磁偏压铁磁性螺旋电感器制造技术

本发明专利技术是关于一种磁偏压铁磁性螺旋电感器，至少包含一半导体基材以及一第一绝缘层设于该半导体基材上；一螺旋线圈电感器设于该第一绝缘层上以及一第二绝缘层设于该螺旋线圈电感器上；一图案化铁磁层设于该第二绝缘层上以及一图案化磁偏压层设于该图案化铁磁层上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种包含有电感器的半导体装置，特别是涉及一种磁偏压铁磁性螺旋电感器。
技术介绍
电感器是一种能以磁场型式来储存能量的装置。电感器也是一种被特别设计来提供受控电感值总量的电子元件。电感器通常包含有一长导线，而该长导线是被卷绕成螺旋形或环形外观，并可藉由置入一具有高磁导率的磁芯(core)于其中，来增加电感器的电感值。可被应用的合适材料例如铁、铁粉以及磁性材料。工业上所使用的电感器其电感值约界于从小于1微亨利(μH)到大约10亨利(H)的范围。小型电感器已经被使用在射频调谐电路(tuned circuits)以及射频扼流圈(chokes)方面。大型电感器则是已经被应用于具有最大电感器的声频频率方面，作为电源供应的滤波扼流圈使用。于调谐电路中使用线圈型电感器以使射频频率达到超高(ultrahigh)射频的频段。在超高射频与微波(microwave)的频段中，传输线路的短路线段(short links)可以作为电感器。对于任何导线，其长度短于1/4电波波长，其远端设为短路，可作为一电感器。相同的，导线的截面界于1/4到1/2电波波长之间，其远端设为开路的，亦是。一个理想的电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于至少包含：　　　　一半导体基材；　　　　一第一绝缘层设于该半导体基材上；　　　　一螺旋线圈电感器设于该第一绝缘层上；　　　　一第二绝缘层设于该螺旋线圈电感器上；　　　　一图案化铁磁层设于该第二绝缘层上；以及　　　　一图案化磁偏压层设于该图案化铁磁层上。

【技术特征摘要】
US 2006-2-13 11/353,2151.一种磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于至少包含一半导体基材；一第一绝缘层设于该半导体基材上；一螺旋线圈电感器设于该第一绝缘层上；一第二绝缘层设于该螺旋线圈电感器上；一图案化铁磁层设于该第二绝缘层上；以及一图案化磁偏压层设于该图案化铁磁层上。2.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的螺旋线圈电感器包含有铜及其合金的至少其中之一。3.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的图案化铁磁层包含有铁、钴、镍、钼以及其合金的至少其中之一。4.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的图案化磁偏压层包含有铁。5.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的螺旋线圈电感器包含有至少1.5圈绕线匝数。6.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的螺旋线圈电感器包含有复数圈绕线匝数，该图案化铁磁层是完全覆盖该螺旋线圈电感器的所有复数圈绕线匝数。7.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的图案化磁偏压层包含有复数独立元件，各独立元件是完全地设于该螺旋线圈电感器的一绕线的一部份线段上。8.根据权利要求1所述的磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于所述的螺旋线圈电感器包含有至少一外绕线部分，其是最远离该螺旋线圈电感器的磁蕊，该外绕线部分包含有一外边缘以及一内边缘，该外边缘是最远离该螺旋线圈电感器的磁蕊，该内边缘是最接近该螺旋线圈电感器的磁蕊；至少一内绕线部分，其是最接近该螺旋线圈电感器的磁蕊，该内绕线部分包含有一外边缘以及一内边缘，该外边缘是最远离该螺旋线圈电感器的磁蕊，该内边缘是最接近该螺旋线圈电感器的磁蕊；其中，该图案化磁偏压层包含有复数独立元件，各独立元件是覆盖于该螺旋线圈电感器的该外绕线的一部份与该内绕线的一部份的至少其中之一。9.一种磁偏压铁磁性螺旋电感器，其特征在于至少包含一半导体基材以及一第一绝缘层设于该半导体基材上；一螺旋线圈电感器设于该第一绝缘层上，以及一第二绝缘层设于该螺旋线圈电感器上；一第一图案化铁磁层设于该第二绝缘层上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：连万益，邓端理，林文钦，王昭雄，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]