真空阀制造技术

技术编号:30887429 阅读:59 留言:0更新日期:2021-11-22 20:57
一种真空阀(1),包括:绝缘筒(2);将绝缘筒(2)的一端封闭的固定侧凸缘(3);将另一端封闭的可动侧凸缘(4);一端固接于固定侧凸缘(3)而在作为另一端的固定侧端面(6a)具有固定侧电极嵌合轴(6b)的固定侧电极棒(6);一端的一侧经由波纹管(8)与可动侧凸缘(4)连接而在作为另一端的可动侧端面(7a)具有可动侧电极嵌合轴(7b)的可动侧电极棒(7);固接于固定侧电极嵌合轴(6b)的端部的固定侧风车形电极(12);以及固接于可动侧电极嵌合轴(7b)的端部的可动侧风车形电极(13),其中,在固定侧端面(6a)与固定侧风车形电极(12)之间设置有包括固定侧间隔部(14a)和固定侧平板部(14b)的固定侧支承件(14),在可动侧端面(7a)与可动侧风车形电极(13)之间设置有包括可动侧间隔部(15a)和可动侧平板部(15b)的可动侧支承件(15)。动侧平板部(15b)的可动侧支承件(15)。动侧平板部(15b)的可动侧支承件(15)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空阀


[0001]本申请涉及一种真空阀。

技术介绍

[0002]在以往的真空阀中,为了以高真空将容器内气密保持,通过真空钎焊使金属凸缘固接在生成于由氧化铝陶瓷等形成的绝缘圆筒两端的金属喷镀层(日文:
メタライズ
層),以形成作为真空容器的绝缘容器。在固接于绝缘圆筒两端的金属凸缘上,固定侧电极棒和可动侧电极棒分别在同轴上相对地安装,在各电极棒的相对面分别固接有固定侧电极和可动侧电极。
[0003]此外,为了在可动侧电极保持气密的同时使其在绝缘容器的轴心上可动,在可动侧电极棒与金属凸缘之间设置有波纹管。为了防止因在切断电流时产生的电弧而使波纹管污损而设置的伞状的波纹管罩固接于可动侧电极棒。波纹管自身的电极一侧钎焊接合于波纹管罩或是钎焊接合于波纹管罩和可动侧电极棒,波纹管自身的与电极相反一侧安装于可动侧凸缘。此外,在绝缘容器的内部,电弧屏蔽件设置成将相对的电极围绕,并防止绝缘容器的内沿面被在切断电流时产生的电弧污损。在可动侧电极棒的端部安装有导向件,所述导向件具有轴承功能以使可动侧电极棒在其开闭的过程中在轴心上顺畅地动作。
[0004]固定侧电极和可动侧电极的一个种类中存在风车形电极。风车形电极是从中心部向周缘部切出涡旋状的多个槽且多个圆弧部与槽相邻地形成的电极。在真空阀中电极闭合而通电有电流的情况下,固定侧电极和可动侧电极中的圆弧部相互接触,在切断电流的情况下,通过将固定侧电极和可动侧电极打开,从而在固定侧电极和可动侧电极的圆弧部上的任意点产生电弧。
[0005]在切断时电弧在圆弧部上高度地旋转移动,以防止由电弧产生的局部热量的集中,直至到达电流零点,能减轻风车形电极的损伤,并能提高真空阀的切断性能。在装入有风车形电极的真空阀中,风车形电极嵌合到设置于电极棒的电极嵌合轴上,并通过钎焊等被固接。电极棒的电极嵌合轴与电极表面的电弧产生部位的距离越大,则电弧驱动力越大。
[0006]在风车形电极的背面侧固接有由电阻比风车形电极及电极棒的电阻大的材料、即不锈钢等制作而成的加固板,以防止因电极闭合时的载荷而使电极变形,并且抑制因在切断电流时产生的电弧而使绝缘容器的内部污损。此外,公开如下结构:与加固板同样地由电阻比风车形电极及电极棒的电阻大的材料制作而成的间隔件设置于加固板与电极棒之间(例如,参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0007]专利文献1:日本专利特开2001

52576号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0008]在上述专利文献1中,通过将由电阻比风车形电极及电极棒的电阻大的材料的制作而成的加固板以及间隔件装入到风车形电极与电极棒之间,从而能防止由电极闭合时的载荷导致的风车形电极的变形以对风车形电极进行加固。此外,能防止在切断电流时发生的金属溅射的飞散,并能抑制绝缘容器内部的污损。然而,存在漏电流流至加固板以及间隔件这样的问题。当漏电流流至加固板及间隔件时,流至风车形电极的电流的电流密度下降,所产生的磁场的磁通量密度也会下降。即,与磁通量密度成比例的电弧的驱动力也下降,通过使电弧的转速变慢,使得不易减轻由电弧产生的局部热量的集中导致的风车形电极的损伤,从而引发切断性能的下降。此外,通过装入加固板以及间隔件以在除了电极嵌合轴以外的部位产生电流路径,到达电弧产生部位的电流路径变短,电弧驱动力下降。通过使风车形电极的直径变大,能确保电极嵌合轴与风车形电极的电弧产生部位的距离,能加强电弧驱动力,但在这种方法中存在引发真空阀的大型化,进而关系到真空阀的重量增加、成本增大这样的问题。
[0009]本申请为了解决上述这样的技术问题而作,其目的在于获得一种真空阀,具有对风车形电极的加固功能、对切断电流时发生的金属溅射的防止飞散功能,抑制流至除了风车形电极以及电极棒以外的部位的漏电流。解决技术问题所采用的技术方案
[0010]本申请所公开的真空阀包括:绝缘筒;固定侧凸缘,所述固定侧凸缘将绝缘筒的一端封闭;可动侧凸缘,所述可动侧凸缘将绝缘筒的另一端封闭;固定侧电极棒,所述固定侧电极棒的一端固接于固定侧凸缘,在作为另一端的固定侧端面具有以比固定侧端面小的外径突出的固定侧电极嵌合轴;可动侧电极棒,所述可动侧电极棒的一端的一侧在绝缘筒的内侧经由波纹管与可动侧凸缘连接,并在作为另一端的可动侧端面具有以比可动侧端面小的外径突出的可动侧电极嵌合轴,并且所述可动侧电极棒沿着绝缘筒的轴向滑动,固定侧风车形电极,所述固定侧风车形电极固接于固定侧电极嵌合轴,从中心部向周缘部切出多个涡旋状的槽;以及可动侧风车形电极,所述可动侧风车形电极以与固定侧风车形电极相对的方式固接于可动侧电极嵌合轴,从中心部向周缘部切出多个涡旋状的槽,其中,包括与固定侧电极嵌合轴分开并将固定侧电极嵌合轴包围的筒状的固定侧间隔部和在固定侧间隔部的外周的侧面以与所述固定侧风车形电极相对的方式朝外周以外扩展的圆盘状的固定侧平板部的固定侧支承件保持于固定侧端面与固定侧风车形电极之间,并且包括与可动侧电极嵌合轴分开并将可动侧电极嵌合轴包围的筒状的可动侧间隔部和在可动侧间隔部的外周的侧面以与可动侧风车形电极相对的方式朝外周以外扩展的圆盘状的可动侧平板部的可动侧支承件保持于可动侧端面与可动侧风车形电极之间。专利技术效果
[0011]根据本申请公开的真空阀,具有对风车形电极的加固功能、对在切断电流时发生的金属溅射的防止飞散功能,能抑制在除了风车形电极以及电极棒以外的部位中流动的漏电流。
附图说明
[0012]图1是表示实施方式1的真空阀的结构概要的剖视图。图2是表示实施方式1的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。
图3是表示实施方式1的真空阀的风车形电极的俯视图。图4是表示实施方式1的真空阀的支承件的结构概要的图。图5是表示实施方式1的真空阀的另一个支承件的结构概要的图。图6是表示实施方式1的真空阀的又一个支承件的结构概要的图。图7是表示实施方式2的真空阀的结构概要的剖视图。图8是表示实施方式2的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图9是表示实施方式3的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图10是表示实施方式3的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图11是表示实施方式3的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图12是表示实施方式4的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图13是表示实施方式4的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图14是表示实施方式5的真空阀的结构概要的剖视图。图15是表示实施方式5的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图16是表示实施方式5的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。图17是表示实施方式5的真空阀的风车形电极周围的结构概要的剖视图。
具体实施方式
[0013]以下,基于附图对本申请实施方式的真空阀进行说明。在各图中,对相同或相当的构件、部位标注相同符号来进行说明。
[0014]实施方式1图1是表示真空阀1的结构概要的剖视图、图2是表示真空阀1的可动侧风车形电极13周围的结构本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空阀,包括:绝缘筒;固定侧凸缘,所述固定侧凸缘将所述绝缘筒的一端封闭;可动侧凸缘,所述可动侧凸缘将所述绝缘筒的另一端封闭;固定侧电极棒,所述固定侧电极棒的一端固接于所述固定侧凸缘,在作为另一端的固定侧端面具有以比所述固定侧端面小的外径突出的固定侧电极嵌合轴;可动侧电极棒,所述可动侧电极棒的一端的一侧在所述绝缘筒的内侧经由波纹管与所述可动侧凸缘连接,并在作为另一端的可动侧端面具有以比所述可动侧端面小的外径突出的可动侧电极嵌合轴,并且所述可动侧电极棒沿着所述绝缘筒的轴向滑动;固定侧风车形电极,所述固定侧风车形电极固接于所述固定侧电极嵌合轴,从中心部向周缘部切出涡旋状的多个槽;以及可动侧风车形电极,所述可动侧风车形电极以与所述固定侧风车形电极相对的方式固接于所述可动侧电极嵌合轴,从中心部向周缘部切出涡旋状的多个槽,其特征在于,包括与所述固定侧电极嵌合轴分开并将所述固定侧电极嵌合轴包围的筒状的固定侧间隔部和在所述固定侧间隔部的外周的侧面以与所述固定侧风车形电极相对的方式朝所述外周以外扩展的圆盘状的固定侧平板部的固定侧支承件保持于所述固定侧端面与所述固定侧风车形电极之间,并且包括与所述可动侧电极嵌合轴分开并将所述可动侧电极嵌合轴包围的筒状的可动侧间隔部和在所述可动侧间隔部的外周的侧面以与所述可动侧风车形电极相对的方式朝所述外周以外扩展的圆盘状的可动侧平板部的可动侧支承件保持于所述可动侧端面与所述可动侧风车形电极之间。2.如权利要求1所述的真空阀,其特征在于,将所述固定侧平板部设置在与所述固定侧风车形电极接触的所述固定侧间隔部的端部,或是,将所述可动侧平板部设置在与所述可动侧风车形电极接触的所述可动侧间隔部的端部。3.如权利要求1所述的真空阀,其特征在于,将所述固定侧平板部设置在与所述固定侧风车形电极接触的所述固定侧间隔部的端部,并且在与所述固定侧平板部接触的所述固定侧风车形电极的端面的周围包括切开部,或是,将所述可动侧平板部设置在与所述可动侧风车形电极接触的所述可动侧间隔部的端部,并且在与所述可动侧平板部接触的所述可动侧风车形电极的端面的周围包括切开部。4.如权利要求1所述的真空阀,其特征在于,将所述固定侧平板部设置在所述固定侧间隔部的一端与另一端之间,或者,将所述可动侧平板部设置在所述可动侧间隔部的一端与另一端之间。5.如权利要求1所述的真空阀,其特征在于,使所述固定侧平板部与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:川田将司
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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