一种能够搭载微纳尺度样品的样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够搭载微纳尺度样品的样品台，包括基座、封盖和金属丝，基座呈立方体状，立方体的六个面上分别设置有螺纹孔，封盖通过螺丝与基座的上表面固连，金属丝的中部和底部位于封盖和基座之间，封盖和基座将金属丝的中部和底部夹紧，金属丝的顶端为平面，通过显微沉积焊接工艺将微纳尺度样品固定在金属丝的顶端的平面上。本实用新型专利技术的能够搭载微纳尺度样品的样品台能够方便地对微纳尺度样品进行制备、转移和测试。转移和测试。转移和测试。

【技术实现步骤摘要】
一种能够搭载微纳尺度样品的样品台


[0001]本技术涉及微纳米力学及微机电
，特别是涉及一种能够搭载微纳尺度样品的样品台。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器设备，具有景深大、分辨率高，成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。二次电子成象原理是各类扫描电镜中应用最广泛，分辨能力最强的一种。由电子枪发射的电子束经会聚透镜、物镜缩小和聚焦，在样品表面形成电子束，因样品表面结构的不同而激发出二次电子。二次电子收集极可将各个方向发射的二次电子汇集起来，被闪烁体处理成光信号，经过光电倍增管，使光信号再转变成电信号，并通过视频放大器输送至显像管的栅极，在荧屏上呈现出样品表面形貌的二次电子扫描图像。
[0003]聚焦离子束系统是利用电透镜将离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面，产生二次电子信号取得电子像，用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工，或是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：包括基座、封盖和金属丝，所述基座呈立方体状，所述立方体的六个面上分别设置有螺纹孔，所述封盖通过螺丝与所述基座的上表面固连，所述金属丝的中部和底部位于所述封盖和所述基座之间，所述封盖和所述基座将所述金属丝的中部和底部夹紧，所述金属丝的顶端为平面，通过显微沉积焊接工艺将微纳尺度样品固定在所述金属丝的顶端的平面上。2.根据权利要求1所述的能够搭载微纳尺度样品的样品台，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫亚宾，轩福贞，王晓媛，高阳，李晟，李振凯，
申请(专利权)人：华东理工大学，
类型：新型
国别省市：