一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统。本方法为：1)将芯片模块固定在三维影像测量仪上；2)在芯片模块上确定出芯片的安装位置；3)在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4)导出各所选点的三维坐标到数据处理单元，生成陶瓷边框的拟合面；5)以拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于基准面的距离；6)如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距离大于0的点中最大距离值，将芯片上各所选点对应的距离与该最大距离的差值，作为对应点调节的幅度值。值。值。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统


[0001]本专利技术属于探测器机械封装领域，涉及一种用于探测器读出芯片平行度校准方法及系统。

技术介绍

[0002]气体像素探测器(GPD)是用于探测宇宙星体活动产生的偏振X射线并测量其偏振度的精密仪器，具有高位置分辨性能。GPD的两个重要模块是气体电子倍增器(GEM)和置于其下方的读出芯片(VLSI)；GEM的制作是基于光刻刻蚀技术，在50μm厚的聚酰亚胺膜上刻出直径50μm间隔50μm的锥形圆孔，其上下平面覆有5μm厚的铜层；VLSI芯片的制作基于0.18μm CMOS技术设计，其上表面是由六边形像素单元组成的感应电极，灵敏面积为15
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15mm2，总共300
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352个像素数。X射线偏振度的测量原理是当低能X射线(<几十KeV)被低密度介质所吸收，发射的光电子向感应电极漂移，经过GEM倍增后信号被芯片上表面的单元收集，从低能光电子的微分截面公式可知发射的光电子径迹在垂直于X射线传播方向的平面上将会呈分布，而值即为X射线的偏振度。由此可知X射线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法，其步骤包括：1)将芯片模块固定在三维影像测量仪上，从芯片模块上选取一点作为原点并设定X、Y、Z轴方向；2)在芯片模块上确定出芯片的安装位置并涂抹银浆后，将芯片放置于该安装位置；3)在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4)从三维影像测量仪中导出各所选点的三维坐标输入到数据处理单元，数据处理单元根据该N个所选点坐标生成陶瓷边框的拟合面；5)以陶瓷边框的拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于该基准面的距离，其中芯片上的所选点在该基准面下方时计算的距离为正值，反之则为负值；6)如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则从芯片上各所选点对应的距离中找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该距离绝对值最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距离大于0的点中最大距离值，将芯片上各所选点对应的距离与该最大距离的差值，作为对应点需要调节的幅度值；将找出的所需减去距离值对应的点作为基准点；7)将该M个点按照X、Y坐标大小进行编号，各所选点对应的调节幅度值作为Z轴，画出各所选点调节幅度值的柱状图；计算步骤6)所得调节幅度值最大值与调节幅度值最小值之间的差值作为芯片和陶瓷边框的平行度误差，如果该平行度误差小于设定值，则完成校准，否则将柱状图中相对基准点的最远区域根据计算的幅度值进行调节，再重复步骤3)～7)。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据芯片的灵敏区域确定出所述芯片上的选点位置。3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，数据处理单元根据陶瓷边框上各所选点生成陶瓷边框的拟合面，采用高斯拟合给出了不同数量、位置选点下陶瓷边框对应拟合面的平整度的标准偏差和误差，确定出陶瓷边框上所选的N个点；数据处理单元根据芯片上各所选点生成陶瓷边框的拟合面...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋杰臣，孙亮，姜维春，徐玉朋，何会林，刘小桦，李鲜，杜园园，杨生，刘晓静，杨家卫，董泽芳，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：发明
国别省市：