硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用技术

本申请具体公开了一种硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用。硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，将硬质合金材料置于工作腔中，抽真空；之后同时通入氢气、甲烷及四甲基硅烷，并加热至550℃以上，进行化学气相沉积；甲烷和四甲基硅烷的体积比为10：(0.1

【技术实现步骤摘要】
硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用


[0001]本申请涉及金刚石涂层的领域，更具体地说，它涉及一种硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用。

技术介绍

[0002]硬质合金材料是一种采用难熔金属的硬质化合物以及粘结金属为原料通过粉末冶金工艺而制得的高硬耐磨材料。该材料除了具有较高的硬度和良好的耐磨性外，还具有良好的耐热性和耐腐蚀性。
[0003]由于硬质合金材料具有上述优良的特性，因此该材料常被制成刀具（如铣刀）而应用于石墨模具零件、陶瓷材料、碳纤维材料以及PCB线路板等的加工中；尤其是硬质合金材料中最重要的一类材料：钨钢，其被制成刀具并广泛应用于上述加工中，并取得了不错的效果。
[0004]然而，随着工业加工向高速化发展，并且对加工精度的要求越来越苛刻，要求刀具具有更好的切削性能和更长的加工寿命；从而，对于硬质合金材料也提出了更高的要求，要求该材料具有更好的耐磨性和热稳定性，更低的热膨胀性以及更高的导热性，这样才能使硬质合金刀具具有更理想的性能，并更好地运用于加工石墨、陶瓷、碳纤维、PCB本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：将硬质合金材料置于工作腔中，对工作腔抽真空；之后同时向工作腔中通入氢气、甲烷以及四甲基硅烷，并加热工作腔至550℃以上，进行化学气相沉积；所述甲烷和四甲基硅烷的体积比为10：(0.1
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5)。2.根据权利要求1所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述工作腔内气压至3
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10Pa后，进行7
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24h的化学气相沉积。3.根据权利要求2所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述甲烷和氢气的体积比为10：(250
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1000)。4.根据权利要求3所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述甲烷的流量为2
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8sccm。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙丹，林勇刚，王立利，
申请(专利权)人：科汇纳米技术深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：