衍射光学元件、投射模组及电子设备制造技术

技术编号:31025950 阅读:31 留言:0更新日期:2021-11-30 03:27
本发明专利技术公开了一种衍射光学元件、投射模组及电子设备,衍射光学元件包括基板和微透镜阵列,微透镜阵列包括多个微结构组,每个微结构组在垂直于基板的方向上的投影具有上侧边和下侧边,相邻的两个微结构组的上侧边对应波峰的最高点的距离为VP,微结构组满足:0.45≤VOA/VP≤0.66;0.33≤VOD/VP≤0.46;0.33≤VAE/VP≤0.45;其中,O为上侧边的波峰的最高点,D为上侧边波谷的最低点,A为下侧边的波峰的最高点,E为下侧边波谷的最低点,VOA为OA在第一方向上的长度,VOD为OD在第一方向的长度,VAE为AE在第一方向上的长度,上述的衍射光学元件,可以提升衍射光学元件的光学性能。可以提升衍射光学元件的光学性能。可以提升衍射光学元件的光学性能。

【技术实现步骤摘要】
衍射光学元件、投射模组及电子设备


[0001]本专利技术涉及光学
,尤其是涉及一种衍射光学元件、投射模组及电子设备。

技术介绍

[0002]飞行时间(Time of Flight,ToF)技术或结构光技术常用于深度检测或者三维检测中,利用投射模模组向被测物体投射光线,接收模组接收从被测物体反射的光线,从而获取被测物体的三维深度信息。衍射光学元件(Diffractive Optical Elements,DOE)是用于深度检测或三维检测光的发射模组中的核心器件,通常借助衍射光学元件对光源出射光线进行分束,以形成点阵光斑投射到待测物体上,因而衍射光学元件的光学性能对三维检测精度有着重要影响。然而,目前衍射光学元件的光学性能还有待提升,难以满足测量距离及测量精度的需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术在于提出一种衍射光学元件,所述衍射光学元件可以提升衍射光学元件的光学性能。
[0004]本专利技术还提出一种具有上述衍射光学元件的投射模组。
[0005本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种衍射光学元件,用于将单束光分束为多束光,其特征在于,所述衍射光学元件包括:基板;微透镜阵列,所述微透镜阵列设在所述基板上,所述微透镜阵列包括多个微结构组,多个所述微结构组沿第一方向间隔开设置,每个所述微结构组在垂直于所述基板的方向上的投影,沿第二方向呈波浪式延伸,所述第一方向与所述第二方向互相垂直;在所述第一方向上,所述投影具有上侧边和下侧边,相邻的两个微结构组的上侧边对应波峰的最高点在所述第一方向上的距离为VP,所述微结构组满足以下条件:0.45≤VOA/VP≤0.66;0.33≤VOD/VP≤0.46;0.33≤VAE/VP≤0.45;其中,O为上侧边的波峰的最高点,D为上侧边波谷的最低点,A为下侧边的波峰的最高点,E为下侧边波谷的最低点,VOA为OA在所述第一方向上的长度,VOD为OD在所述第一方向的长度,VAE为AE在所述第一方向上的长度。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,所述上侧边或者所述下侧边相邻的两个波谷最低点在所述第二方向上的距离为HP;所述微结构组还满足以下条件:0.11≤HOB/HP≤0.28;0.22≤HAC/HP≤0.35;其中,O点所在的波峰与D点所在的波谷相邻,A点所在的波峰与E点所在的波谷相邻;B点位于所述上侧边,且B点位于O、D两点之间,O、B两点在第一方向上的长度,为O、D两点在所述第一方向上长度的一半;C点位于所述下侧边,且C点位于A、E两点之间,A、C两点在所述第一方向上的长度,为A、E两点在所述第一方向上长度的一半,HOB为OB在所述第二方向上的长度,HAC为AC在所述第二方向上的长度。3.根据权利要求2所述的衍射光学元件,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯坤亮钟飞关赛新
申请(专利权)人:江西欧迈斯微电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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