石英舟传输定位机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英舟传输定位机构，包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。本实用新型专利技术取代了传统的滚轮定位，提高了定位精度和效率。提高了定位精度和效率。提高了定位精度和效率。

【技术实现步骤摘要】
石英舟传输定位机构


[0001]本技术涉及石英舟传输定位
，尤其是指一种石英舟传输定位机构。

技术介绍

[0002]自动化插片机是机械领域使用比较广泛的一种机械设备，解决了硅片在清洗前手工装清洗篮的问题，完全实现了自动分料，自动上料，自动入篮，自动换篮，料满报警等动作。使用该设备后，可以实现硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，无需手工在逐片操作。
[0003]在自动化插片机中，石英舟的定位是否足够精准对于产能、碎片率等的影响是非常关键的，传统的滚轮定位，定位精度和效率不足以目前的需求。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中传统滚轮定位精度和效率不高的技术问题，从而提供一种定位精度较高的石英舟传输定位机构。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种石英舟传输定位机构，包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟传输定位机构，其特征在于：包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。2.根据权利要求1所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述定位机构还包括用于测定石英舟有无的第二检测装置、用于测定石英舟正反的第三检测装置。3.根据权利要求1所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述复位机构包括动力机构和衔接件，所述动力机构设置在所述底座上，所述衔接件设置在所述滑动组上，所述衔接件通过所述动力机构带动所述滑动组靠近所述底座的第一端。4.根据权利要求3所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述动力机构包括复位杆和动力源，所述复位杆通过所述动力源带动所述衔接件靠近所述底座的第一端。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，许立春，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：