一种高纯球状钌粉的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种高纯球状钌粉的制备方法，属于钌粉制备技术领域。本发明专利技术在搅拌条件下，将分析纯(NH4)2RuCl6溶解于去离子水中得到(NH4)2RuCl6溶液，(NH4)2RuCl6溶液经气流式雾化机雾化干燥得到前驱体粉末；在氮气氛围下，前驱体粉末置于碳化硅容器中，经微波焙烧得到高纯球状钌粉。本发明专利技术方法具有可控性强、环境友好、流程短的特点，可解决现有技术中高纯钌粉工艺制备复杂，形貌不规则等问题。形貌不规则等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯球状钌粉的制备方法


[0001]本专利技术涉及一种高纯球状钌粉的制备方法，属于钌粉制备


技术介绍

[0002]当前钌粉最重要的应用之一是制造钌靶材。靶用高纯钌粉的纯度必须达到4N以上，此外，晶粒尺寸必须控制在100μm以下，晶粒结构须趋向球形或类球形。
[0003]钌粉的制备方法主要分为酸法和碱法。酸法是将含钌物料与酸溶液混合、加热，然后加入氯酸盐溶液，金属钌直接被氧化生成气态RuO4，最后用HCl溶液吸收RuO4生成氯钌酸，向溶液中加NH4Cl，过滤干燥后得到(NH4)2RuCl6，将(NH4)2RuCl6进行高温煅烧，氢气还原最终的到高纯钌粉。碱法是将含钌物料与碱溶液混合、加热，然后鼓入氯气，金属钌直接被氧化生成气态RuO4，用HC1溶液吸收RuO4生成氯钌酸，向溶液中加NH4Cl，过滤干燥后得到(NH4)2RuCl6，将(NH4)2RuCl6进行高温煅烧，氢气还原最终得到高纯钌粉。
[0004]Yuichiro等以次氯酸和盐酸的混合溶液在50～90℃下溶解粗钌粉，向溶液中通入臭氧，将粗钌转化为RuO4，用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯球状钌粉的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：(1)在搅拌条件下，将分析纯(NH4)2RuCl6溶解于去离子水中得到(NH4)2RuCl6溶液；(2)(NH4)2RuCl6溶液经气流式雾化机雾化干燥得到前驱体粉末；(3)在氮气氛围下，前驱体粉末置于碳化硅容器中，经微波焙烧得到高纯球状钌粉。2.根据权利要求1所述高纯球状钌粉的制备方法，其特征在于：步骤(1)(NH4)2RuCl6溶液的浓度为0.005
‑
0.05mol/L。3.根据权利要求1所述高纯球状钌粉的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘秉国，董希志，董恩华，龚斯宇，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：