一种金属复合柔性衬底及其制备方法技术

本发明专利技术涉及柔性衬底技术领域，提出一种金属复合柔性衬底及其制备方法。该衬底包括：聚合物结构；以及金属微结构，其与所述聚合物结构交错间隔布置；其中，所述聚合物结构和所述金属微结构的厚度相同，并且通过所述聚合物结构和所述金属微结构的宽度、宽度比例以及布置方向确定所述金属复合柔性衬底的热膨胀系数各向异性。该衬底的制备方法中包含了对金属与聚合物之间的界面进行修饰与改性设计，可以实现金属微结构与聚合物结构之间良好、稳定、可靠的界面结合。通过该衬底表现出的热膨胀各向异性并且可调控性，使得柔性电阻式应变传感器可以摆脱因环境温度变化造成衬底的额外形变的影响，从而确保电阻式应变传感器在特定方向上探测的精准度。上探测的精准度。上探测的精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种金属复合柔性衬底及其制备方法


[0001]本专利技术总的来说涉及柔性衬底
具体而言，本专利技术涉及一种金属复合柔性衬底及其制备方法。

技术介绍

[0002]通常而言，柔性电阻式应变传感器的基底需要采用各向同性的有机材料作为柔性衬底，在外力作用下柔性电阻式应变传感器的敏感结构产生机械变形以便进行探测。
[0003]但柔性衬底受到环境温度变化会发生热胀冷缩，因此柔性电阻式应变传感器受热影响较为明显，柔性衬底受温度影响发生形变时将传递给敏感结构造成额外形变，进而影响电阻式应变传感器在特定方向的探测准确性。
[0004]针对上述环境温度带来的柔性衬底各向同性热膨胀变化势影响柔性电阻式应变传感器在特定方向上的应变测量的问题，现有技术中通常使用电桥实现温度补偿。然而该方法存在需要较多传感器并且电路匹配设计复杂的问题。

技术实现思路

[0005][0006]为至少部分解决现有技术中的上述问题，本专利技术提出一种金属复合柔性衬底，包括：
[0007]聚合物结构；以及
[0008]金属微结构，其与所述聚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属复合柔性衬底，其特征在于，包括：聚合物结构；以及金属微结构，其与所述聚合物结构交错间隔布置；其中，所述聚合物结构和所述金属微结构的厚度相同，并且通过所述聚合物结构和所述金属微结构的宽度、所述聚合物结构与所述金属微结构之间的宽度比例以及所述聚合物结构和所述金属微结构的布置方向确定所述金属复合柔性衬底的热膨胀系数各向异性及可调控性。2.根据权利要求1所述的金属复合柔性衬底，其特征在于，所述金属微结构包括：微结构沟槽；金属种子层，其位于所述微结构沟槽底部；以及填充金属，其填充所述微结构沟槽。3.根据权利要求1所述的金属复合柔性衬底，其特征在于，所述聚合物结构的材料包括聚酰亚胺。4.根据权利要求1所述的金属复合柔性衬底，其特征在于，所述金属种子层包括铬金属层以及铜金属层；和\或所述填充金属的材料包括铜。5.根据权利要求1所述的金属复合柔性衬底，其特征在于，所述聚合物结构和所述金属微结构的厚度为5
‑
200μm。6.根据权利要求1所述的金属复合柔性衬底，其特征在于，所述聚合物结构的宽度为10
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3000μm；和\或所述金属微结构的宽度为10
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300μm；和\或所述聚合物结构与所述金属微结构之间的宽度比例为300...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨卓青，李梦秋，李亚辉，王艳，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：