一种波长可调谐的半导体激光器制造技术

一种波长可调谐的半导体激光器，用于解决现有技术中激光器制作过程复杂的问题。该激光器可包括相互光耦合的第一光学谐振腔和第二光学谐振腔；第一光学谐振腔由第一半导体光波导和分别位于第一半导体光波导的两端的第一反射镜面和第二反射镜面形成，第二光学谐振腔由第二半导体光波导和分别位于第二半导体光波导的两端的第二反射镜面和第三反射镜面形成；第一光学谐振腔的腔长与第二光学谐振腔的腔长不同；第一反射镜和第三反射镜面中至少一个为部分发射镜面；第一半导体光波导与第二半导体光波导中的至少一个用于为对应的光学谐振腔提供回路增益。如此，不需要进行多次外延生长，制作激光器的过程比较简单。制作激光器的过程比较简单。制作激光器的过程比较简单。

【技术实现步骤摘要】
一种波长可调谐的半导体激光器


[0001]本申请涉及激光器
，尤其涉及一种波长可调谐的半导体激光器。

技术介绍

[0002]波长可调谐激光器作为一种重要的光电器件，可广泛应用于光通信、传感、生物检测和计算机系统等领域。在光通信中，波分复用器(wavelength division multiplexer，WDM)网络、无源光网络(passive optical network，PON)以及光分布网络(optical distributed network，ODN)等都要求光源输出的波长连续可调谐或准连续可调谐，并且在波长可调谐范围内光源可保持单模工作，因此，通常选波长可调谐激光器作为光源，其中，波长可调谐激光器是指根据需要可改变输出激光的波长。
[0003]可调谐激光器例如是取样光栅分布布拉格反射(sampled grating distributed bragg reflector，SGDBR)、超结构光栅分布布拉格反射(super-structure grating distributed bragg reflector，SS本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波长可调谐的半导体激光器，其特征在于，包括相互光耦合的第一光学谐振腔和第二光学谐振腔；所述第一光学谐振腔由第一半导体光波导和分别位于所述第一半导体光波导的两端的第一反射镜面和第二反射镜面形成，所述第二光学谐振腔由所述第二半导体光波导和分别位于所述第二半导体光波导的两端的第二反射镜面和第三反射镜面形成；其中，所述第一光学谐振腔的腔长与所述第二光学谐振腔的腔长不同；所述第一反射镜面和所述第三反射镜面中至少一个为部分发射镜面；所述第一半导体光波导与所述第二半导体光波导中的至少一个用于为对应的光学谐振腔提供回路增益。2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一反射镜面为萨格纳克Sagnac环镜面波导；或，全反射的多模干涉仪MMI反射波导；所述第二反射镜面为所述Sagnac环镜面波导；或，深刻蚀的沟槽波导；所述第三反射镜面为所述Sagnac环镜面波导；或，全反射的MMI反射波导；其中，所述Sagnac环镜面波导由两个端面相连的2
×
2方向耦合器组成，或者由一个端面相连的2
×
2MMI波导形成；所述全反射的MMI反射波导由1
×
1MMI输入波导与一半腔长的多模波导的一端连接形成，或者由2
×
1MMI输入波导与所述一半腔长的多模波导的一端连接形成，所述多模波导的另一端包括两个相互垂直的端面，所述两个相互垂直的端面中的每个端面与所述输入波导的夹角为45度。3.如权利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述第一反射镜面和所述第三反射镜面均为所述Sagnac环镜面波导；所述第一反射镜面和所述第一半导体光波导连接的一端的宽度的减小方向，与，所述第一半导体光波导和所述第一反射镜面连接的一端的宽度的减小方向相反；所述第三反射镜面和所述第二半导体光波导连接的一端的宽度的减小方向，与，所述第二半导体光波导和所述第三反射镜面连接的一端的宽度的减小方向相反。4.如权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述第一半导体光波导与所述第一反射镜面和所述第二反射镜面分别连接的两端的长度均大于或等于10um，且小于或等于200um；所述第二半导体光波导与所述第二反射镜面和所述第三反射镜面分别连接的两端的长度均大于或等于10um，且小于等于200um。5.如权利要求1至4任一项所述的激光器，其特征在于，所述第一半导体光波导和所述第二半导体光波导均为III-V族材料的光波导，所述第一反射镜面、所述第二反射镜面和所述第三发射镜面均为硅光波导。6.如权利要求5所述的激光器，其特征在于，所述III-V族材料的光波导和所述硅光波导的异质集成方式包括晶圆-晶圆键合；或者，晶片-晶圆键合。7...

【专利技术属性】
技术研发人员：程远兵，陈光灿，毛远峰，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：