直流脉冲电源装置以及直流脉冲电源装置的频率控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术的直流脉冲电源装置具备电压钳位部，该电压钳位部包含与直流电抗器并联连接的电容器，以抑制由于脉冲部所具备的斩波电路的直流电抗器的漏电感而产生的浪涌电压的上升。在作为脉冲模式的初始阶段的脉冲动作的起动时，在直到电容器电压被充电至足以将直流电抗器的磁饱和复位的电压为止的期间，控制斩波电路的脉冲动作的频率。路的脉冲动作的频率。路的脉冲动作的频率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】直流脉冲电源装置以及直流脉冲电源装置的频率控制方法


[0001]本专利技术涉及具有抑制磁饱和的控制电路的直流脉冲电源装置、以及对直流脉冲电源装置所具备的直流电抗器的磁饱和进行抑制的控制方法。

技术介绍

[0002]在直流脉冲电源装置中，作为产生脉冲输出的脉冲产生电路，已知具备直流电抗器与开关元件的串联电路的电路结构。脉冲产生电路通过重复进行开关元件的接通/断开动作来使直流电压断续，从而产生脉冲波形的脉冲输出。
[0003]直流脉冲电源装置输出的脉冲输出是以数Hz(赫兹)～数百kHz(千赫兹)重复进行直流电压的接通状态和断开状态的高频输出。
[0004]直流脉冲电源装置被用作向等离子体产生装置、脉冲激光激励、放电加工机等负载供给脉冲输出的电源装置。例如，在将直流脉冲电源装置用于等离子体产生装置的情况下，向等离子体产生腔室内的电极间供给脉冲输出，通过电极间的放电使等离子体点火，维持所产生的等离子体。
[0005]图12是直流脉冲电源装置的一个结构例，图示的结构例具有使用了斩波电路的脉冲产生电路。作为生成脉冲波形的电路，已知升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种直流脉冲电源装置，其特征在于，具备：直流电源；脉冲部，其与所述直流电源连接，通过具备直流电抗器与开关元件的串联电路的升压斩波电路产生脉冲输出；电压钳位部，其包含与所述脉冲部的直流电抗器并联连接的电容器，通过该电容器的电容器电压将直流电抗器的两端电压钳位为钳位电压；以及控制电路部，其控制所述脉冲部的开关元件的开关动作，所述控制电路部具备脉冲模式控制部，该脉冲模式控制部对生成脉冲输出的脉冲模式的脉冲动作进行控制，所述脉冲模式控制部具备使频率可变的频率控制部，所述频率控制部在所述脉冲动作的初始阶段的多个周期，通过使各周期的时间宽度逐渐增加或逐渐减少，以可改变脉冲动作的频率的可变频率进行脉冲动作，对直流电抗器的磁饱和进行复位。2.根据权利要求1所述的直流脉冲电源装置，其特征在于，在所述脉冲动作的初始阶段的多个周期的各周期，所述频率控制部的所述可变频率的脉冲动作是如下脉冲动作：将闭合开关元件而使直流电抗器为通电状态的接通期间的时间宽度固定，使打开开关元件而将直流电抗器钳位为电容器电压的断开期间的时间宽度逐渐减少。3.根据权利要求1至2中的任意一项所述的直流脉冲电源装置，其特征在于，所述频率控制部在所述脉冲动作的初始阶段后的稳定阶段，以所述周期的时间宽度被固定的稳定频率进行脉冲动作，基于所述电容器的电容器电压或电容器电压的电压变化，从所述可变频率向稳定频率切换。4.根据权利要求3所述的直流脉冲电源装置，其特征在于，所述脉冲模式控制部具备电压判定部，该电压判定部基于所述电容器电压的电压或电压变化来判定电容器的充电状态，所述频率控制部基于所述电压判定部根据电容器电压的电压或电压变化而判定出的结果，从所述可变频率向所述稳定频率切换。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的直流脉冲电源装置，其特征在于，所述直流脉冲电源装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：让原逸男，安达俊幸，米山知宏，宫嵜洸一，
申请(专利权)人：株式会社京三制作所，
类型：发明
国别省市：