一种氧化铝-氧化锆纳米复合粉的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化铝

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉的制备方法


[0001]本专利技术属于纳米粉体制备
，具体地说，涉及一种氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉的制备方法。

技术介绍

[0002]先进的工程陶瓷技术在半导体封装加工等高科技领域有着非常卓越的声誉，陶瓷具有出色的机械性能，例如高密度，高强度，高硬度及其在高温下的惰性，被广泛认为是广泛应用的工程材料的合适候选材料。但是不管它们的优点如何，陶瓷材料都显示出非常低的韧性，这最终限制了它们在各个领域中的广泛应用。在过去的二十年中，已经研究了许多不同的添加剂来制造具有强韧性的氧化铝复合材料。 氧化钇稳定的氧化锆（YSZ）作为增韧剂的引入由于其能够进一步增加氧化铝的韧性而在研究界最近变得越来越流行。氧化锆增韧氧化铝(ZTA)具有优异的物理和热力学性能，是目前应用最广泛的用于引线键合技术中陶瓷劈刀的的高级陶瓷材料之一。ZTA具有比氧化铝高得多的强度和韧性。这是通过在氧化铝中均匀地掺入细氧化锆颗粒而实现的应力诱导相变增韧的结果。以往的研究表明，加入YSZ作为第二相钉扎剂可获得理想的微观结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉的制备方法，其特征在于，采用旋转化学气相沉积法制备，包括如下步骤：备料，称取基体粉与前驱体备用；上料，将基体粉装入沉积设备的反应罐中，将前驱体放入原料罐中，将原料罐与沉积设备相连；抽真空，使用真空泵对沉积设备与原料罐进行抽真空，使初始反应环境处于真空状态，并在反应过程中一直维持真空状态；沉积设备加热，对沉积设备进行加热到使反应罐中的温度处于反应温度；原料罐加热，对原料罐进行加热，使前驱体受热挥发，形成前驱体气体；悬浮基体粉，控制反应罐处于转动状态，并带动基体粉悬浮在空中；分解反应，往原料罐中通入承载气体，利用承载气体带动前驱气体进入沉积设备中，调节真空泵使反应环境达到反应压强，同步通入反应气体，使反应气体与前驱体气体进行分解反应，并在悬浮状态中将生成的反应物包裹在基体粉表面；收集，在反应结束后，收集反应罐中粉末，获得氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉；其中，所述基体粉为氧化铝粉，所述前驱体包括锆前驱体和钇前驱体，所述氧化铝粉、锆前驱体与钇前驱体的重量比为0.6:0.36:0.04。2.根据权利要求1所述氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉的制备方法，其特征在于：所述锆前驱体为Zr(acac)4或Zr(dpm)4，所述钇前驱体为Y(acac)3或Y(dpm)3。3.根据权利要求2所述氧化铝
‑
氧化锆纳米复合粉的制备方法的，其特征在于：所述反应...

【专利技术属性】
技术研发人员：李其仲，陈永方，涂溶，章嵩，张联盟，
申请(专利权)人：化学与精细化工广东省实验室潮州分中心，
类型：发明
国别省市：