【技术实现步骤摘要】
一种基于热通量的激光清洗质量在线检测系统及方法
[0001]本专利技术涉及激光清洗领域，特别涉及一种基于热通量的激光清洗质量在线检测系统及方法。
技术介绍
[0002]在工业生产过程中，对工件等表面清洗一直是非常重要的环节，传统的清洗技术，如化学试剂清洗、物理打磨清洗等都存在清洗工序复杂，污染大，清洗效果难以保证，还容易对材料表面产生损伤，这个问题很大程度上制约了清洗行业的发展。激光清洗技术诞生至今，激光清洗相对于传统清洗工艺，具有独特的优势，其清洗效果对非接触无损伤、不需要化学制剂、无污染，具有绿色环保、定域无损高精度清洗、操作安全方便、易实现微区和大面积清洗和可控制性高等特点，获得了众多行业的青睐，引领清洗行业发展方面发挥着日益重要作用。
[0003]在工业生产过程中，能够及时、精准检测材料加工过程中产生的缺陷有着很大价值。传统的磁粉、涡流、渗透等检测手段存在检测精度低、需接触检测、离线检测等缺点，有些检测手段需借助化学试剂，这不可避免会对材料或环境产生污染；很多传统检测手段需要进行接触式检测，使用不方便且不支持...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于热通量的激光清洗质量在线检测系统，其特征在于：该系统的支撑结构上通过滑动连接件连接激光清洗检测装置(27)，激光清洗检测装置(27)为盒体结构，激光清洗检测装置(27)内设置有两条相汇的通路，一条通路为直通路，直通路内由上至下依次设置有出光口(4)、分光棱镜(3)和激光头(2)，出光口(4)的端部与激光器(1)连接，分光棱镜(3)设置于两条通路的交汇处；另一条通路为“L”形通路，“L”形通路长边的端部与直通路交汇，在“L”形通路的弯折处设置有反射镜(7)，在“L”形通路的短边内由内至外依次设置有柱面透镜(8)和振镜(9)，振镜(9)与激光头(2)之间设置有感光片(6)和热通量传感器(5)，感光片(6)设置在靠近振镜(9)的一侧；热通量传感器(5)、感光片(6)和激光器(1)与控制系统(13)连接；支撑结构下方放置有工件(11)；其中出光口(4)、分光棱镜(3)和激光头(2)组成激光清洗模块(21)，用于激光清洗工件(11)；出光口(4)、分光棱镜(3)、反射镜(7)、柱面透镜(8)、振镜(9)和感光片(6)组成扫描激光检测模块(22)，用于检测工件(11)表面有无凸起形貌和凹坑形貌区域。2.根据权利要求1所述的基于热通量的激光清洗质量在线检测系统，其特征在于：反射镜(7)与分光棱镜(3)存在角度α，α为45
°
，反射镜(7)与柱面透镜(8)上表面之间存在夹角β，β为45
°
，感光片(6)底面与振镜(9)下表面处于同一水平面上。3.根据权利要求1所述的基于热通量的激光清洗质量在线检测系统，其特征在于：滑动连接件包括机械手臂(17)和龙门架(20)，龙门架(20)设置在支撑结构上，机械手臂(17)与龙门架(20)滑动连接，机械手臂(17)上通过机械手臂手腕(16)与激光清洗检测装置(27)固定连接。4.根据权利要求1所述的基于热通量的激光清洗质量在线检测系统，其特征在于：支撑结构包括丝杠导轨(15)、直线导轨(25)、支撑钢梁(14)和清洗检测系统支撑底座(12)，支撑钢梁(14)设置为4条，支撑钢梁(14)固定设置在清洗检测系统支撑底座(12)上，同侧的两条支撑钢梁(14)为一组，同侧的两条支撑钢梁(14)上设置有丝杠导轨(15)或者直线导轨(25)，丝杠导轨(15)和直线导轨(25)平行设置，清洗检测系统支撑底座(12)上放置工件(11)。5.根据权利要求1所述的基于热通量的激光清洗质量在线检测系统，其特征在于：热通量传感器(5)为非接触式传感器，热通量分辨率为0.03J/m2·
s，响应时间为17μs。6.一种如权利要求1所述的基于热通量的激光清洗质量在线检测系统的使用方法，其特征在于：步骤1)工件(11)放置清洗检测系统支撑底座(12)上，开启热通量传感器(5)进行清洗环境温度校正；步骤2)热通量传感器(5)校正完成...
【专利技术属性】
技术研发人员：王蔚，李相锦，刘伟军，李强，沈杰，
申请(专利权)人：沈阳工业大学，
类型：发明
国别省市：
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