一种平板载具阴极移动装置制造方法及图纸

技术编号:30937827 阅读:17 留言:0更新日期:2021-11-23 00:52
本实用新型专利技术涉及一种平板载具阴极移动装置,它包括:Z轴移动机构,Z轴移动机构包括滑轨Ⅰ和滑移设置在滑轨Ⅰ上的载台;X轴移动机构,X轴移动机构设置在载台上,X轴移动机构包括滑轨Ⅱ和滑移设置在滑轨Ⅱ上的载具支撑座;载具通电机构,载具通电机构设置在载具支撑座上;Z轴移动机构、X轴移动机构以及载具通电机构设置有两套,两套之间相距设定距离;载具,载具两端分别可分离地结合在两个载具支撑座上,载具用于承载基板。由于通过Z轴移动机构和X轴移动机构可实现载具在Z轴和X轴方向上的移动。并通过载具吊取平板,通过载具通电机构给平板通电。从而提供了一种结构简单,自动化程度高的平板载具阴极移动装置。平板载具阴极移动装置。平板载具阴极移动装置。

【技术实现步骤摘要】
一种平板载具阴极移动装置


[0001]本技术涉及一种平板载具阴极移动装置。给移动机构上的载具通大电流,使载具形成阴极,与阳极钛网形成电场,从而实现对载具的基板进行电镀。

技术介绍

[0002]目前,公知的平板基板G6及以上大尺寸的基板的垂直电镀因其基板尺寸大,工艺复杂,业内一直没有很好的解决方案,而作为玻璃载体的载具的移动同样不易实现。

技术实现思路

[0003]本技术目的是要提供一种平板载具阴极移动装置,解决了如何移动基板和给平板供电的问题。
[0004]为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:
[0005]本技术提供了一种平板载具阴极移动装置,它包括:
[0006]Z轴移动机构,所述Z轴移动机构包括滑轨Ⅰ和滑移设置在所述滑轨Ⅰ上的载台;
[0007]X轴移动机构,所述X轴移动机构设置在所述载台上,所述X轴移动机构包括滑轨Ⅱ和滑移设置在所述滑轨Ⅱ上的载具支撑座;
[0008]载具通电机构,所述载具通电机构设置在所述载具支撑座上;
[0009]所述Z轴移动机构、所述X轴移动机构以及所述载具通电机构设置有两套,两套之间相距设定距离;
[0010]载具,所述载具两端分别可分离地结合在两个所述载具支撑座上,所述载具用于承载基板(吊取平板)。
[0011]优选地,所述Z轴移动机构与所述X轴移动机构可协同地作用。
[0012]优选地,所述载具通电机构与所述载具电连接。
[0013]进一步地,所述载具内还设置有电气元器件,所述载具通电机构还包括用于给所述电气元器件无线充电的充电模块。
[0014]由于上述技术方案运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:
[0015]本技术的平板载具阴极移动装置,通过Z轴移动机构和X轴移动机构可实现载具在Z轴和X轴方向上的移动。并通过载具承载基板(吊取平板),还可以通过载具通电机构给平板通电。从而提供了一种结构简单,自动化程度高的平板载具阴极移动装置。
附图说明
[0016]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
[0017]图1是本技术优选实施例的平板载具阴极移动装置的正视图;
[0018]图2是图1俯视图;
[0019]图3是图1右侧视图;
[0020]其中,附图标记说明如下:
[0021]1、Z轴移动机构;11、滑轨Ⅰ;12、载台;
[0022]2、X轴移动机构;21、滑轨Ⅱ;22、载具支撑座;
[0023]3、载具通电机构;
[0024]4、载具;
[0025]5、槽体。
具体实施方式
[0026]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]此外,下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0029]如图1所示平板载具阴极移动装置,包括一个槽体5,将平板(玻璃基板)竖直插入槽体5内,并给平板接通电源负极,使得平板形成阴极,与槽体5内钛网的阳极形成电场,从而实现对平板的电镀。
[0030]平板载具阴极移动装置设置在槽体5上,用于吊取和移动平板,主要包括Z轴移动机构1、X轴移动机构2以及载具4。Z轴移动机构1和X轴移动机构2设置在槽体5两侧。Z轴移动机构1包括滑轨Ⅰ11(参见图3侧视图)和滑移设置在滑轨Ⅰ11上的载台12。X轴移动机构2设置在载台12上。
[0031]如图2,X轴移动机构2包括滑轨Ⅱ21和滑移设置在滑轨Ⅱ21上的载具支撑座22。
[0032]载具支撑座22上还设置有载具通电机构3。
[0033]如图1,Z轴移动机构1、X轴移动机构2以及载具通电机构3设置有两套,两套之间相距设定距离。为方便说明,图1中右侧的Z轴移动机构1外壳已去除,相应地,图3中Z轴移动机构1的外壳也已去除。载具4为长条形,载具4两端分别可分离地结合在两个载具支撑座22上,载具4用于承载基板。利用X轴移动机构2使载具4连同平板在X轴方向移动,利用Z轴移动机构1使载具4连同平板在Z轴方向移动,从而可以调整平板的位置。本例中,Z轴移动机构1与X轴移动机构2可协同地作用,从而可实现使平板抛动,使得平板电镀更均匀。
[0034]载具通电机构3与载具4电连接,从而可以对连接在载具4上的平板通电。本例中载具4内还设置有电气元器件,载具通电机构3还包括用于给电气元器件无线充电的充电模块。
[0035]本例的平板载具阴极移动装置,可以实现承载基板,且通过载具通电机构3可以实
现将平板连通至电源负极,使平板形成阴极,与槽体5内钛网的阳极形成电场,从而实现对平板的电镀;且在平板电镀过程中可以使平板在Z轴和X轴上移动,从而使电镀更为均匀。
[0036]上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施,并不能以此限制本技术的保护范围,凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板载具阴极移动装置,其特征在于,它包括:Z轴移动机构(1),所述Z轴移动机构(1)包括滑轨Ⅰ(11)和滑移设置在所述滑轨Ⅰ(11)上的载台(12);X轴移动机构(2),所述X轴移动机构(2)设置在所述载台(12)上,所述X轴移动机构(2)包括滑轨Ⅱ(21)和滑移设置在所述滑轨Ⅱ(21)上的载具支撑座(22);载具通电机构(3),所述载具通电机构(3)设置在所述载具支撑座(22)上;所述Z轴移动机构(1)、所述X轴移动机构(2)以及所述载具通电机构(3)设置有两套,两套之间相距设定距离;载...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新刘礼勇施利君陈书良
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1