一种X射线靶制造技术

本发明专利技术公开了一种X射线靶。所述X射线靶包括：X射线毛细管和靶材件；靶材件设置在X射线毛细管的入口端；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。本发明专利技术在大束斑电子束的轰击下，可以直接获得微焦斑X射线，结构简单。结构简单。结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线靶


[0001]本专利技术涉及X射线领域，特别是涉及一种X射线靶。

技术介绍

[0002]X射线自1895年被发现以来，就因其独特的性质而被广泛应用，如特征X射线的衍射、X射线成像、X射线荧光等，其中微束X射线是提高分析精度、成像分辨率的关键因素，而微束单色X射线在X射线衍射方面必不可少。
[0003]目前，获得微束X射线的方法主要分为两种，一是尽量缩小入射电子束的束斑，从而获得小束斑的出射X射线，该方法涉及到复杂的电子光学系统，包括出射小束斑电子束的电子枪，聚焦电子束的磁透镜等，为获得小束斑电子束，通常还需要双聚光镜等；二是利用X射线光学元件，将大束斑的发散X射线聚焦为微焦斑X射线，X射线毛细管就是一类重要的X射线聚焦元件，该方法中X射线源与X射线光学元件是分开的，由X射线源产生X射线，X射线在光学元件的作用下聚焦成微焦斑X射线，其间涉及复杂的精密机械结构和对中等操作。因此，目前获得微束X射线的方法的光路结构都比较复杂。

技术实现思路

[0004]基于此，本专利技术实施例提供一种X射线靶，以简化获取微束X射线的光路结构。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0006]一种X射线靶，包括：
[0007]X射线毛细管和靶材件；
[0008]所述靶材件设置在所述X射线毛细管的入口端；
[0009]电子束照射在所述靶材件上产生X射线，所述X射线透过所述靶材件并在所述X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过所述X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。
[0010]可选的，所述靶材件嵌入到所述X射线毛细管的入口端。
[0011]可选的，所述靶材件通过固定件固定在所述X射线毛细管的入口端。
[0012]可选的，所述X射线毛细管为X射线多毛细管；所述X射线多毛细管的出口端出射多束微焦斑X射线。
[0013]可选的，所述X射线毛细管为X射线单毛细管；所述X射线单毛细管的出口端设置束流阻挡器；所述束流阻挡器的尺寸小于所述X射线单毛细管的出口端的尺寸。
[0014]可选的，所述X射线毛细管为X射线单毛细管；所述靶材件的中间部分的厚度大于周边部分的厚度；电子束照射在所述靶材件上产生的X射线仅在所述靶材件的周边部分透过。
[0015]可选的，所述靶材件的厚度为0.5H
‑
0.6H；其中，H为穿透深度，U为入射电子束的加速电压，ρ为靶材件的密度。
[0016]可选的，所述靶材件的中间部分的厚度大于3H；所述靶材件的周边部分的厚度为0.5H
‑
0.6H；其中，H为穿透深度，U为入射电子束的加速电压，ρ为靶材件的密度。
[0017]可选的，所述X射线毛细管为内壁镀高密度薄膜层的玻璃毛细管或内壁镀特定多层膜结构的玻璃毛细管。
[0018]可选的，所述靶材件的材料为金属材料。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0020]本专利技术实施例提出了一种X射线靶，该X射线靶包括：X射线毛细管和直接设置在X射线毛细管的入口端的靶材件；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线，本专利技术的X射线源(靶材件)与X射线光学元件(X射线毛细管)是整体结构，二者之间无需其他的复杂的结构，该X射线靶可在大束斑电子束的轰击下，直接获得微焦斑X射线，结构简单。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术实施例提供的靶材嵌入式多毛细管型X射线靶的结构示意图；
[0023]图2为本专利技术实施例提供的靶材粘贴式多毛细管型X射线靶的结构示意图；
[0024]图3为本专利技术实施例提供的第一种靶材嵌入式单毛细管型X射线靶的结构示意图；
[0025]图4为本专利技术实施例提供的第二种靶材嵌入式单毛细管型X射线靶的结构示意图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]目前获得微束X射线的方法的光路结构都比较复杂，在不改变大束斑电子束的情况下，尚无直接获得微焦斑X射线的设计。本专利技术的目的是实现在大束斑电子束的轰击下，直接获得微焦斑X射线，以简化结构。
[0028]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0029]本实施例提供的一种X射线靶，包括：X射线毛细管和靶材件；靶材件设置在X射线毛细管的入口端；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。
[0030]在实际应用中，根据所获得微焦斑X射线束的数量选择X射线毛细管的种类，单束
微焦斑X射线选择X射线单毛细管，多束微焦斑X射线选择X射线多毛细管。根据单束或多束微焦斑X射线的能量范围要求，设计毛细管的结构参数，宽能谱微焦斑X射线可选择玻璃毛细管或内壁镀高密度薄膜层的玻璃毛细管，单色微焦斑X射线可选择内壁镀特定多层膜结构的玻璃毛细管。
[0031]在一个示例中，如图1所示，为了产生多束微焦斑X射线，X射线毛细管采用X射线多毛细管1，X射线多毛细管1由许多根单毛细管组成，从内到外多毛细管通常呈六边形排列，每根毛细管的内径一般为几到几十微米；X射线多毛细管1的出口端出射多束微焦斑X射线a。靶材件2嵌入到X射线多毛细管1的入口端，形成靶材嵌入式多毛细管型X射线靶，其中3为电子束。
[0032]在一个示例中，如图2所示，为了产生多束微焦斑X射线，X射线毛细管采用X射线多毛细管1；X射线多毛细管1的出口端出射多束微焦斑X射线。靶材件2通过固定件4(支撑结构)固定在X射线多毛细管1的入口端。例如，将靶材件2通过固定件4粘贴在X射线多毛细管1的入口端面上，形成靶材粘贴式多毛细管型X射线靶，其中，固定件4可为金刚石或铝等。
[0033]在一个示例中，为了产生单束微焦斑X射线，X射线毛细管采用X射线单毛细管，单毛细管为单根特定孔径的毛细管，内径一般为几百微米，根据内径变化规律，可分为锥形、抛物形、椭球镜形等毛细管；靶材件2可以嵌入到X射线单毛细管的入口端，也可以通过固定件4(支撑结构)固定在X射线单毛细管的入口端。
[0034]如图3所示，以靶材嵌入式单毛细管型X射线靶(靶材件2嵌入到X射线单毛细管5的入口端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线靶，其特征在于，包括：X射线毛细管和靶材件；所述靶材件设置在所述X射线毛细管的入口端；电子束照射在所述靶材件上产生X射线，所述X射线透过所述靶材件并在所述X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过所述X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。2.根据权利要求1所述的一种X射线靶，其特征在于，所述靶材件嵌入到所述X射线毛细管的入口端。3.根据权利要求1所述的一种X射线靶，其特征在于，所述靶材件通过固定件固定在所述X射线毛细管的入口端。4.根据权利要求1所述的一种X射线靶，其特征在于，所述X射线毛细管为X射线多毛细管；所述X射线多毛细管的出口端出射多束微焦斑X射线。5.根据权利要求1所述的一种X射线靶，其特征在于，所述X射线毛细管为X射线单毛细管；所述X射线单毛细管的出口端设置束流阻挡器；所述束流阻挡器的尺寸小于所述X射线单毛细管的出口端的尺寸。6.根据权利要求1所述的一种X射线靶，其特征在于，所述X...

【专利技术属性】
技术研发人员：李艳丽，牛耕，孔祥东，张新月，韩立，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：