【技术实现步骤摘要】
一种阻隔防爆翘装式加气盖板的抛光装置
[0001]本技术属于抛光领域,尤其涉及一种阻隔防爆翘装式加气盖板的抛光装置。
技术介绍
[0002]抛光是指利用机械、化学或电化学的作用,使工件表面粗糙度降低,以获得光亮、平整表面的加工方法。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度,而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的,有时也用以消除光泽(消光),通常以抛光轮作为抛光工具。抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。撬装式是指将功能组件集成于一个整体底座上,可以整体安装、移动的一种集成方式。所谓撬装是由设备的移动、就位使用撬杠就可方便地进行,虽然现在都使用起重设备了。阻隔防爆撬装式加气盖板是指使用具有阻隔防爆功能的材料又进行撬装式加工的加气盖板,如此除了具有阻隔防爆功能外还具有方便移动、安装以及更换的作用。
[0003]然而,市面上缺少对加气盖板抛光用的抛光装置。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种阻隔防爆翘装式加气盖板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阻隔防爆翘装式加气盖板的抛光装置,包括机箱(5)和转盘(9),其特征在于:所述机箱(5)上方设置有第一把手(8),所述第一把手(8)前方设置有开始/暂停按钮(7),所述第一把手(8)后方连接着电线(1),所述机箱(5)侧方设置有第二把手(6),所述第二把手(6)一端设置有电机速度调节按钮(13),所述机箱(5)上侧设置有一工作指示灯(17),所述机箱(5)下方设置有所述转盘(9),所述转盘(9)上边缘位置设置有一注液孔(10),所述转盘(9)被抛光材料(3)所包裹,所述抛光材料(3)边缘设置有圆孔,所述抛光材料(3)圆孔位置可接固定装置(2),所述固定装置(2)将所述抛光材料(3)固定在所述转盘(9)上,所述转盘(9)内部中空,所述转盘(9)内部设置有储液腔(11),所述储液腔(11)底部设置有出油孔(14),所述机箱(5)内部从上至下依次设置有电机控制装置(15)、电机(12)...
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