基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法技术

本发明专利技术提供一种基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法，包括：解理氟金云母，得到氟金云母衬底，其中，氟金云母衬底包括F

【技术实现步骤摘要】
基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法


[0001]本专利技术涉及一种基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法。

技术介绍

[0002]由于人工智能、物联网和机器人等技术的出现，人类的生活方式正在发生改变，人们探索了各种材料，设计和制造了不同的电子元件，以满足物联网技术和机器人行业的发展需求。尤其是柔性功能材料在柔性可穿戴电子器件的制造和设计中起着至关重要的作用。人们对于柔性电子器件进行了大量的研究，包括柔性压电传感器、柔性磁传感器、柔性光电器件等。其中，金属磁性薄膜是磁存储、磁传感器和微波器件等的重要组成部分。铁磁性金属薄膜广泛应用于磁记录介质、传感器等领域。铁磁和反铁磁之间的界面交换耦合是自旋阀工作的关键因素，这种耦合与层界面的结构和形态特性密切相关。此外，铁磁性金属薄膜的结构基本上是多晶的，因此，无论是基础研究还是技术应用，制备高质量单晶低维铁磁性金属薄膜都是十分重要的。
[0003]对于制备铁磁性金属薄膜而言，高质量外延制备的主要限制来自于薄膜与衬底之间的晶格匹配关系。在目前相关技术中，外延制备铁磁性金属薄膜多生长本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法，其特征在于，包括：解理氟金云母，得到氟金云母衬底，其中，所述氟金云母衬底包括F
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Mica(001)，所述氟金云母衬底的新鲜解理面用于外延生长；将所述氟金云母衬底置于磁控溅射仪的沉积室内；采用射频磁控溅射方式将金属元素沉积到所述新鲜解理面上，其中，射频磁控溅射时所述沉积室内温度为600～700℃。2.根据权利要求1所述的基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法，其特征在于，所述解理氟金云母采用机械剥离的方法，以保证所述外延生长的顺利进行。3.根据权利要求1所述的基于范德瓦尔斯外延制备柔性铁磁性金属薄膜的方法，其特征在于，所述采用射频磁控溅射方式将金属元素沉积到所述新鲜解理面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：江奕天，尹志岗，张兴旺，吴金良，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：