一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设置于所述下夹板上的传感器及固定于所述传感器上的上夹板；导轨穿过上夹板且不与上夹板接触，保证称重的定位和精度；所述底座上固接有支架，所述支架远离底座的一端上固接有机械称重机构，所述机械称重机构的测量端通过支撑板固定于下夹板上。本发明专利技术结构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。体。体。

【技术实现步骤摘要】
一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置


[0001]本专利技术涉及人工晶体生长设备的
，特别涉及一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求也越来越高。晶体生长的关键在于晶体生长设备如何精确控制晶体生长的速率。
[0003]称重法是晶体生长速率控制最重要的方法之一，其关键技术就在于晶体称重装置，目前比较常用的称重装置有下称法、悬臂上称法和悬吊上称法。这些方法都存在结构复杂、维修不方便、可靠性不强、怕震动等问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的不足之处，本专利技术的目的是提供一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。为了实现根据本专利技术的上述目的和其他优点，提供了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：
[0005]底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，包括：底座、固接于所述底座上的底板(5)、固定于所述底板(5)上的平衡弹力机构(4)、固定于所述平衡弹力机构(4)上的下夹板(3)、设置于所述下夹板(3)上的传感器(1)及固定于所述传感器(1)上的上夹板(2)；导轨(9)穿过上夹板(2)且不与上夹板(2)接触；所述底座上固接有支架(8)，所述支架(8)远离底座的一端上固接有机械称重机构(6)，所述机械称重机构(6)的测量端通过支撑板(7)固定于下夹板(3)上。2.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述下夹板(3)与底板(5)之间设置有三个平衡弹力机构(4)，且三个所述平衡弹力机构(4)呈正三角形均匀设置于下夹板(3)与底板...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鼎雯，
申请(专利权)人：黄鼎雯，
类型：发明
国别省市：