一种用于冷凝泵的密封机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于冷凝泵的密封机构，包括环形开设在座环内、且沿轴杆的轴向方向切面呈矩形状的密封槽口，挤压贴合在密封槽口的内壁上、且贴合在轴杆上的密封环，盖合在密封槽口上、用于将密封环挤压在密封槽口的内壁上的密封端盖，环形开设在密封环的内侧、沿轴杆的轴向方向呈栅状结构、且内置润滑的油脂的数个油脂槽，以及设置在座环与密封端盖之间的契合连接部。通过上述方案，本实用新型专利技术具有结构简单、密封可靠等优点，在冷凝泵密封技术领域具有很高的实用价值和推广价值。术领域具有很高的实用价值和推广价值。术领域具有很高的实用价值和推广价值。

【技术实现步骤摘要】
一种用于冷凝泵的密封机构


[0001]本技术涉及冷凝泵密封
，尤其是一种用于冷凝泵的密封机构。

技术介绍

[0002]冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。在冷却泵工作时，其腔体内产生负压，为了保证密封可靠，现有技术中的冷凝泵采用动密封环的方式，虽然其密封性能良好，但是，磨损损坏较大，密封匹配要求较高。
[0003]因此，急需要提出一种结构简单、密封可靠的用于冷凝泵的密封机构。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术的目的在于提供一种用于冷凝泵的密封机构，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种用于冷凝泵的密封机构，用于设置在轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于冷凝泵的密封机构，用于设置在轴杆(1)与座环(2)之间，其特征在于，所述用于冷凝泵的密封机构包括环形开设在座环(2)内、且沿轴杆(1)的轴向方向切面呈矩形状的密封槽口(3)，挤压贴合在密封槽口(3)的内壁上、且贴合在轴杆(1)上的密封环(4)，盖合在密封槽口(3)上、用于将密封环(4)挤压在密封槽口(3)的内壁上的密封端盖(5)，环形开设在密封环(4)的内侧、沿轴杆(1)的轴向方向呈栅状结构、且内置润滑的油脂的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李再成，
申请(专利权)人：成都西南泵阀有限责任公司，
类型：新型
国别省市：