一种千级无尘室空调系统技术方案

本实用新型专利技术提出一种千级无尘室空调系统，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端设有送风管道，送风管道设有满布送风口和洁净送风单元FFU，空气由送风口上往下均匀送风，颗粒物在通过FFU中高效过滤器被捕获可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速被高效过滤器捕获，并由高架地板回风至技术夹道送回的干盘管加热后送至送风管道，循环空气通过干盘管加热回流使得无尘室室内壳体内部恒温恒湿效果更好，同时技术夹道和送风管道外层设有一层环氧树脂，防止夹道和送风管道外层落灰，洁净度更高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种千级无尘室空调系统


[0001]本技术涉及无尘室领域，较为具体的，涉及到一种千级无尘室空调系统。

技术介绍

[0002]无尘室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排出，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性，洁净室主要用于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。
[0003]随着人们对产品质量的要求的提高，对于产品所在的无尘室的要求也相应的提高了，如何使得无尘室的更洁净，恒温恒湿的控制更好，是当下急需要解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为了解不论外在的空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求温湿度及压力并具有更好的洁净度等性能的问题，本技术提出一种千级无尘室空调系统，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端设有送风管道，送风管道设有满布送风口和洁净送风本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种千级无尘室空调系统，其包括：新风系统(1)和室内壳体(2)，室内壳体(2)的顶部设有送风口(3)，送风口(3)的下方设有洁净送风单元FFU(4)，其特征在于：洁净送风单元FFU(4)满布在室内壳体(2)内部顶端，每个洁净送风单元FFU(4)的内部设有电机、风扇和高效率高效空气过滤器，室内壳体(2)的两侧设有技术夹道(6)，技术夹道(6)靠近洁净送风单元FFU(4)处设有干盘管(7)，所述干盘管(7)连接技术夹道(6)和水循环系统(8)，所述技术夹道(6)下方设有回风口(10)与室内连通，技术夹道(6)和送风管道(14)采用洁净板，采用洁净板外层设有一层环氧树脂。2.如权利要求1所述的千级无尘室空调系统，其特征在于：每个洁净送风单元FFU(4)处设有一压差传感器(9)。3.如权利要求1所述的千级无尘室空调系统，其特征在于：水循环系统(8)包括回水管(81)和供水管(82)，回水管(81)的水温为19℃，供水管(82)的水温为13℃。4.如权利要求1所述的千级无尘室空调系统，其特征在于：回水管(81)上设有电动水阀(12)，供...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘西诰，宋吉庆，李群，
申请(专利权)人：江苏源一工程科技有限公司，
类型：新型
国别省市：