本发明专利技术公开了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设置于所述下夹板上的传感器及固定于所述传感器上的上夹板；导轨穿过上夹板且不与上夹板接触，保证称重的定位和精度；所述底座上固接有支架，所述支架远离底座的一端上固接有机械称重机构，所述机械称重机构的测量端通过支撑板固定于下夹板上。本发明专利技术结构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。体。体。
【技术实现步骤摘要】
一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置
[0001]本专利技术涉及人工晶体生长设备的
，特别涉及一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置。
技术介绍
[0002]随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求也越来越高。晶体生长的关键在于晶体生长设备如何精确控制晶体生长的速率。
[0003]称重法是晶体生长速率控制最重要的方法之一，其关键技术就在于晶体称重装置，目前比较常用的称重装置有下称法、悬臂上称法和悬吊上称法。这些方法都存在结构复杂、维修不方便、可靠性不强、怕震动等问题。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中存在的不足之处，本专利技术的目的是提供一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠稳定性强、自动称重与机械称重于一体。为了实现根据本专利技术的上述目的和其他优点，提供了一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：
[0005]底座、固接于所述底座上的底板、固定于所述底板上的平衡弹力机构、固定于所述平衡弹力机构上的下夹板、设置于所述下夹板上的传感器及固定于所述传感器上的上夹板，导轨穿过上夹板且不与上夹板接触，保证称重的定位和精度；
[0006]所述底座上固接有支架，所述支架远离底座的一端上固接有机械称重机构，所述机械称重机构的测量端通过支撑板固定于下夹板上。
[0007]优选的，所述下夹板与底板之间设置有三个平衡弹力机构，且三个所述平衡弹力机构呈正三角形均匀设置于下夹板与底板之间。
[0008]优选的，所述下夹板与上夹板之间设置有三个传感器，且三个所述传感器呈正三角形均匀设置于下夹板与上夹板之间。
[0009]优选的，所述传感器为高精度压力传感器或位移传感器，且所述传感器的数量为三个以上。
[0010]优选的，所述平衡弹力机构为机构为弹簧或线性及非线性材料，且平衡弹力机构的数量为3个以上。
[0011]优选的，所述机械称重机构为杠杆百分表或数显千分表。
[0012]本专利技术与现有技术相比，其有益效果是：
[0013](1)结构简单、方便安装维修、通过设置有多个平衡弹力机构可有效避免震动对称重的影响，提高测量的稳定性和精度。
[0014](2)同时进行晶体自动称重和机械称重，当自动称重系统出现故障时，可根据机械称重数据继续进行晶体生长，为晶体生长提供双保险。
附图说明
[0015]图1为根据本专利技术的新型人工晶体生长炉用晶体称重装置的侧视图。
[0016]图2为根据本专利技术的新型人工晶体生长炉用晶体称重装置拆除上夹板后的立体示意图。
具体实施方式
[0017]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0018]参照图1，一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，包括：底座、固接于所述底座上的底板5、固定于所述底板5上的平衡弹力机构4、固定于所述平衡弹力机构4上的下夹板3、设置于所述下夹板3上的传感器1及固定于所述传感器1上的上夹板2；导轨9穿过上夹板2且不与上夹板2接触，保证称重的定位和精度，所述底座上固接有支架8，所述支架8远离底座的一端上固接有机械称重机构6，所述机械称重机构6的测量端通过支撑板7固定于下夹板3上，所述平衡弹力机构4具有有效阻尼减震、提高测量精度的功能，当晶体重量增加时，平衡弹力机构4向下移动，下夹板3与支撑板7同时向下移动，读出机械称重机构6相应刻度，晶体生长之前通过使用砝码校准杠杆百分表数值系数，从而得到晶体相应重量，晶体生长之前通过使用砝码校准杠杆百分表数值系数，从而得到晶体相应重量。
[0019]进一步的，所述下夹板3与底板5之间设置有三个平衡弹力机构4，且三个所述平衡弹力机构4呈正三角形均匀设置于下夹板3与底板5之间。
[0020]进一步的，所述下夹板3与上夹板2之间设置有三个传感器1，且三个所述传感器1呈正三角形均匀设置于下夹板3与上夹板2之间。
[0021]进一步的，所述传感器1为高精度压力传感器或位移传感器，且所述传感器1的数量为三个以上。
[0022]进一步的，所述平衡弹力机构4为机构为弹簧或线性及非线性材料，且平衡弹力机构4的数量为3个以上。
[0023]进一步的，所述机械称重机构6为杠杆百分表或数显千分表。
[0024]这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本专利技术的说明的，对本专利技术的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
[0025]尽管本专利技术的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本专利技术的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本专利技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，包括：底座、固接于所述底座上的底板(5)、固定于所述底板(5)上的平衡弹力机构(4)、固定于所述平衡弹力机构(4)上的下夹板(3)、设置于所述下夹板(3)上的传感器(1)及固定于所述传感器(1)上的上夹板(2)；导轨(9)穿过上夹板(2)且不与上夹板(2)接触；所述底座上固接有支架(8)，所述支架(8)远离底座的一端上固接有机械称重机构(6)，所述机械称重机构(6)的测量端通过支撑板(7)固定于下夹板(3)上。2.如权利要求1所述的一种新型人工晶体生长炉用晶体称重装置，其特征在于，所述下夹板(3)与底板(5)之间设置有三个平衡弹力机构(4)，且三个所述平衡弹力机构(4)呈正三角形均匀设置于下夹板(3)与底板...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄鼎雯，
申请(专利权)人：黄鼎雯，
类型：发明
国别省市：
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