级放大杠杆(501)的另一端通过所述第二直圆柱柔性铰链(503)与所述支撑杆(504)连接，所述第二平铰链(502)和所述第二直圆柱柔性铰链(503)的中心线在同一水平线上。4.根据权利要求3所述的二维大行程高负载解耦偏摆装置，其特征在于：所述二级放大组件(6)包括第一半圆铰链(601)、桥臂(602)、第二半圆铰链(603)、输出杆(604)、第三直圆柱柔性铰链(605)，所述第一半圆铰链(601)设置在所述一级放大杠杆(501)的上端，所述桥臂(602)倾斜放置在所述第一半圆铰链(601)与所述第二半圆铰链(603)之间，所述输出杆(604)设置在所述第二半圆铰链(603)的上端，所述输出杆(604)通过所述第三直圆柱柔性铰链(605)与所述平行杆(703)连接。5.根据权利要求2至4任一项所述的二维大行程高负载解耦偏摆装置，其特征在于：所述连接部件(9)包括第四直圆柱柔性铰链(901)、第五直圆柱柔性铰链(902)、第二连接块(903...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海涛，王耿，毛同宇，闫勇刚，赵彦如，陈国强，张博，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：