测量方法以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。对彼此隔离的多个第一电极(51)与多个第二电极(52)之间的电极间阻抗进行测量的测量方法包含下述步骤：对多个电流检测部(4)中的一个电流检测部进行校准；使用经校准的电流检测部即第一电流检测部(4a)来测量基准样本(S)的第一基准阻抗(Z

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测量方法以及检查装置


[0001]本专利技术涉及一种测量方法以及检查装置。

技术介绍

[0002]例如专利文献1所公开的检查装置在传感器面板已被拆卸的状态下，传感器面板检查装置的校正(calibration)部一边对存在多个的第二电缆中的至少任一个供给信号部的交流信号，一边在校正信号部中调整与电流计对应的交流电源的电压及相位，以使电性连接于第一电缆的电流检测部的所述电流计的输出变为零。当电流计的输出变为零时，存储此时的所述交流电源的电压及相位。在传感器面板的检查时，基于所存储的电压及相位来使校正信号部的交流电源产生交流信号。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利特开2014
‑
238318号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]此外，专利文献1所公开的检查装置中，设有多个电流检测部(例如参照专利文献1的图1)。为了使由电流检测部检测的电流值成为准确的值，考虑对全部的电流检测部进行校准。然而，对多个电流检测部的全部进行校准耗费时间。
[0008]本专利技术用于解决所述课题，其目的在于，简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。
[0009]解决问题的技术手段
[0010]本专利技术的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。
[0011]根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量检查对象物的多个部位的阻抗(对象物阻抗)。由此，可统一测量检查对象物中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。
[0012]另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)所测量出的基准样本的阻抗(第一基准阻抗)，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗进行修
正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正对象物阻抗的第一基准阻抗。
[0013]另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。
[0014]因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。
[0015]优选的是，所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。
[0016]根据所述方法，可自基准样本对象中排除具有极端阻抗值的检查对象物。由此，可选定具有适当阻抗值的检查对象物来作为基准样本，从而可利用适当的第一基准阻抗来修正对象物阻抗，因此可获得更准确的修正后阻抗。
[0017]优选的是，所述的任一测量方法还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在与多个所述第一电极分别对应的第一配线中的检查对象物侧的端部、和与多个所述第二电极分别对应的第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。
[0018]根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，进行所谓的开路(open)修正及负载(load)修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗。
[0019]进而优选的是，所述测量方法还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各第一配线及各第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。
[0020]根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路(short)修正。由此，可获得更加准确的修正后阻抗。
[0021]进而优选的是，所述测量方法包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的所述第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。
[0022]根据所述方法，对于使用第一电流检测部而测量出的第一基准阻抗，进行所谓的
开路修正及短路修正。由此，可获得基准样本的更准确的修正后基准阻抗，因此可获得更加准确的修正后阻抗。
[0023]另外，本专利技术的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有第一电极与第二电极的多个检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个进行校准；(b)从多个所述检查对象物中选定多个基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量各所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量各所述检查对象物的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。
[0024]根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量各检查对象物的对象物阻抗。由此，可统一测量各检查对象物中的所需部位的阻抗，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测量方法，其特征在于，对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。3.根据权利要求1或2所述的测量方法，其特征在于，还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在与多个所述第一电极分别对应的第一配线中的检查对象物侧的端部、和与多个所述第二电极分别对应的第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各第一配线及各第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的所述第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述
(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。6.一种测量方法，其特征在于，对彼此隔离地设有第一电极与第二电极的多个检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个进行校准；(b)从多个所述检查对象物中选定多个基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量各所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量各所述检查对象物的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，各所述基准样本中，所述第一电极及所述第二电极未短路，且所述第一电极及所述第二电极未断线。8.根据权利要求6或7所述的测量方法，其特征在于，还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部...

【专利技术属性】
技术研发人员：鸙野俊寿，
申请(专利权)人：日本电产理德股份有限公司，
类型：发明
国别省市：