石英舟传输定位机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英舟传输定位机构，包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。本实用新型专利技术取代了传统的滚轮定位，提高了定位精度和效率。提高了定位精度和效率。提高了定位精度和效率。

【技术实现步骤摘要】
石英舟传输定位机构


[0001]本技术涉及石英舟传输定位
，尤其是指一种石英舟传输定位机构。

技术介绍

[0002]自动化插片机是机械领域使用比较广泛的一种机械设备，解决了硅片在清洗前手工装清洗篮的问题，完全实现了自动分料，自动上料，自动入篮，自动换篮，料满报警等动作。使用该设备后，可以实现硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，无需手工在逐片操作。
[0003]在自动化插片机中，石英舟的定位是否足够精准对于产能、碎片率等的影响是非常关键的，传统的滚轮定位，定位精度和效率不足以目前的需求。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中传统滚轮定位精度和效率不高的技术问题，从而提供一种定位精度较高的石英舟传输定位机构。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种石英舟传输定位机构，包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。
[0006]在本技术的一个实施例中，所述定位机构还包括用于测定石英舟有无的第二检测装置、用于测定石英舟正反的第三检测装置。
[0007]在本技术的一个实施例中，所述复位机构包括动力机构和衔接件，所述动力机构设置在所述底座上，所述衔接件设置在所述滑动组上，所述衔接件通过所述动力机构带动所述滑动组靠近所述底座的第一端。
[0008]在本技术的一个实施例中，所述动力机构包括复位杆和动力源，所述复位杆通过所述动力源带动所述衔接件靠近所述底座的第一端。
[0009]在本技术的一个实施例中，所述复位杆远离所述动力源的一端设有凸起部，所述衔接件设有容纳所述凸起部的槽，所述复位杆通过所述凸起部与所述槽的配合带动所述衔接件朝向所述底座的第一端移动，所述衔接件上还设有复位限制件。
[0010]在本技术的一个实施例中，所述衔接件相对所述滑动组的位置可调。
[0011]在本技术的一个实施例中，所述滑动组包括滑动件、滑动轨道和限位部，所述滑动轨道位于所述底座上，所述滑动件位于所述滑动轨道上且能够相对所述滑动轨道移动，所述限位部设置在所述滑动轨道的末端，其用于限制所述滑动件的过移位。
[0012]在本技术的一个实施例中，所述石英舟放置件的放置表面设有限制石英舟脱
落的阻断件。
[0013]在本技术的一个实施例中，所述第二定位组设有石英舟缓冲件。
[0014]在本技术的一个实施例中，所述底座的底面设有加强筋，所述加强筋沿所述底座的第一端至第二端设置。
[0015]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0016]本技术公开的石英舟传输定位机构，通过推动机构、复位机构等多重限制，配合第一检测装置，实现对石英舟的精准定位，取代了传统的滚轮定位，提高了定位精度和效率。
附图说明
[0017]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中
[0018]图1是本技术实施例一的结构示意图。
[0019]图2是本技术实施例一的局部放大图。
[0020]图3是本技术实施例二的结构示意图
[0021]图4是本技术实施例三的结构示意图。
[0022]说明书附图标记说明：1、底座；2、定位机构；21、第一定位组；22、第二定位组；3、滑动组；31、滑动件；32、滑动轨道；33、限位部；4、石英舟放置件；5、阻断件；6、推动机构；7、第一复位机构；71、第一动力机构；711、回收杆；712、第一动力源；72、第一衔接件；721、限位槽；722、复位限制件；8、石英舟缓冲件；9、第一检测装置；10、第二检测装置；11、第三检测装置；12、加强筋；13、第二复位机构；131、第二动力机构；1311、推动杆；1312、第二动力源；132、第二衔接件。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0024]实施例一
[0025]参照图1所示，本技术的石英舟传输定位机构，包括底座1和设置在所述底座上的定位机构2，所述底座1呈长方体结构，所述底座1中部设置供与本技术适配的顶升机构顶升的开口。
[0026]所述定位机构2包括第一定位组21和第二定位组22，所述第一、二定位组分别位于所述底座1的第一端和第二端，本实施例中，优选地，第一、二端为所述底座1的两个短侧端。
[0027]所述第一、二定位组均包括滑动组3和设置在所述滑动组3上的石英舟放置件4，所述滑动组3包括滑动件31、滑动轨道32和限位部33，所述滑动轨道32位于所述底座1上，所述滑动件31位于所述滑动轨道32上且能够相对所述滑动轨道32移动，所述第一定位组21中的所述限位部33与所述滑动轨道32一侧连接且远离所述底座1的第一端，所述第二定位组22中的所述限位部33与所述滑动轨道32一侧连接且靠近所述底座1的第一端，即所述第一、二定位组中的限位部33相向设置。
[0028]本实施例中，所述限位部33包括限位底座和螺杆，所述第一、二定位组中所述螺杆
的螺纹端分别背离或朝向所述底座1的第一端设置，另一端设有限位帽以限制所述滑动件31远离或靠近所述底座1第一端的最大距离。
[0029]所述石英舟放置件4位于所述滑动件31上，且纵向两侧均设有一个(本实施例中，以所述底座1的第一端至第二端为横向，同一水平面中与之垂直的方向为纵向)，每个所述石英舟放置件4的放置表面与石英舟存在角度适配，且每个所述石英舟放置件4的放置表面设有限制石英舟脱落的阻断件5，本实施例中，所述阻断件5分别设置在每个所述石英舟放置件4的横向两侧以保证石英舟脚端不会脱离所述石英舟放置件4。
[0030]所述底座1上设有推动机构6，本实施例中，所述推动机构6位于所述底座1的第一端，所述推动机构6用于推动所述石英舟远离所述底座1的第一端。本实施例中，所述推动机构1可采用气缸，气缸可采用对应的支撑座支撑至石英舟对应高度。需要说明的是，气缸的推杆处可增设弹簧，以起到对石英舟的缓冲保护作用。
[0031]本实施例中，所述第一定位组21还包括第一复位机构7，所述第一复位机构7包括第一动力机构71和第一衔接件72，所述第一动力机构71包括回收杆711和第一动力源712，所述第一动力源712设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟传输定位机构，其特征在于：包括底座和设置在所述底座上的定位机构，所述定位机构包括第一定位组和第二定位组且分别位于所述底座的第一端和第二端，所述第一、二定位组均包括滑动组，两定位组的所述滑动组对应设置，两定位组的所述滑动组通过设置在所述底座上的推动机构远离所述底座的第一端；所述第一定位组和/或所述第二定位组还包括复位机构，所述滑动组通过所述复位机构靠近所述底座的第一端；所述定位机构还包括用于测定石英舟是否到位的第一检测装置，所述第一检测装置的检测结果与所述复位机构关联。2.根据权利要求1所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述定位机构还包括用于测定石英舟有无的第二检测装置、用于测定石英舟正反的第三检测装置。3.根据权利要求1所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述复位机构包括动力机构和衔接件，所述动力机构设置在所述底座上，所述衔接件设置在所述滑动组上，所述衔接件通过所述动力机构带动所述滑动组靠近所述底座的第一端。4.根据权利要求3所述的一种石英舟传输定位机构，其特征在于：所述动力机构包括复位杆和动力源，所述复位杆通过所述动力源带动所述衔接件靠近所述底座的第一端。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，许立春，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：