一种等离子式十口废气处理设备制造技术

本发明专利技术涉及等离子技术废气处理技术领域，且公开了一种等离子式十口废气处理设备，包括钣金机柜，钣金机柜采用碳方管加钣金焊接制作，所述钣金机柜的上端设置有至少两组废气进气口，废气进气口的内部活动安装有气动三通球阀，钣金机柜的顶部设置有十组进气孔。本发明专利技术中，设备废气进气口使用气动三通球阀，针对处理危害气体时机台出现故障设备可自动控制气动三通球阀将危害气体通入其他设备进行处理，也可以在设备需要维护时手动控制气动三通球阀将危害气体通入其他设备进行处理，保证维护人员安全，气动三通球阀下面是进气腔，进气腔有十个进气口。可根据厂商需求使用1

【技术实现步骤摘要】
一种等离子式十口废气处理设备


[0001]本专利技术涉及等离子技术废气处理
，尤其涉及一种等离子式十口废气处理设备。

技术介绍

[0002]随着半导体行业、光伏产业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也需要根据厂商内部条件进行配套设计。因此，本领域技术人员专利技术了一种应用半导体行业、光伏产业的等离子式十口废气处理设备。
[0003]一般应用于半导体行业废气处理设备有吸附式、燃烧式、电加热式等。本专利技术是等离子式，等离子式是由等离子火炬对制程废气提供能量。等离子火炬可提供远高于天然气燃烧和电加热的温度，可以处理需要高温才能处理的一系列气体。等离子火炬由阴极和阳极之间放电，工作气体流过放电区域在强大电流作用下发生电离，形成等离子体，等离子体在工作气体的推动下从喷火口喷射出形成超高温喷射流火焰。利用等离子火焰的超高温度为待处理废气和相关反应气体提供热能，将废气中的有机物或者卤化物转化为二氧化碳、水等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子式十口废气处理设备，包括钣金机柜(1)，其特征在于：所述钣金机柜(1)采用碳方管加钣金焊接制作，所述钣金机柜(1)的上端设置有至少两组废气进气口(4)，所述废气进气口(4)的内部活动安装有气动三通球阀(13)，钣金机柜(1)的顶部设置有十组进气孔(5)；所述钣金机柜(1)的内部上端设置有等离子火炬(15)，所述等离子火炬(15)的下端连接有ISO真空法兰(17)，所述ISO真空法兰(17)的下端连接有进气腔(16)，所述进气腔(16)的下端固定连接有缩口法兰(18)，所述缩口法兰(18)的下端固定连接有废气处理反应腔(19)，所述废气处理反应腔(19)的内部壁面上设置有可以自由更换的隔热陶瓷板(23)，所述废气处理反应腔(19)的下端设置有智能冷却循环水箱(20)。2.根据权利要求1所述的一种等离子式十口废气处理设备，其特征在于：所述钣金机柜(1)的左右两侧壁面均设置有两组可旋转打开的侧面板活动门(2)，下端两组所述侧面板活动门(2)的外表面底部均设置有连接钣金机柜(1)内外的长条倾斜散热孔(3)。3.根据权利要求1所述的一种等离子式十口废气处理设备，其特征在于：所述钣金机柜(1)的底部四角位置固定安装有四组对整个钣金机柜(1)进行支撑移动的移动平衡稳定支撑轮(11)。4.根据权利要求1所述的一种等离子式十口废气处理设备，其特征在于：所述废气进气口(4)的外侧套接有对废气进气口(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建明，
申请(专利权)人：苏州易科华环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：