【技术实现步骤摘要】
一种UV减粘胶及其制备方法
[0001]本专利技术属于胶粘剂
,特别涉及一种UV减粘胶及其制备方法。
技术介绍
[0002]UV减粘胶是一种新型的胶黏剂材料,其具有超高的粘附力,可保证被粘贴的物体在加工处理过程中保持稳定、不脱落、不飞边,并对未加工部分起到保护作用。加工完毕后,通过紫外辐射可使其粘附力瞬间下降,可在不影响被加工物体性能的前提下,轻松从被粘材料上将其取下。
[0003]因此,UV减粘胶被广泛应用于半导体晶圆的切割、刻蚀等工序中,作为固定胶膜,可牢固贴合晶圆,在切割、蚀刻等工艺过程中起到有效的粘接传送和保护作用。加工完毕后,再通过紫外光照射,把晶圆切片从固定胶膜上完全剥离下来,不会对晶圆造成影响。
[0004]现有的减粘胶往往以丙烯酸酯为主体,复配以多官能度单体和光引发剂,在UV照射减粘后,容易使器件上附带残胶;此外,制备的UV减粘胶在UV照射前剥离强度较低而在UV照射后剥离强度较高,不能实现有效的固定和轻松地拾取。
技术实现思路
[0005]鉴于现有技术的上述缺陷,本专利技 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种UV减粘胶,其特征在于,具有如下结构式:其中,R为R
’
为2.根据权利要求1所述的UV减粘胶,其特征在于,包括如下组分:端羟基富马酰氯
‑
戊二醇共聚酯、异佛尔酮二异氰酸酯、扩链剂、光引发剂和催化剂。3.根据权利要求2所述的UV减粘胶,其特征在于,所述端羟基富马酰氯
‑
戊二醇共聚酯的羟值为50
‑
80mgKOH/g,分子量为1000
‑
2700。4.根据权利要求2所述的UV减粘胶,其特征在于,所述端羟基富马酰氯
‑
戊二醇共聚酯包括戊二醇和富马酰氯,所述戊二醇和富马酰氯的摩尔比为1.15~1.35:1。5.根据权利要求2所述的UV减粘胶,其特征在于,所述异佛尔酮二异氰酸酯中的异氰酸酯基团与所述端羟基富马酰氯
‑
戊二醇共聚酯和扩链剂中的羟基基团的摩尔比为1.1~1.5:1。6.根据权利要求2所述的UV减粘胶,其特征在于,所述催化剂为二月桂酸二丁基锡、辛酸亚锡、三亚乙基二胺、三乙醇胺中的一种或多种。7.根据权利要求2所述的UV减粘胶,其特征在于,所述光引发剂为1
‑
羟基环己基苯基甲酮、2
‑
羟基
【专利技术属性】
技术研发人员:徐卫兵,武星,周正发,任凤梅,马海红,
申请(专利权)人:合肥工业大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。