粉末收集过滤装置及气体纯化设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种粉末收集过滤装置，包括隔板、气体过滤筒和气体纯化罐；隔板将气体纯化罐分隔为上罐和下罐，气体过滤筒设置在下罐内；气体过滤筒的顶端面设有过滤片；气体过滤筒的外周侧壁上设有至少一组环形层流板，层流板朝向气体过滤筒的筒底倾斜；气体纯化罐和气体过滤筒之间的气体纯化罐的罐底上设有排料口，排料口上设有可拆卸的密封盖。本发明专利技术提供的粉末收集过滤装置通过在气体纯化罐的下罐中设置气体过滤筒，在气体过滤筒的外周侧壁上设置环形层流板，使得从隔板流下的夹带有粉料的提纯后气体在回流后被阻挡，避免再流入到气体纯化罐的上罐中，从而避免对上罐中的纯化物料造成毒化，有效提高了气体纯化设备的使用寿命和纯化效率。命和纯化效率。命和纯化效率。

【技术实现步骤摘要】
粉末收集过滤装置及气体纯化设备


[0001]本专利技术涉及气体纯化设备领域，特别是涉及一种粉末收集过滤装置及气体纯化设备。

技术介绍

[0002]纯化气体是工业生产和医疗产业中具有重要应用的低杂质气体。而在属于高精尖领域的半导体产业中，对气体的纯化要求则更高。高纯气体大多用于超大规模的集成电路及分离器件、光电子等高科技领域，包括氧气、氮气、氢气、氦气、氩气等(纯度通常都高于99.999％)。这样的高纯度要求使得气体纯化生产设备也须满足苛刻的精细度规范。
[0003]通常情况下，简单而言，气体纯化的过程是将待纯化的气体送入到气体纯化器中，经过与气体纯化器中填充的纯化材料的物理或化学反应，去除气体中的杂质，得到纯化气体。这种纯化过程，时刻伴随着纯化材料的反应转化，具体是颗粒状的纯化物料，会随着反应的进行，逐渐粉化，并且在气流的吹动下，粉化的物料会从纯化物料表面脱离。粉化后的纯化物料不再具有与待纯化的气体进行物理化学反应的能力。
[0004]由于气体纯化器是一种具有较为密封的内腔的设备，内部的粉化物料很难清理出来，并且其中的气体乱流会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉末收集过滤装置，其特征在于，包括隔板、气体过滤筒和气体纯化罐；所述隔板将所述气体纯化罐分隔为上罐和下罐，所述气体过滤筒设置在所述下罐内；所述气体过滤筒的顶端面设有过滤片，所述气体过滤筒的筒底与所述气体纯化罐的出口端连通；所述气体过滤筒的外周侧壁上设有至少一组环形层流板，所述层流板朝向所述气体过滤筒的筒底倾斜，并且与所述气体过滤筒的外周侧壁成倾斜角；所述气体纯化罐和所述气体过滤筒之间的所述气体纯化罐的罐底上设有排料口，所述排料口上设有可拆卸的密封盖。2.根据权利要求1所述的粉末收集过滤装置，其特征在于，所述环形层流板包括沿所述气体过滤筒的轴向分布的第一层流板和第二层流板。3.根据权利要求2所述的粉末收集过滤装置，其特征在于，所述第一层流板靠近所述过滤片；所述第二层流板的边沿为锯齿形边沿。4.根据权利要求1所述的粉末收集过滤装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹德承，李铁，张进，
申请(专利权)人：湖北玖恩智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：