监测超快电子显微镜探测光斑位置的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置及方法，该装置包括飞秒探测激光脉冲、反射镜、激光聚焦透镜、分束镜、CCD相机及光学法兰窗口；飞秒探测激光脉冲由反射镜反射后，经激光聚焦透镜进行聚焦，聚焦激光入射到分束镜分成两束；经分束镜出射的一束聚焦激光根据分束比以一定角度入射到CCD相机中呈现光斑图像；经分束镜出射的另外一束聚焦激光作为探测激光脉冲从光学法兰窗口正入射到超快电子显微镜电子枪的光阴极灯丝尖端，激发灯丝产生探测光电子脉冲。本发明专利技术为快速准确得到探测激光光斑作用于灯丝尖端产生光电子探测脉冲的实时状态提供了新型便利的途径。冲的实时状态提供了新型便利的途径。冲的实时状态提供了新型便利的途径。

【技术实现步骤摘要】
监测超快电子显微镜探测光斑位置的方法及装置


[0001]本专利技术是关于一种监测超快电子显微镜探测光斑位置的方法及装置，涉及超快电子显微探测


技术介绍

[0002]超快电子显微镜是一种基于泵浦
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探测原理、结合电子显微镜(透射电子显微镜或扫描电子显微镜)的高空间分辨率和飞秒激光的高时间分辨率两者优势的超快成像技术，能够同时具有超高的时空分辨率，近年来方兴未艾并成为了电子显微学表征技术的一个重要发展方向。以超快扫描电子显微镜技术为例，其主要依赖于飞秒脉冲激光的泵浦
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探测原理，并结合扫描电子显微镜发射的高能电子束具有短电子波长的独特优势来实现超高时间分辨的扫描二次电子成像，广泛应用于包括金属、光电半导体、有机聚合物薄膜等各种材料在内的超快载流子动力学研究。超快扫描电子显微镜技术的核心步骤之一是利用紫外波段的飞秒激光脉冲穿过在扫描电子显微镜的电子枪镜筒上预先安装的光学法兰窗口，利用爱因斯坦光电效应激发其电子枪光阴极的尖端产生光电子脉冲序列，脉冲电子经加速进入扫描电子显微镜镜筒中，再经过电磁透镜汇聚和扫描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置，其特征在于，该装置包括飞秒探测激光脉冲、反射镜、激光聚焦透镜、分束镜、CCD相机及光学法兰窗口；所述飞秒探测激光脉冲由所述反射镜反射后，经所述激光聚焦透镜进行聚焦，聚焦激光入射到所述分束镜分成两束；经所述分束镜出射的一束聚焦激光垂直入射到所述CCD相机中呈现光斑图像；经所述分束镜出射的另外一束聚焦激光作为探测激光脉冲从所述光学法兰窗口正入射到超快电子显微镜电子枪的光阴极灯丝尖端，激发灯丝产生探测光电子脉冲。2.根据权利要求1所述的监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置，其特征在于，所述反射镜与所述激光聚焦透镜之间设置有准直光阑。3.根据权利要求1所述的监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置，其特征在于，当所述光学法兰窗口位于所述超快电子显微镜电子枪抑制极下方时，还包括三维电控反射镜，经所述光学法兰窗口入射的探测激光脉冲经所述三维电控反射镜反射到光阴极灯丝尖端。4.根据权利要求1所述的监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置，其特征在于，所述飞秒探测激光脉冲由基频的近红外飞秒激光经三倍频或四倍频后得到紫外波段的脉冲激光。5.根据权利要求1～4任一项所述的监测超快电子显微镜探测光斑位置的装置，其特征在于，所述激光聚焦透镜采用前后表面均镀有紫外增透膜的紫外级熔融石英制的平凸透镜，激光从平凸透镜曲面中心垂直入射并聚焦于平凸透镜后焦点处的灯丝尖端上，用于激发产生同重复频率的超快探测光电...

【专利技术属性】
技术研发人员：付学文，张亚卿，刘芳，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：