【技术实现步骤摘要】
一种平整度测量装置
[0001]本技术涉及测量仪器领域，尤其涉及一种平整度测量装置。
技术介绍
[0002]三次元测量装置主要是指通过三维取点来进行测量的一种仪器，其用于测量被测物体的几何尺寸，形状和位置，被广泛地应用于精密机械零件、电子元器件、塑料与橡胶成品、及半导体元器件的测量等领域。目前的三次元设备普遍采用的是单探针多点测量的测量方式，存在取点慢，测试效率低的问题。
[0003]在很多行业，例如在LED显示屏行业，需要测量产品表面的平整度，以满足产品设计要求。但是，采用现有的三次元测量装置对产品进行测量，无法快速地实现产品的平整度测量，无法快速定位产品表面凹凸不平整的位置，测量效率低，成本高。
技术实现思路
[0004]本技术实施例的目的在于：提供一种平整度测量装置，其测量效率高，成本低，且使用更加灵活。
[0005]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种平整度测量装置，包括：
[0007]测量机构，其包括安装台、感应器以及若干探针；所述安装台设有若干安装孔，所述探针可拆式地安装于所述安装孔,所述探针的两端分别为用于接触所述感应器的顶部探头以及用于接触待测物体的底部探头，所述底部探头伸出所述安装孔；所述感应器设于所述安装台的上方，所述探针具有向所述感应器移动的自由度；
[0008]驱动机构，其用于驱动所述测量机构向下移动，以带动所述底部探头接触待测物体。
[0009]作为优选，所述驱动机构用于驱动所述测量机构按照设定速度移动。>[0010]作为优选，还包括处理模块，所述处理模块与所述感应器通信连接；
[0011]所述感应器用于在与所述顶部探头接触时，测量所述探针的平面位置信息以及与所述探针接触的时间信息；所述处理模块用于获取并处理所述平面位置信息以及所述时间信息，以得到待测物体的表面平整度信息和/或表面轮廓信息。
[0012]作为优选，所述安装孔的数量大于所述探针的数量。
[0013]作为优选，若干所述安装孔呈阵列式排布。
[0014]作为优选，所述安装孔为导向通孔；所述安装孔的内部设有第一限位面，所述探针设有第二限位面；所述探针安装于所述安装孔时，所述第二限位面与所述第一限位面抵接，所述第一限位面用于限制所述探针向下移动的自由度。
[0015]作为优选，所述安装孔内设有沿径向相对孔壁向内凸出的第一支撑台，所述第一支撑台的顶面为第一限位面；
[0016]所述探针还包括本体，以及沿径向相对所述本体向外凸出的第二支撑台，所述第
二支撑台的底面为所述第二限位面；所述顶部探头和所述底部探头分别设于所述本体相对的两端。
[0017]作为优选，所述探针包括本体，所述底部探头固定于所述本体的一端；所述顶部探头与所述本体之间通过弹性件连接，或，所述顶部探头固定于所述本体的另一端且所述顶部探头为弹性探头。
[0018]作为优选，所述感应器为触控感应板，所述触控感应板接近所述安装台的一侧设有感应膜，所述感应膜用于与所述顶部探头接触。
[0019]作为优选，在竖直方向上，所述安装孔的投影位于所述感应器内。
[0020]本技术的有益效果为：该平整度测量装置，单次移动安装台时，即可实现多个探针与待测物体表面的接触，可一次实现多点测量，从而可快速得到待测物体表面的平整度信息和/或轮廓信息，提高了测量效率，降低了测量成本；并且，可根据不同待测物体的表面检测点调整探针的安装位置以及探针数量，应用更加灵活，适用范围广；同时，该平整度测量装置结构简单、便于操作。
附图说明
[0021]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0022]图1为本技术实施例所述平整度测量装置的结构示意图；
[0023]图2为图1中的A部放大图；
[0024]图3为本技术实施例所述平整度测量装置的探针的结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例所述平整度测量装置的应用示意图；
[0026]图5为图4中的B部放大图；
[0027]图6为本技术实施例所述平整度测量装置的测量方法流程图；
[0028]图中：10、安装台；11、安装孔；111、第一限位面；20、感应器；21、感应膜；30、探针；31、本体；32、顶部探头；33、底部探头；34、第二支撑台；341、第二限位面；35、弹性件；90、待测物体。
具体实施方式
[0029]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通
过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]本技术提出一种平整度测量装置，提高了测量速度，测量效率高，测量成本降低，从而提高了产品生产效率，降低了产品生产成本。
[0033]如图1
‑
6所示，在本技术的平整度测量装置的一实施例中，该平整度测量装置包括：
[0034]测量机构，其包括安装台10、感应器20以及若干探针30；安装台10设有若干安装孔11，探针30可拆式地安装于安装孔11；探针30的两端分别设有顶部探头32和底部探头33，顶部探头32用于接触感应器20，底部探头33用于接触待测物体90，顶部探头32和底部探头33分别伸出安装孔11；感应器20设于安装台10的上方，探针30具有向感应器20移动的自由度；
[0035]驱动机构，其用于驱动测量机构向位于所述测量机构下方的待测物体90移动，以带动底部探头33向接近待测物体90的方向移动；通过驱动机构带动底部探头33接触待测物体90，以使探针30在待测物体90的反作用力的作用下向上移动，从而顶部探头32接触感应器20。
[0036]优选地，驱动机构为直线驱动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平整度测量装置，其特征在于，包括：测量机构，其包括安装台(10)、感应器(20)以及若干探针(30)；所述安装台(10)设有若干安装孔(11)，所述探针(30)可拆式地安装于所述安装孔(11),所述探针(30)的两端分别为用于接触所述感应器(20)的顶部探头(32)以及用于接触待测物体(90)的底部探头(33)，所述底部探头(33)伸出所述安装孔(11)；所述感应器(20)设于所述安装台(10)的上方，所述探针(30)具有向所述感应器(20)移动的自由度；驱动机构，其用于驱动所述测量机构向下移动，以带动所述底部探头(33)接触待测物体(90)。2.根据权利要求1所述的平整度测量装置，其特征在于，所述驱动机构用于驱动所述测量机构按照设定速度移动。3.根据权利要求2所述的平整度测量装置，其特征在于，还包括处理模块，所述处理模块与所述感应器(20)通信连接；所述感应器(20)用于在与所述顶部探头(32)接触时，测量所述探针(30)的平面位置信息以及与所述探针(30)接触的时间信息；所述处理模块用于获取并处理所述平面位置信息以及所述时间信息，以得到待测物体(90)的表面平整度信息和/或表面轮廓信息。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的平整度测量装置，其特征在于，所述安装孔(11)的数量大于所述探针(30)的数量。5.根据权利要求4所述的平整度测量装置，其特征在于，若干所述安装孔(11)呈阵列式排布。6.根据权利要求1
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3任一项所述的平整度测量装置，其特征在于，所述安装孔(11)为导向通孔；所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴瑞彬，裴国祥，
申请(专利权)人：广州视源电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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