【技术实现步骤摘要】
图案化方法、光刻装置和物品制造方法
[0001]本申请是基于申请号为201810998752.X、申请日为2018年8月30日、专利技术名称为“图案化方法、光刻装置和物品制造方法”的专利申请的分案申请。
[0002]本专利技术涉及图案化方法、光刻装置和物品制造方法。
技术介绍
[0003]在制造诸如液晶显示器的电子设备的光刻处理中，使用步进扫描型扫描投影曝光装置，其在相互同步地相对于投影光学系统相对扫描诸如掩模的原版(original)和诸如玻璃板的基板的同时执行曝光。
[0004]近年，特别是在液晶显示设备中，基板的尺寸增加。为了没有任何浪费地使用基板，在一个基板中制造不同尺寸的多个器件。另一方面，曝光区域的尺寸也增加，从而使得难以在一个原版中形成不同尺寸的多个图案。因此，通过关于一个基板使用多个原版来制造器件。但是，为了提高产量，通过使用多个曝光装置，不同的原版图案被转印到一个基板。
[0005]作为提高曝光装置的产量的技术，提出了制备与曝光装置无关的标记测量机、在通过曝光装置进行测量之前通过使用...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种通过使用光刻装置执行用于在基板上形成原版的图案的图案化的图案化方法，所述方法包括：检测布置在所述基板上的标记；获得指示另一光刻装置对所述标记的检测结果的标记位置信息；以及基于在所述检测中所述标记的检测结果和在所述获得中获得的所述另一光刻装置对所述标记的检测结果执行图案化。2.一种通过使用多个光刻装置执行用于在基板上形成第一原版的图案和第二原版的图案的图案化的图案化方法，所述多个光刻装置包括第一光刻装置和第二光刻装置，所述第二原版不同于所述第一原版，所述方法包括：在所述第一光刻装置中，检测布置在所述基板上的标记，以及输出指示所述标记的检测结果的信息以便在所述第二光刻装置中可用，并且在所述第二光刻装置中，检测所述标记，获得从所述第一光刻装置输出的指示所述标记的检测结果的信息；以及基于在所述检测中所述标记的检测结果和在所述获得中获得的所述第一光刻装置对所述标记的检测结果执行图案化。3.一种执行用于在基板上形成原版的图案的图案化的光刻装置，包括：检测器，所述检测器被配置为检测布置在所述基板上的标记；以及控制器，所述控制器被配置为基于所述检测器的检测结果控制图案化，其中，所述控制器被配置为：获得指示另一光刻装置对所述标记的检测结果的标记位置信息，以及基于所述检测器对所述标记的检测结果和所述另一光刻装置对所述标记的检测结果执行图案化。4.一种通过使用光刻装置执行用于在基板上形成原版的图案的图案化的图案化方法，所述方法包括：执行用于检测用于与原版对准的第一基板侧标记的第一处理，所述第一基板侧标记被提供在所述基板的多个压射区域之中的、要通过使用所述光刻装置执行图案化的至少一个压射区域中；执行用于检测用于与原版对准的第二基板侧标记的第二处理，所述第二基板侧标记被提供在所述多个压射区域之中的、要通过使用另一光刻装置执行图案化的至少一个压射区域中；执行用于输出关于所述第二基板侧标记的检测结果的信息以便在所述另一光刻装置中可用的第三处理；以及执行用于基于所述第一基板侧标记的检测结果将所述基板的压射区域与原版对准、以及执行图案化的第四处理。5.一种通过使用光刻装置执行用于在基板上形成原版的图案的图案化的图案化方法，所述方法包括：检测用于与原版对准的基板侧标记，所述基板侧标记被提供在所述基板的多个压射区
域之中的、要通过使用所述光刻装置执行图案化的至少一个压射区域中；获得指示另一光刻装置对所述基板侧标记的检测结果的标记位置信息；以及基于通过在所述检测中检测的所述基板侧标记的检测结果校正的所述标记位置信息，执行所述基板的压射区域与原版对准，并且执行图案化。6.一种通过使用多个光刻装置执行用于在基板上形成第一原版的图案和第二原版的图案的图案化的图案化方法，所述多个光刻装置包括第一光刻装置和第二光刻装置，所述第二原版不同于所述第一原版，所述方法包括：在所述第一光刻装置中，检测用于与所述第一原版对准的第一基板侧标记，所述第一基板侧标记被提供在所述基板的多个压射区域之中的、要在所述第一光刻装...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈泰智，栗田裕介，铃木徹，岩越守孝，川田大蔵，冈積弘典，唐木俊介，桥本隆行，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：
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